JPS6159559B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は半導体素子や表面波素子などの製造に
おいて、たとえばステムに接着剤を塗布する際、
ステムにペレツトをマウンテイングする際、この
マウンテイングされたペレツトにワイヤーをボン
デイングする際などに利用するステムやペレツト
などの位置決め装置の改良に関するものである。

従来、被位置決め体たとえば上記ステムのよう
なものを位置決めする場合、次のような方法があ
る。

たとえば第１図に示すように、ステム１の裏面
を中空軸２にて突上げるとともにこの中空軸２の
内部を直空圧源に連通して、中空軸２の上端にス
テム１を吸着固定する方法や、また第２図に示す
ように一側のガイドプレート３によつてステム１
の側面を他側の固定板４に押し付ける方法や、ま
た第３図に示すように両側の可動ガイドプレート
５，６の基部５ａ，６ａをそれぞれに設けた圧縮
ばね７によつてその基部５ａ，６ａ間の開閉用回
転カム８の外周面に附勢し、上記カム８の回動に
よつて上記両側のプレート５，６を進退させるよ
うにし、特に一側の可動プレート５の基部５ａは
強力な圧縮ばね９によつて他側よりも上記カム８
へ強く附勢し、上記カム８の回動によつて上記一
側のプレート５の基部５ａがステム１の径にかか
わらず必ず上記カム８の谷部８ａまで移動するよ
うにし、この一側のプレート５を基準として両側
のプレート５，６によつてステム１の両側面を位
置決めする方法がある。

ところがこのような従来方法では次のような問
題点がある。

たとえば第１図の真空圧でステム１を吸着保持
する方法では、保持力が弱く位置決め後に微動す
ることがあり、また真空圧を生じさせる流体の給
排に時間がかかり装置全体のサイクルタイムを早
くできない。また第２図のステム１の側面をガイ
ドプレート３にて固定板４に押し付ける方法およ
び第３図の一側の可動ガイドプレート５を位置決
めの基準とする方法では、ステム１の外径寸法の
ばらつきがそのまま位置決め精度のばらつきにな
つて表われ、たとえば第４図に示すように両ステ
ム１ａ，１ｂの外径寸法の差d₂−d₁により位置出
し中心O₁は理想中心O₂より１／２（（d₂−d₁）だけず れ、高精度の位置出しは困難であり、またこの第
２図および第３図に示すような方法では、ステム
１の側面の押えを行なつても上方からの押えがな
いためステム１が躍動し、位置決め用のプレート
３，４または５，６から外れることがある。また
このような従来の方法においてはステム１の下面
を上下方向の基準としているが、実際にペレツト
マウンテイングやワイヤボンデイングといつた作
業を行なうのはステム１の上面においてであり、
この上面の位置出しレベルはマウンテイング精
度、マウンテイング強度およびワイヤボンデイン
グのボール形状などに影響するものであり、従来
の各方法では基準が下面にあるためステム１の厚
みのばらつきがそのままステム上面のばらつきに
なり、上記マウンテイング精度、強度およびワイ
ヤボンデイングのボール形状などに悪影響を与え
ている。

本発明はこのような点を改良しようとするもの
で、被位置決め体の形状にばらつきがあつてもそ
のすべてを所定の位置に位置決めできるようにす
ることを目的とする。

本発明の一実施例を第５図ないし第７図に基づ
いて説明する。

基面にベース１１を固着し、このベース１１の
上端基部１２に平行状の２本の外管１３を進退自
在に嵌合し、この各外管１３の内部に内杆１４を
進退自在に嵌合し、この各外管１３の先端部１３
ａと各内杆１４の先端部１４ａとに相互に軸方向
に対向し被位置決め体としてのステム１を保持す
るプレート状保持部１６を設ける。この保持部１
６は、一側の外管１３および内杆１４においては
上記ステム１の全体の位置決めを行なうための大
プレート１６ａによつて形成され、また他側の外
管１３および内杆１４においては上記ステム１の
凸部１ｃの位置決めを行なうための小プレート１
６ｂによつて形成されている。

また前記各外管１３の後端部１３ｂと各内杆１
４の後端部１４ｂとにカムフオロア１８を回転自
在に軸着し、この両側のカムフオロア１８間に矢
弦カム１９をそれぞれ介設する。この両側の矢弦
カム１９は、前記ベース１１の両側面に設けた上
下方向のガイド２０に案内されて上記外管１３お
よび内杆１４の軸線に対し直角方向に進退され、
またこの矢弦カム１９の上記カムフオロア１８に
対接する両側の対接傾斜部１９ａの傾斜角θは等
しく形成されていてこのカム１９の上下移動によ
つて外管１３と内杆１４とが反対方向に同一距離
だけ進退され両側の対向する保持部１６がともに
理想中心Ｏに向かつて移動できるようになつてい
る。なお上記両側の外管１３の後端部１３ｂと内
杆１４の後端部１４ｂとはばね（図示せず）によ
つて相互に引合うように附勢されている。また図
において２２は上記プレート状保持部１６の固定
位置を調整するナツトである。

また基面に取付部３１を介し駆動モータ３２を
固定し、このモータ３２の軸３３に多数の円板カ
ム３４，３５，３６，３７，３８，３９の軸を接
続する。円板カム３４は、上記軸３３が１サイク
ル分回動して停止したとき上記軸３３を正確な角
度に位置決めするもので、このカム３４の切欠凹
部３４ａに回動レバー４１の中間部のローラ４２
を嵌入することによつてその位置決めを行なうよ
うにする。なお４３は上記レバー４１を下方に附
勢し上記ローラ４２を上記円板カム３４の周面に
押圧するばねである。また円板カム３５は、前記
矢弦カム１９を上下動するもので、一端を前記ベ
ース１１に軸４４でもつて回転自在に取付けられ
たレバー４５の中間部のローラ４６と接し、上記
レバー４５の他端は連結杆４７を介して矢弦カム
１９の下部に連結されている。なお、図では一側
の矢弦カム１９に関する円板カム３５などしか示
されていないが、ベース１１の反対側には他側の
矢弦カム１９用の円板カムなどが同様に設けられ
ている。また上記レバー４５は図示しないばねに
よつて上方に附勢されそのローラ４６は常に上記
円板カム３５の周面に押圧されている。また円板
カム３６は、中間部を前記ベース１１に軸４９で
回動自在に支持されたレバー５０の一端のローラ
５１と接し、上記レバー５０の他端のローラ５２
に接続した押上部としての突上げ筒５３を上下動
するもので、上記レバー５０は図示しないばねに
よつて時計方向に附勢され、そのローラ５１が上
記カム３６の周面に押圧されている。なお、この
レバー５０の他端のローラ５２は上記突上げ筒５
３の下端のコ字部５５にスライド可能に嵌合さ
れ、またこの突上げ筒５３は、図示しないガイに
案内されて上下動されるとともに内部を真空圧源
に接続されて上端に前記ステム１を吸着保持でき
るようになつている。また前記ベース１１の上端
基部１２より前記両側の外管１３の先端部１３ａ
間に係止部としての上面位置出し腕５６を突設
し、この腕５６によつてステム１の上面を係止し
この上面の位置決めを行なうようにする。また前
記円板カム３７は1/2サイクルタイミングカム、
円板カム３８は１サイクルタイミングカム、円板
カム３９は上記突上げ筒５３の内部空気の給排に
係わるバキユームon―off信号タイミングカムで
ある。

次にこの実施例の作用を説明する。

図示しない搬送機によつて本位置決め装置に搬
送されたステム１を前記突上げ筒５３によつて上
方の保持部１６間に押上げるとともに、このステ
ム１の上面の一部を前記上面位置出し腕５６によ
つて係止してステム１上面の位置決めを行ない、
ついで前記矢弦カム１９のＰ方向の動作により両
側の外管１３と内杆１４はＱ方向に動作し、それ
らの先端部において上記ステム１の両側に位置す
るプレート状保持部１６は理想中心Ｏに向つて同
一距離移動し、この保持部１６によつてステム１
は挾持され水平方向の位置決めがなされる。なお
このときステム１の外径のばらつきは矢弦カム１
９のＰ方向の停止位置の変化によつて吸収する。
ついでこのようにして上面および水平方向の位置
決めがなされたステム１に対してペレツトマウン
テイングやワイヤーボンデイングなどを行なつた
後、前記保持部１６を開き、突上げ筒５３を下降
してそのステム１を初期状態に戻す。なおこのよ
うな駆動は全て前記モータ３２や円板カム３５，
３６などによつて行ない、初期状態から位置決
め、そして位置決め後から初期状態への繰り返し
動作は上記モータ３２の駆動と停止とによつて行
なう。

なお本発明は上記実施例におけるステム１など
の半導体素子や表面波素子の部品の位置決めに限
らず、広く電子関係の部品の位置決めに利用でき
るものである。

第１番目の本発明によれば、相互に進退自在に
嵌合された外管および内杆の一端部に被位置決め
体を保持する保持部を設けるとともに、上記外管
および内杆の他端部間に、両側の対接傾斜部の傾
斜角が等しく形成されたカムを上記外管および内
杆の軸線に対し直角方向に進退自在に介設したか
ら、上記傾斜角の対接傾斜部によつて両側の保持
部を被位置決め体に向けて正確に同一距離移動さ
せ、この両側の保持部により被位置決め体を挟持
して位置決めを行なうことができ、したがつて被
位置決め体の外径寸法にばらつきがあつてもその
すべての中心を理想中心に位置決めできる高精度
の自動調心機能がある。

さらに本発明は、上記構造に加えて、上記カム
の両側の対接傾斜部に上記外管の他端部と内杆の
他端部とをばねによつて弾力的に附勢したから、
両側の保持部には閉じる方向の弾力的な付勢力が
与えられており、したがつてこの両側の保持部は
被位置決め体と接触するまで等しく移動して、被
位置決め体が大径のものであつても小径のもので
あつてもこれを一定の中心位置に無理なく弾力的
に保持できる。しかも、このような弾力保持が可
能であるにもかかわらず、上記カムによつて直接
作動される部分は上記外管および内杆を介して保
持部な直結されているから、上記カムの両側の対
接傾斜部の変位量がそのまま両側の保持部に伝達
され、両側の保持部は真に同一距離移動され、高
精度の自動調心機能を有する優れた効果がある。

また第２番目の本発明によれば、上記両側の保
持部の下方に被位置決め体を上記両側の保持部の
間まで押上げる押上部を設けるとともに、この押
上部の上方に被位置決め体の上面を係止する係止
部を設けたから、上記被位置決め体の上記両側か
らの位置決めを行うにあたつて、上記押上部によ
つて押上られた被位置決め体の上面を上記係止部
で係止することによつて、この被位置決め体の厚
みにばらつきがあつてもその上面は一定の高さに
位置決めされ、この上面に対してなされる加工た
とえばペレツトマウンテイングやワイヤボンデイ
ングの質を高めることができ、上記マウンテイン
グの精度や強度あるいは上記ボンデイングのボー
ル形状の均一化を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は第１従来例を示す断面図、第２図は第
２従来例を示す平面図、第３図ａは第３従来例を
示す平面図、第３図ｂはその正面図、第４図は従
来例の欠点を説明する説明図、第５図は本発明の
一実施例を示す斜視図、第６図はその要部平面
図、第７図は第６図の―線断面図である。 １…被位置決め体としてのステム、１２…基
部、１３…外管、１４…内杆、１６…保持部、１
９…カム、１９ａ…対接傾斜部、５３…押上部と
しての突上げ筒、５６…係止部としての上面位置
出し腕。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 基部に進退自在に嵌合した外管と、この外管
   の内部に進退自在に嵌合した内杆と、上記外管の
   一端部と内杆の一端部とに相互に対向して設けた
   被位置決め体の保持部と、上記外管の他端部と内
   杆の他端部との間にて上記外管および内杆の軸線
   に対し直角方向に進退自在に設けられ両側の対接
   傾斜部の傾斜角が等しく形成されたカムと、この
   カムの両側の対接傾斜部に上記外管の他端部と内
   杆の他端部とを弾力的に附勢するばねとを具備し
   たことを特徴とする位置決め装置。 ２ 基部に進退自在に嵌合した外管と、この外管
   の内部に進退自在に嵌合した内杆と、上記外管の
   一端部と内杆の一端部とに相互に対向して設けた
   被位置決め体の保持部と、上記外管の他端部と内
   杆の他端部との間にて上記外管および内杆の軸線
   に対し直角方向に進退自在に設けられ両側の対接
   傾斜部の傾斜角が等しく形成されたカムと、この
   カムの両側の対接傾斜部に上記外管の他端部の内
   杆の他端部とを弾力的に附勢するばねと、上記両
   側の保持部の下方に設けられ被位置決め体を上記
   両側の保持部の間まで押上げる押上部と、この押
   上部の上方に設けられ被位置決め体の上面を係止
   する係止部とを具備したことを特徴とする位置決
   め装置。