JPH0630863B2 - 吸着ノズルの回り留め装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、半導体素子のような微小物を吸着し、運搬す
る吸着ノズルを有した上下動する丸シャフトの回り留め
装置に関するものである。

従来の技術 例えば半導体装置の組立工程におけるペレットボンディ
ング作業は、規則正しく配列された半導体ペレットを、
ペレットマウンターの吸着ノズルに真空吸着し、リード
フレームの所定の位置にすなわちダイ接着位置に加圧し
て接着を行うが、安定してかつ速やかな接着を得るため
に半導体ペレットをリードフレームの所定の位置に載置
し加圧した状態で、こすりつける方法が一般的に用いら
れている。

このような、半導体ペレットをリードフレームの所定の
位置に加圧しながらこすりつける作業を行うためには、
半導体ペレットを吸着する吸着ノズル１の吸着面は、平
坦なる面とせず、四角錐状の凹形とするか、もしくは第
４図(a)に示すように、90度乃至120度に開角し、相対す
る２つの斜面１ａ，１ｂを有する形状となし、第４図
(b)のように、吸着ノズル１の２つの斜面１ａ，１ｂに
半導体ペレット８の２つの稜をそれぞれに接して吸着さ
せる方法が採用されており、前記先端が開角したる吸着
ノズル１の相対した斜面１ａ，１ｂと、半導体ペレット
８の稜８ａ，８ｂとは平行に吸着させることが必要であ
る。しかるに、平行に吸着されていない状態でリードフ
レームの所定の位置に加圧しながらこすりつけると、半
導体ペレット８が破損したり、あるいは組立てられた半
導体装置は不良品となる。従って、吸着ノズル１の半導
体ペレット８に対する角度合わせには細心な注意が必要
であり、このため、吸着ノズルに対し、回りとめが付さ
れる。

従来の吸着ノズルの回り留め装置は第３図に示すような
構造である。第３図において、吸着ノズル１を先端に有
する丸シャフト２に、この丸シャフト２を上下可能に支
持する移動アーム３にガイドピン止めねじ４により該丸
シャフト２に平行な状態で固定されたガイドピン５をは
さみ込む回り留め板６を、回り留め板止めねじ７で固定
し、吸着ノズル１の回転をこの回り留め板６で規制して
いる。吸着ノズル１の先端斜面１ａ，１ｂを半導体ペレ
ット８の稜８ａ，８ｂに平行に合せるためには、回り留
め板止めねじ７をゆるめた後、丸シャフト２を回転させ
て位置決めを行っていた。

発明が解決しようとする問題点 上記従来構成によれば、半導体ペレットの稜に対して吸
着ノズル先端の斜面を平行に位置させるため、吸着ノズ
ルを先端に有する丸シャフトを直接回転させていたの
で、回転角度の微細なる合せが困難であり、組立てられ
た半導体装置の歩留を低下させると共に、ペレットマウ
ンターの稼働率を低下させる等の問題があった。

本発明は上記問題点を解消するもので、シャフトの回転
を微細に調整することが出来る吸着ノズルの回り留め装
置を提供することを目的とする。

問題点を解決するための手段 上記問題点を解決するために本発明は、下部先端に微小
物の吸着ノズルを有するとともに、移動アームに上下動
可能に支持されるシャフトと、前記シャフトと平行に前
記移動アームに設けられたガイドピンと、前記シャフト
に固定され、前記ガイドピンを滑動自在にはさみ込み、
前記シャフトの周方向に回動自在に設けられた回り留め
板とで構成され、前記ガイドピンを、前記回り留め板に
はさみ込まれている部分の軸中心と、前記移動アームに
支持されている部分の軸中心とを偏芯させて構成したも
のである。

作用 上記構成により、ガイドピンの回転が回り留め板を通じ
て、丸シャフトの回転に伝達される際に、縮小されるた
め、丸シャフトの回転角度の微細なる調整が可能とな
る。

実施例 以下本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。第１
図は一実施例の概要を示す斜視図であり、丸シャフト11
はカム等によって上下および水平に動く移動アーム12に
軸受13を介して回転および上下動可能に支持されてお
り、下部先端には半導体ペレット吸着用の吸着ノズル14
が固定されている。丸シャフト11の上部には、この丸シ
ャフト11と平行に取付けられた偏芯ガイドピン15をはさ
み込む回り留め板16が回り留め板止めねじ17により固定
されている。偏芯ガイドピン15の小径部15aは前記回り
留め板16の切り込み部に滑合状態ではさみ込まれてい
る。

第２図は回り留め部の断面図であり、偏芯ガイドピン15
の大径部15bは、移動アーム12にガイドピン止めねじ18
で固定されている。

吸着ノズルの先端斜面（第４図の1a,1b）を吸着すべき
半導体ペレットの稜（第４図の８ａ，８ｂ）に正確に合
わせる作業等は次の通りである。ガイドピン止めねじ18
をゆるめ、偏芯ガイドピン15を回転させると、回り留め
板16にはさみ込まれている偏芯ガイドピン15の小径部15
aは、移動アーム12に取付けられている大径部15bの軸中
心を回転中心として回るため、回り留め板16は丸シャフ
ト11と共にごくわずか回転する。

いま、丸シャフト11と偏芯ガイドピン15との距離を10mm
偏芯ガイドピン15の偏芯量（第２図のＳ）を１mmとする
と、偏芯ガイドピン15を180度回転させた場合の丸シャ
フト11の最大の回転角は となり、倍率は すなわち0.06倍に縮小され、微細な角度合せが可能とな
る。

半導体ペレットと吸着ノズル14との平行が大きくずれて
いる場合は、回り留め板止めねじ17をゆるめ、丸シャフ
ト11と回り留め板16との取付位置を粗合せした後、前記
の微細な角度合せを行う。

発明の効果 以上述べたごとく本発明の吸着ノズルの回り留め装置に
よれば、例えば半導体装置組立工程のペレットマウント
作業における半導体ペレットと吸着ノズルとの微細な角
度合せを容易にし、ペレットマウント作業性を向上させ
ると共に、組立てられた半導体装置の歩留を向上させる
ことが可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の吸着ノズルの回り留め装置の一実施例
の概要を示す斜視図、第２図は同装置の回り留め部分の
構成図、第３図は従来の吸着ノズルの回り留め装置の概
要を示す斜視図、第４図は半導体ペレットと吸着ノズル
との位置関係を示すノズル先端模式図である。 11……丸シャフト、12……移動アーム、14……吸着ノズ
ル、15……偏芯ガイドピン、15a……小径部、15b……大
径部、16……回り留め板、17……回り留め板止めねじ、
18……ガイドピン止めねじ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】下部先端に微小物の吸着ノズルを有すると
   ともに、移動アームに上下動可能に支持されるシャフト
   と、前記シャフトと平行に前記移動アームに設けられた
   ガイドピンと、前記シャフトに固定され、前記ガイドピ
   ンを滑動自在にはさみ込み、前記シャフトの周方向に回
   動自在に設けられた回り留め板とで構成され、前記ガイ
   ドピンを、前記回り留め板にはさみ込まれている部分の
   軸中心と、前記移動アームに支持されている部分の軸中
   心とを偏芯させて構成した吸着ノズルの回り留め装置。