JPS6161359A - 電子顕微鏡 - Google Patents
電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS6161359A JPS6161359A JP59180540A JP18054084A JPS6161359A JP S6161359 A JPS6161359 A JP S6161359A JP 59180540 A JP59180540 A JP 59180540A JP 18054084 A JP18054084 A JP 18054084A JP S6161359 A JPS6161359 A JP S6161359A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detector
- electron beam
- optical axis
- detection device
- deflection coil
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/261—Details
- H01J37/265—Controlling the tube; circuit arrangements adapted to a particular application not otherwise provided, e.g. bright-field-dark-field illumination
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は電子顕微鏡に係シ、特に電子線光軸より外れた
走査像検出装置に電子線を導くに好適な偏向コイル付検
出器を備えた電子顕微鏡に関する。
走査像検出装置に電子線を導くに好適な偏向コイル付検
出器を備えた電子顕微鏡に関する。
従来のこの種の装置では、電子線光軸より外れた下部検
出器へ電子線を導く偏向コイルは結像レンズ内に巻き込
まれ、上部検出器より更に上部に設けられてい友。この
ため、下部検出器から走査像を得る時は必ず上部検出器
を光軸外に外す必要があシ、信号の０Ｎ−ＯＦ’Ｆのみ
で明視野、暗視野透過走査像（以下、ＢＲＩＧＨＴ Ｓ
ＴＥＭ像、ＤＡＲＫ ＳＴＥＭ像と称す）の切替えがで
きなかった。なお、この種の装置として関連するものに
は、電子線光軸に上に２段の検出装置を有するダークス
テム装置および検出装置を光軸より外しであるが、上方
に検出装置はなく、偏向コイルが単独であるエネルギー
アナライザーがある。
出器へ電子線を導く偏向コイルは結像レンズ内に巻き込
まれ、上部検出器より更に上部に設けられてい友。この
ため、下部検出器から走査像を得る時は必ず上部検出器
を光軸外に外す必要があシ、信号の０Ｎ−ＯＦ’Ｆのみ
で明視野、暗視野透過走査像（以下、ＢＲＩＧＨＴ Ｓ
ＴＥＭ像、ＤＡＲＫ ＳＴＥＭ像と称す）の切替えがで
きなかった。なお、この種の装置として関連するものに
は、電子線光軸に上に２段の検出装置を有するダークス
テム装置および検出装置を光軸より外しであるが、上方
に検出装置はなく、偏向コイルが単独であるエネルギー
アナライザーがある。
本発明の目的は、２つの走査像検出装置を有する電子顕
微鏡において、電子線光軸に着脱可能な上部検出器の直
下に偏向コイルを１体化して取付け、電子線光軸より外
れて位置する下部検出器に電子線を導ひき、°これによ
り、ダークステム像おソびプライトステム像を簡単な操
作で得ることができる電子顕微鏡を提供することにある
。
微鏡において、電子線光軸に着脱可能な上部検出器の直
下に偏向コイルを１体化して取付け、電子線光軸より外
れて位置する下部検出器に電子線を導ひき、°これによ
り、ダークステム像おソびプライトステム像を簡単な操
作で得ることができる電子顕微鏡を提供することにある
。
電子顕微鏡のプライトステム像とダークステム像を同時
に検出するためには、偏向コイルは０両検出器間に設け
る必要がちる。、しかし、透過像のビーム径は上部検出
器の位置で３０〜５０＋＋ｍ径と太いため、偏向コイル
を固定保持するには、コイル内径もこれ以上の太さにな
シ、励磁力も大容量化してしまう。本発明はこの偏向コ
イルを上部検出器直下に１体にして取付け、透過像観察
時は検出器と同時に光軸より外すように構成したもので
ある。
に検出するためには、偏向コイルは０両検出器間に設け
る必要がちる。、しかし、透過像のビーム径は上部検出
器の位置で３０〜５０＋＋ｍ径と太いため、偏向コイル
を固定保持するには、コイル内径もこれ以上の太さにな
シ、励磁力も大容量化してしまう。本発明はこの偏向コ
イルを上部検出器直下に１体にして取付け、透過像観察
時は検出器と同時に光軸より外すように構成したもので
ある。
本発明の一実施例を図面を用いて詳細に説明する。図に
おいて、上部走査像検出装置の中央部に小孔を有する検
出器１はライトガイド２に検出器おさえ具３にて密着固
定されている。検出器１とライトガイド２の大円には内
部が貫通した薄肉のパイプ４がセットされている。ライ
トガイド２は０リング５を介してボデー６との間で真空
シールされ、ライトガイド２には光電子増倍管７が密着
し光信号を電子信号に変換している。ボデー６と電子顕
微鏡の鏡筒８はアダプタ９とそれに組込まれているＯリ
ング１０．、 ｌ １にて固定、真空シールされている
。またボデー６の先端にはつなぎ板１２が、また底部に
は偏向コイル１３が組込まれている。ツナギ板１２は着
脱軸１４に接続され、本検出装置の着脱時のガイドの役
割を果している。
おいて、上部走査像検出装置の中央部に小孔を有する検
出器１はライトガイド２に検出器おさえ具３にて密着固
定されている。検出器１とライトガイド２の大円には内
部が貫通した薄肉のパイプ４がセットされている。ライ
トガイド２は０リング５を介してボデー６との間で真空
シールされ、ライトガイド２には光電子増倍管７が密着
し光信号を電子信号に変換している。ボデー６と電子顕
微鏡の鏡筒８はアダプタ９とそれに組込まれているＯリ
ング１０．、 ｌ １にて固定、真空シールされている
。またボデー６の先端にはつなぎ板１２が、また底部に
は偏向コイル１３が組込まれている。ツナギ板１２は着
脱軸１４に接続され、本検出装置の着脱時のガイドの役
割を果している。
偏向コイル１３は電子線光細工５の中心にくるよう取付
けられている。写真撮影装置１６下部のＪＶアダプタ１
７には中央部に穴を有しない検出器１８を有する下部検
出装置が光軸より外れて取付けられている。
けられている。写真撮影装置１６下部のＪＶアダプタ１
７には中央部に穴を有しない検出器１８を有する下部検
出装置が光軸より外れて取付けられている。
検出器１８はライトガイド１９にライトガイド押え２０
で密着され、光電子増倍管２１にて光を電子に変換する
。
で密着され、光電子増倍管２１にて光を電子に変換する
。
上記構成において、像観察の友めテレビ装置２２が電子
線光軸１５上に取付けられているため、下一部検出装置
はテレビへの信号に悪影響を与えなＸＡｉ位置まで取付
位置を外す必要がおる。走査電子像、モード時には、電
子線調節レンズ２５で調整された電子線を検出器１１／
Ｃて受けるが、上記電子線のメインスポットのみがパイ
プ４を通り抜ける。
線光軸１５上に取付けられているため、下一部検出装置
はテレビへの信号に悪影響を与えなＸＡｉ位置まで取付
位置を外す必要がおる。走査電子像、モード時には、電
子線調節レンズ２５で調整された電子線を検出器１１／
Ｃて受けるが、上記電子線のメインスポットのみがパイ
プ４を通り抜ける。
偏向コイル１３は上記メインスポットを検出器１８に導
くようコイル電流を調整しである。この時、上部で得ら
れる像がダークステム像であシ、下部で得られるのがプ
ライトステム像である。偏向コイル１３は検出器１を電
子線光軸１５より外しつなぎ板１２の穴中心が電子線光
軸１５に移動した時、自動的に電子線光軸１５より外す
ことができる。また、検出器直下に位置するため鏡筒外
壁に固定して取付けるコイル等に比べ、コイル径が非常
に小さく（固定の場合は、最低でもつなぎ°板の穴より
大きくする必要がある）な９、消費電力も従来の約１１
５以下で済む。
くようコイル電流を調整しである。この時、上部で得ら
れる像がダークステム像であシ、下部で得られるのがプ
ライトステム像である。偏向コイル１３は検出器１を電
子線光軸１５より外しつなぎ板１２の穴中心が電子線光
軸１５に移動した時、自動的に電子線光軸１５より外す
ことができる。また、検出器直下に位置するため鏡筒外
壁に固定して取付けるコイル等に比べ、コイル径が非常
に小さく（固定の場合は、最低でもつなぎ°板の穴より
大きくする必要がある）な９、消費電力も従来の約１１
５以下で済む。
以上の説明から明らかなように本発明によれば、電子線
光軸より外れた走査電子像の下部検出器に必要な電子線
を導く偏向コイルを上部検出装置と１体化したため、上
部検出装置を電子線光軸より外子ごと）により偏向コイ
ルも自動的に外れ、簡単な操作でダークステム像とプラ
イトステム像を得ることができる。また、検出器直下に
偏向コイルを設けたため、鏡筒外筒に取付けた場合等に
比較すると消費電力も大巾に減少できると共に、小形化
されて組立作業も簡単であり、大巾な原価低減ができる
という効果がある。
光軸より外れた走査電子像の下部検出器に必要な電子線
を導く偏向コイルを上部検出装置と１体化したため、上
部検出装置を電子線光軸より外子ごと）により偏向コイ
ルも自動的に外れ、簡単な操作でダークステム像とプラ
イトステム像を得ることができる。また、検出器直下に
偏向コイルを設けたため、鏡筒外筒に取付けた場合等に
比較すると消費電力も大巾に減少できると共に、小形化
されて組立作業も簡単であり、大巾な原価低減ができる
という効果がある。
図は本発明の実施例を示す要部の断面図である。
１・・・検出器、６・・・ボデー、１２・・・つなぎ板
、１３・・・偏向コイル、１５・・・電子線光軸、１８
・・・検出器。
、１３・・・偏向コイル、１５・・・電子線光軸、１８
・・・検出器。
Claims (1)
- １、電子顕微鏡の最下部に位置する写真撮影装置上部に
孔のない検出器を有する走査像検出装置と、その上方に
検出器の中央に小穴のあいた電子線光軸から着脱可能な
走査像検出装置を具備し、かつ前記下方側の検出装置を
電子線光軸より外して位置するよう構成された電子顕微
鏡において、電子線光軸より外れた下方の検出装置に電
子線を導く偏向コイルを上方の検出装置の検出器直下に
設け、上方の検出装置の着脱時に前記偏向コイルも同時
に着脱可能なように構成されて成る電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59180540A JPS6161359A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59180540A JPS6161359A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | 電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6161359A true JPS6161359A (ja) | 1986-03-29 |
Family
ID=16085053
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59180540A Pending JPS6161359A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6161359A (ja) |
-
1984
- 1984-08-31 JP JP59180540A patent/JPS6161359A/ja active Pending
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