JPS616112A - 金属珪素の製造法 - Google Patents
金属珪素の製造法Info
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- JPS616112A JPS616112A JP12508984A JP12508984A JPS616112A JP S616112 A JPS616112 A JP S616112A JP 12508984 A JP12508984 A JP 12508984A JP 12508984 A JP12508984 A JP 12508984A JP S616112 A JPS616112 A JP S616112A
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 7
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 14
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims abstract description 12
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 claims abstract description 10
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 claims abstract description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 9
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 7
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 claims abstract description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 6
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims abstract description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 36
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 abstract description 18
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 abstract description 16
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 abstract description 16
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 abstract description 16
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 abstract description 16
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 abstract description 16
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 14
- 230000008018 melting Effects 0.000 abstract description 8
- 238000002844 melting Methods 0.000 abstract description 8
- 238000007664 blowing Methods 0.000 abstract description 6
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 abstract description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 15
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 15
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000000047 product Substances 0.000 description 6
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 5
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 4
- 238000006722 reduction reaction Methods 0.000 description 4
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 3
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 description 2
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 1
- 239000003245 coal Substances 0.000 description 1
- 239000000571 coke Substances 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003750 conditioning effect Effects 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 239000003085 diluting agent Substances 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 210000003127 knee Anatomy 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- ZFXYFBGIUFBOJW-UHFFFAOYSA-N theophylline Chemical compound O=C1N(C)C(=O)N(C)C2=C1NC=N2 ZFXYFBGIUFBOJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Silicon Compounds (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈発明の[1的〉
産業上の利用分野
本発明は金属I」素(以下、甲に金属Siという)の製
造法に係り、詳しくは、[e、■!、^1等の不純物を
含まない高純度金属S1の製造法に係る。
造法に係り、詳しくは、[e、■!、^1等の不純物を
含まない高純度金属S1の製造法に係る。
従 来 の 技 術
従来、金属S1は一般的には電気炉によって固体炭素に
よるSin、 (珪石)の還元を朽なわせしめることに
より製造されていた。このような方法て゛は、炭材とし
て通常石炭あるいはコークスが使用されるため、これら
炭材中(こ含まれる不純物、例えば、[e、■1、AI
などが同時に還元されて金属Si中に入るため、得られ
る金属S1の純度は90〜95%と低く、これを半導体
はどの高純度を必要としない太陽電池用途の31として
用いる場合においても複雑な精製工程による精製が必要
であり、この精製工程の効率も原v1の金fiS1の純
度に依存するのでFe、■1、Alなどを含まない高純
度金属Siの製造法の開発が望まれていた。
よるSin、 (珪石)の還元を朽なわせしめることに
より製造されていた。このような方法て゛は、炭材とし
て通常石炭あるいはコークスが使用されるため、これら
炭材中(こ含まれる不純物、例えば、[e、■1、AI
などが同時に還元されて金属Si中に入るため、得られ
る金属S1の純度は90〜95%と低く、これを半導体
はどの高純度を必要としない太陽電池用途の31として
用いる場合においても複雑な精製工程による精製が必要
であり、この精製工程の効率も原v1の金fiS1の純
度に依存するのでFe、■1、Alなどを含まない高純
度金属Siの製造法の開発が望まれていた。
発明が解決しようとする問題魚
本発明は、これらの問題点の解決を目的とし、具体的に
は、純度を低下させる原因である固体炭素の代りに精製
の容易な炭化水素を還元剤としてSiO2を還元し、[
e、■1、Alを含まない高純度金BS1を製造する方
法を提案覆る。
は、純度を低下させる原因である固体炭素の代りに精製
の容易な炭化水素を還元剤としてSiO2を還元し、[
e、■1、Alを含まない高純度金BS1を製造する方
法を提案覆る。
〈発明の構成〉
問題点を解決するための
手段ならひにその作用
本発明は、1300℃以上の温度で8102粉末を流動
させた流動(3)に炭化水素ガスを吹込み、SiO2の
40%以上をSiCとする第一工程と、上記第一工程で
生成したSiO2とSiCの混合物を更に高温に加熱し
、反応溶解せしめる第二工程とからなることを′fIm
とする。
させた流動(3)に炭化水素ガスを吹込み、SiO2の
40%以上をSiCとする第一工程と、上記第一工程で
生成したSiO2とSiCの混合物を更に高温に加熱し
、反応溶解せしめる第二工程とからなることを′fIm
とする。
以下、本発明について詳しく説明する。
第1図は本発明第一工程の実施態様を示す一例の装置の
縦断面図であり、第2図は第二工程の実施態様を示す一
例の装置の縦断面図である。
縦断面図であり、第2図は第二工程の実施態様を示す一
例の装置の縦断面図である。
第1図におい(、内部に抵抗体の加熱ヒーター4を内臓
した流動層本体1の下部ガス吹込口9がら流動層形成ガ
スとしてAr、 H,などの非酸化性、非窒化性ガスを
導入し、SiO2ね未および炭化水素ガスは夫々の吹込
管8および3から連続的に吹込み流動層を形成し130
0℃以上の温度で反応させる。反応生成物はサイクロン
5で捕集し製品用ロアから回収される。
した流動層本体1の下部ガス吹込口9がら流動層形成ガ
スとしてAr、 H,などの非酸化性、非窒化性ガスを
導入し、SiO2ね未および炭化水素ガスは夫々の吹込
管8および3から連続的に吹込み流動層を形成し130
0℃以上の温度で反応させる。反応生成物はサイクロン
5で捕集し製品用ロアから回収される。
流動層の温度gN300℃以上、好ましくは1300〜
1450℃が必要ぐ、1300°C以下では反応が進わ
けず、また、1450℃以上では炭化水素の分解が人き
くなると共に、S10としてロスする最が増加する。熱
の供給は第1図のように抵抗体を使用する直接加熱のほ
か、流動層外部からの間接加熱を使用しても良いが燃焼
排ガスを使用することは炉内ガスの醇累含右率を低く維
持する名1要があるため不適当である。また、流動層に
内接吹込む炭化水素は予め高温に予熱すると、炭化水素
が8102と反応する前に分解して炭素を析出し、Si
O2の還元反応が進行しなくなるので、予熱せず直接高
温の流動層内に吹込むごとにより、分解を抑え、SiO
2の還元反応を有効に進めることifできる。
1450℃が必要ぐ、1300°C以下では反応が進わ
けず、また、1450℃以上では炭化水素の分解が人き
くなると共に、S10としてロスする最が増加する。熱
の供給は第1図のように抵抗体を使用する直接加熱のほ
か、流動層外部からの間接加熱を使用しても良いが燃焼
排ガスを使用することは炉内ガスの醇累含右率を低く維
持する名1要があるため不適当である。また、流動層に
内接吹込む炭化水素は予め高温に予熱すると、炭化水素
が8102と反応する前に分解して炭素を析出し、Si
O2の還元反応が進行しなくなるので、予熱せず直接高
温の流動層内に吹込むごとにより、分解を抑え、SiO
2の還元反応を有効に進めることifできる。
また、SiO2の還元反応は第二工程における最適組成
比を得るために装入されたSiO2の40%以上がSi
Cまで還元されることが必要で、これ以下では金@ S
iの生産性が低下し原料の高純度SiO2も無駄にな
り効率が悪い。
比を得るために装入されたSiO2の40%以上がSi
Cまで還元されることが必要で、これ以下では金@ S
iの生産性が低下し原料の高純度SiO2も無駄にな
り効率が悪い。
次の第二工程は第2図に示すような水冷るつぼ11を有
する通常の移送型のブラスマ溶解炉を使用するごとによ
り有利に行なわれるhClこれに限定されることはない
。第二工程−(・は第一工程の製品を高温に保持された
第二の炉に投入し、SiO2 +2SiC→3Sレト
200・・・・・・(1)(1)の反応により金属Si
を溶融状態で得る。(1)の反応を効率よく進めるため
にはS i / CfJi 17i比が3.3〜4.2
、とくに、3.5内外であることが望ましい。口の伯が
これより大きくても、小さくても金1iisiの収率は
低下する。従って、通常第一工程での製品はそのまま第
二工程で使用されるが、上述の碩/f3.5内外を目安
として、それまり署し、く範囲が外れるとさは調整材を
添加混合する。すなわち、3.5より著しく大きい場合
には高純度のSiCを添加混合し、また3、5より義し
く小さい場合は3i02y)末を添加し−(S1/・C
重量比を3.5とし、゛そのままあるいは直1イvll
lllllのベレッ(〜として′;8解炉に装入する。
する通常の移送型のブラスマ溶解炉を使用するごとによ
り有利に行なわれるhClこれに限定されることはない
。第二工程−(・は第一工程の製品を高温に保持された
第二の炉に投入し、SiO2 +2SiC→3Sレト
200・・・・・・(1)(1)の反応により金属Si
を溶融状態で得る。(1)の反応を効率よく進めるため
にはS i / CfJi 17i比が3.3〜4.2
、とくに、3.5内外であることが望ましい。口の伯が
これより大きくても、小さくても金1iisiの収率は
低下する。従って、通常第一工程での製品はそのまま第
二工程で使用されるが、上述の碩/f3.5内外を目安
として、それまり署し、く範囲が外れるとさは調整材を
添加混合する。すなわち、3.5より著しく大きい場合
には高純度のSiCを添加混合し、また3、5より義し
く小さい場合は3i02y)末を添加し−(S1/・C
重量比を3.5とし、゛そのままあるいは直1イvll
lllllのベレッ(〜として′;8解炉に装入する。
また、上述の成分調整では、SiCの−61S若しくは
全部の代りに高純度の固体炭素(例えばカーボンブラッ
ク)を添加することでも同等の効果を得ることができる
。この場合は第二工程ぐSiO2 + 2C−+Si+
2GO なる反応が同時に進行するため、化学m hr St算
より固体炭素を添加した後の混合物中のSi/Cの重量
比を次式のようにする口とでSiC添加の場合と同等の
効果を得られる。
全部の代りに高純度の固体炭素(例えばカーボンブラッ
ク)を添加することでも同等の効果を得ることができる
。この場合は第二工程ぐSiO2 + 2C−+Si+
2GO なる反応が同時に進行するため、化学m hr St算
より固体炭素を添加した後の混合物中のSi/Cの重量
比を次式のようにする口とでSiC添加の場合と同等の
効果を得られる。
12×Y
ここで、Y【ま第一工程での成品のSiO2 /SiC
の重量比である。
の重量比である。
第二工程の溶解炉では常圧で希釈ガスを導入しない場合
は1900℃以上の温度、望ましくは1900〜200
0℃の温度が必要で、この温度以下では合芯Siの生成
が達成できず、また2000″C以上ではSiOあるい
はSiの蒸発ロスが増加し収率悪化を招く。ま7:H2
,Ar等の界釈ガスの使用、あるいは減圧下で反応を行
ない反応系の00分圧を低下させることにより反応温度
を下けることが可能で、例えば、0.1気圧に減圧した
場合には、1800℃以上の温度で反応さけることがで
きる。
は1900℃以上の温度、望ましくは1900〜200
0℃の温度が必要で、この温度以下では合芯Siの生成
が達成できず、また2000″C以上ではSiOあるい
はSiの蒸発ロスが増加し収率悪化を招く。ま7:H2
,Ar等の界釈ガスの使用、あるいは減圧下で反応を行
ない反応系の00分圧を低下させることにより反応温度
を下けることが可能で、例えば、0.1気圧に減圧した
場合には、1800℃以上の温度で反応さけることがで
きる。
なお、上記の通り、本発明は市販ならひに現在製造され
るSiO2粉末全てに適用できるが、本発明はなるべく
高純度、例えば、98%以上のものを原料とするときに
は、その効果は一岡発揮でき、とくに、99%台、更に
は、99.999%やそれ以上の高純度のSiO,+粉
末にも適用できる。
るSiO2粉末全てに適用できるが、本発明はなるべく
高純度、例えば、98%以上のものを原料とするときに
は、その効果は一岡発揮でき、とくに、99%台、更に
は、99.999%やそれ以上の高純度のSiO,+粉
末にも適用できる。
上記のところは第一工程により生成される混合物はSi
Cと未反応SiO2とから成っている。しがし、第一工
程ではこれら組成物のほか、わずかに金属S1が生成し
たり、Cが残(jづることしあり、従つ−(、混合物は
主としてSiCと未反応SiO2とから成っているが、
このほかに、金属SiやC等が含まれるものである。
Cと未反応SiO2とから成っている。しがし、第一工
程ではこれら組成物のほか、わずかに金属S1が生成し
たり、Cが残(jづることしあり、従つ−(、混合物は
主としてSiCと未反応SiO2とから成っているが、
このほかに、金属SiやC等が含まれるものである。
また、第一−1稈で生成4るSiCに(J、ぞの結晶構
造よりβ SiCとα−3iCに大別されるが、本発明
の方法では、生成するSiCがこの何れの8I造であっ
ても差支えむい。
造よりβ SiCとα−3iCに大別されるが、本発明
の方法では、生成するSiCがこの何れの8I造であっ
ても差支えむい。
実 施 例
第1図および第2図の反応装置を使用し、ikq/11
の能力で金l11siの製造を行なった。
の能力で金l11siの製造を行なった。
すなわら、第一工程は、内部に抵抗体ヒーターを内臓し
た流動炉の下部がらavJ用ガスとじTH2をiNm’
/hで導入し、SiO2粉末と冷たいメタンガスを夫々
’1.3kQ/hおよび4.5NmJ/h+7)速度で
連続的に吹込み、反応生成物はりイクロンで回収した。
た流動炉の下部がらavJ用ガスとじTH2をiNm’
/hで導入し、SiO2粉末と冷たいメタンガスを夫々
’1.3kQ/hおよび4.5NmJ/h+7)速度で
連続的に吹込み、反応生成物はりイクロンで回収した。
使用したメタンガス及び■2ガスは何れも99.999
%以上に精製したものを使用し原料Sin、 114度
は’J9.999%であって、操業の条件は第1表+a
lに示す如< 、 1380℃で反応を行ない、製品の
Si/0手量比は41で電力消費量は20に1vHてあ
った。
%以上に精製したものを使用し原料Sin、 114度
は’J9.999%であって、操業の条件は第1表+a
lに示す如< 、 1380℃で反応を行ない、製品の
Si/0手量比は41で電力消費量は20に1vHてあ
った。
第二工程は第2図に示ずようなArを作動カスとした水
冷るつぼを有する通常の移送5′!の、γラスマ溶解炉
を使用した。
冷るつぼを有する通常の移送5′!の、γラスマ溶解炉
を使用した。
第一]二程で得られた反応生成物に高純度のノJ−ポン
プラックを添加し直径3 n+mのミニベレットとじて
溶解炉に装入し、2000’Cの畠温r:溶融反応を行
ない金属S1を回収した。操業の条1′l(ま第1表(
b)に示すようにベレンi〜投入量は2.2kq/h、
Ar流山は2Nm’/h、°重力消費!’tl Lj
9kwll−Cある++ (’1られた金属Siの生成
量は850す、/ h ”(: !11!度1;t、9
9.999%以上で「e、1;、へlS!7の不純物(
J金〈含」、れていながった。
プラックを添加し直径3 n+mのミニベレットとじて
溶解炉に装入し、2000’Cの畠温r:溶融反応を行
ない金属S1を回収した。操業の条1′l(ま第1表(
b)に示すようにベレンi〜投入量は2.2kq/h、
Ar流山は2Nm’/h、°重力消費!’tl Lj
9kwll−Cある++ (’1られた金属Siの生成
量は850す、/ h ”(: !11!度1;t、9
9.999%以上で「e、1;、へlS!7の不純物(
J金〈含」、れていながった。
第1表
(al第一■稈 fbl第ニーr稈(
発明の効果: 以上詳しく説明したように、精製の容易な炭化水素を3
1元剤としてSiO2を還元し、二]程で金属S1を!
l!I i告JるCと(こまってFC1丁1、Alを全
く含まない高純度の金属S1を容易に得ることができた
。
発明の効果: 以上詳しく説明したように、精製の容易な炭化水素を3
1元剤としてSiO2を還元し、二]程で金属S1を!
l!I i告JるCと(こまってFC1丁1、Alを全
く含まない高純度の金属S1を容易に得ることができた
。
本発明で得られた高純度金属S1は太陽電池用はもとよ
り半導体原料として使用が可能である。
り半導体原料として使用が可能である。
第1Mは本発明第一工程の実@H様の一例を示1装置の
縦断面図、第2図は第二工程の実施態様の一例を示す装
置の縦断面図である。 符号1・・・・・・流動囮本体 2・・・・・ガス分
散板3・・・・・GH4の吹込み管 4・・・・・・加熱用ヒーター 5・・・・・ザイクロン 6・・・・・・131ガス
出ロア・・・・・製品出口 8・・・・・予熱したSiO2粉末吹込み管9・・・・
・・加熱カス吹込口
縦断面図、第2図は第二工程の実施態様の一例を示す装
置の縦断面図である。 符号1・・・・・・流動囮本体 2・・・・・ガス分
散板3・・・・・GH4の吹込み管 4・・・・・・加熱用ヒーター 5・・・・・ザイクロン 6・・・・・・131ガス
出ロア・・・・・製品出口 8・・・・・予熱したSiO2粉末吹込み管9・・・・
・・加熱カス吹込口
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)1300℃以上の温度でSiO_2粉末を流動させ
た流動層に炭化水素ガスを吹込み、SiO_2の40%
以上をSiCとする第一工程と、この第一工程で生成し
たSiO_2とSiCとを含む混合物を更に高温に加熱
し、反応溶解させる第二工程とからなることを特徴とす
る金属珪素の製造法。 2)1300℃以上の温度でSiO_2粉末を流動させ
た流動層に炭化水素ガスを吹込み、SiO_2の40%
以上をSiCとする第一工程と、この第一工程で生成し
たSiO_2とSiCとを含む混合物を更に高温に加熱
し、反応溶解せしめる第二工程とからなって、前記第一
工程で生成したSiO_2とSiCとを含む混合物にS
iCおよび/または固体炭素粉末あるいはSiO_2粉
末の少なくとも一方の調整剤を添加した後、前記第二工
程で反応溶解させることを特徴とする金属珪素の製造法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12508984A JPS616112A (ja) | 1984-06-20 | 1984-06-20 | 金属珪素の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12508984A JPS616112A (ja) | 1984-06-20 | 1984-06-20 | 金属珪素の製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS616112A true JPS616112A (ja) | 1986-01-11 |
Family
ID=14901565
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12508984A Pending JPS616112A (ja) | 1984-06-20 | 1984-06-20 | 金属珪素の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS616112A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011527625A (ja) * | 2007-06-04 | 2011-11-04 | ロード・リミテッド・エルピー | 流動床析出からの粒状微細物質の上方取り出しのための器械と方法 |
| RU2629415C2 (ru) * | 2015-12-30 | 2017-08-29 | Общество с ограниченной ответственностью "Объединенная Компания РУСАЛ Инженерно-технологический центр" | Способ ведения восстановительной плавки в руднотермической электрической печи |
-
1984
- 1984-06-20 JP JP12508984A patent/JPS616112A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011527625A (ja) * | 2007-06-04 | 2011-11-04 | ロード・リミテッド・エルピー | 流動床析出からの粒状微細物質の上方取り出しのための器械と方法 |
| RU2629415C2 (ru) * | 2015-12-30 | 2017-08-29 | Общество с ограниченной ответственностью "Объединенная Компания РУСАЛ Инженерно-технологический центр" | Способ ведения восстановительной плавки в руднотермической электрической печи |
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