JPS6161701A - 回転多面鏡の製造方法 - Google Patents
回転多面鏡の製造方法Info
- Publication number
- JPS6161701A JPS6161701A JP18049584A JP18049584A JPS6161701A JP S6161701 A JPS6161701 A JP S6161701A JP 18049584 A JP18049584 A JP 18049584A JP 18049584 A JP18049584 A JP 18049584A JP S6161701 A JPS6161701 A JP S6161701A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cutting
- diamond
- polygon mirror
- rotating polygon
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Turning (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、レーザー走査系光学装置等に用いられる回転
多面鏡の製造方法に関する。
多面鏡の製造方法に関する。
レーザー走査系光学装置などに装着され、例えばレーザ
ービームの進路を変換させて、レーザービームを受光面
上を走査させるのに用いる回転多面鏡としては１代表的
には断面が正六角形状などの正多角形からなる角柱部材
の側面を反射鏡面として設けたものが知られている。
ービームの進路を変換させて、レーザービームを受光面
上を走査させるのに用いる回転多面鏡としては１代表的
には断面が正六角形状などの正多角形からなる角柱部材
の側面を反射鏡面として設けたものが知られている。
従来、このような回転多面鏡の製造は、アルミニウム合
金等の金属材料からなる部材を断面が正多角形状である
角柱状に成形した基材３の所定部分４を、第２図（ａ）
に示すようなダイヤモンドＲバイト１、すなわちダイヤ
モンド刃が曲線状に形成されたバイトを用いて、第２図
（ｂ）または第２図（Ｃ）に示すようないわゆるフライ
カー／ ト方式による切削工程により、超精密切削して
反射鏡面を形成する方法等によって製造されてきた。
金等の金属材料からなる部材を断面が正多角形状である
角柱状に成形した基材３の所定部分４を、第２図（ａ）
に示すようなダイヤモンドＲバイト１、すなわちダイヤ
モンド刃が曲線状に形成されたバイトを用いて、第２図
（ｂ）または第２図（Ｃ）に示すようないわゆるフライ
カー／ ト方式による切削工程により、超精密切削して
反射鏡面を形成する方法等によって製造されてきた。
ところが、このダイヤモンドＲバイトを用いた超精密切
削工程に於いては、第２図（ｄ）の第２図（ｂ）の工程
によって切削された面１０の、及び第２図（ｅ）の第２
図（Ｃ）の工程によって切削された面１１の平面図とし
てそれぞれ示したように、切削面にバイトの送り方向へ
の切削条痕１２が残り易く、この切削条９１２に起因し
て生じた回折光が、反射鏡面の反射効率を低下させるな
どの問題があった。
削工程に於いては、第２図（ｄ）の第２図（ｂ）の工程
によって切削された面１０の、及び第２図（ｅ）の第２
図（Ｃ）の工程によって切削された面１１の平面図とし
てそれぞれ示したように、切削面にバイトの送り方向へ
の切削条痕１２が残り易く、この切削条９１２に起因し
て生じた回折光が、反射鏡面の反射効率を低下させるな
どの問題があった。
また、反射鏡面に所定の表面粗さを与えるためには、バ
イトの加工面内での送り速度をある程度低くする必要が
あり、切削加工時間が長く、加工能率が低いと言う問題
もあった。
イトの加工面内での送り速度をある程度低くする必要が
あり、切削加工時間が長く、加工能率が低いと言う問題
もあった。
本発明の目的は、基材面を超精密切削する工程に於いて
、切削加工された面に切削条痕を残さずに基材面を切削
し、かつ加工能率を向上することのできる回転多面鏡の
製造方法を提供することにある。
、切削加工された面に切削条痕を残さずに基材面を切削
し、かつ加工能率を向上することのできる回転多面鏡の
製造方法を提供することにある。
上記の目的は以下の本発明によって達成することができ
る。
る。
すなわち、本発明の回転多面鏡の製造方法は、基材面を
超精密切削することによって、反射鏡面を形成する工程
を含む回転多面鏡の製造方法に於いて、前記基材面のａ
精密切削をダイヤモンド直線刃を用いて実施することを
特徴とする。
超精密切削することによって、反射鏡面を形成する工程
を含む回転多面鏡の製造方法に於いて、前記基材面のａ
精密切削をダイヤモンド直線刃を用いて実施することを
特徴とする。
以下１図面を用いて本発明の方法を更に詳細に説明する
。
。
第１図（ａ）及び第１図（ｂ）は、それぞれ本発明の方
法に用いるダイヤモンド直線刃の正面図及び側面図であ
り、１５は直線状に伸びた刃の部分を有する直線状にダ
イヤモンド直線刃であり、シャンク２によって固定され
ている。なお、本発明の方法に用いられるダイヤモンド
直線刃は、切削工程後に形成された切削面に所定の平面
度を与えることのできる程度の直線性を有するものを使
用する。
法に用いるダイヤモンド直線刃の正面図及び側面図であ
り、１５は直線状に伸びた刃の部分を有する直線状にダ
イヤモンド直線刃であり、シャンク２によって固定され
ている。なお、本発明の方法に用いられるダイヤモンド
直線刃は、切削工程後に形成された切削面に所定の平面
度を与えることのできる程度の直線性を有するものを使
用する。
本発明の方法に於いては、このようなダイヤモンド直線
刃を用いて、基材面の超精密切削が実施される。
刃を用いて、基材面の超精密切削が実施される。
すなわち、第１図（Ｃ）に示すように、ダイヤモンド直
線刃１５が固定されたシャンク２を、回転軸１４を中心
に、８で示された方向に回転駆動可能な）＜イトホルダ
ー７に固定し、更に多数の反射鏡面を形成する面を有す
る基材３を、多数面割出し機構６がセットされた雇５に
取り付ける。ここで、基材３の有する側面４のうちの１
つを、切削位置に移動させ、そこに停止させる。次に、
バイトホルダー７を所定の速度で回転させながら、１３
の方向に所定の速度で移動させ、加工すべき基材面４に
ダイヤモンド直線刃を当て、引続き１３の方向に所定の
速度でバイトホルダー７を移動させ切削を実施する。
線刃１５が固定されたシャンク２を、回転軸１４を中心
に、８で示された方向に回転駆動可能な）＜イトホルダ
ー７に固定し、更に多数の反射鏡面を形成する面を有す
る基材３を、多数面割出し機構６がセットされた雇５に
取り付ける。ここで、基材３の有する側面４のうちの１
つを、切削位置に移動させ、そこに停止させる。次に、
バイトホルダー７を所定の速度で回転させながら、１３
の方向に所定の速度で移動させ、加工すべき基材面４に
ダイヤモンド直線刃を当て、引続き１３の方向に所定の
速度でバイトホルダー７を移動させ切削を実施する。
所定の取代分切削が行なわれたら、バイトホルダーの移
動を停止し、バイトホルダー７を１３の逆方向に後退さ
せたところで、割出し機構６により、基材を回転させ、
切削加工終了面を切削位置から移動させ、切削加工すべ
き新たな基材面を切削位置に移動させ、そこの停止させ
、前記した工程を再び繰り返して、切削を行なう。
動を停止し、バイトホルダー７を１３の逆方向に後退さ
せたところで、割出し機構６により、基材を回転させ、
切削加工終了面を切削位置から移動させ、切削加工すべ
き新たな基材面を切削位置に移動させ、そこの停止させ
、前記した工程を再び繰り返して、切削を行なう。
更に、以上の工程を反射鏡面の数に応じて繰返し、切削
工程を終了する。
工程を終了する。
このような本発明の方法に於けるようなダイヤモンド直
線刃を用いた超精密切削により反射鏡面の形成を実施す
れば、従来のダイヤモンｌ” Ｒバイトを用いて超精密
切削を実施した場合のよう１・よ切削条痕を切削面に生
じさせることなく反射鏡面の形成が可能であり、すｊＩ
′；ワ条朕に起因して生じる入；」折尤による反射鏡１
力反射効率の低下を起すことのない反射鏡面を形成する
ことが可能となり、また、従来のダイヤモンドバイトを
用いた場合のように、加工面内でのバイトの送り操作を
必要としないために、切削加工に要する時間を大幅に短
縮することが可能となり、加工能率を向上させることが
できた。
線刃を用いた超精密切削により反射鏡面の形成を実施す
れば、従来のダイヤモンｌ” Ｒバイトを用いて超精密
切削を実施した場合のよう１・よ切削条痕を切削面に生
じさせることなく反射鏡面の形成が可能であり、すｊＩ
′；ワ条朕に起因して生じる入；」折尤による反射鏡１
力反射効率の低下を起すことのない反射鏡面を形成する
ことが可能となり、また、従来のダイヤモンドバイトを
用いた場合のように、加工面内でのバイトの送り操作を
必要としないために、切削加工に要する時間を大幅に短
縮することが可能となり、加工能率を向上させることが
できた。
以下、実施例を用いて本発明の方法を更に詳細に説明す
る。
る。
実施例
正六角柱形状のアルミニウムからなる基材の反射鏡面を
形成すべき面を刃巾１０ｍｍ、直線仕入／２０のダイヤ
モンドバイトにて切削することにより表面粗さＲｍａｘ
ｏ、０１ｐ、平面度入７５以下の鏡面が得られた。また
、この鏡面は切削条痕がない為、フレアーを生じなかっ
た。又、巾５ｍｍの回転多面鏡を切削により形成する際
、従来の送り方式の加工の場合の３０００ｒｐｍ 、
０．０１ｍｍ／ｒｅｖの送りの場合に比べて、本発明の
方法により直線刃を用い１−／ｒｅマ（二て５０岬の取
り代を取った場合は、正味加工時間は一面当り約１／１
０になり加工能率が向上した。
形成すべき面を刃巾１０ｍｍ、直線仕入／２０のダイヤ
モンドバイトにて切削することにより表面粗さＲｍａｘ
ｏ、０１ｐ、平面度入７５以下の鏡面が得られた。また
、この鏡面は切削条痕がない為、フレアーを生じなかっ
た。又、巾５ｍｍの回転多面鏡を切削により形成する際
、従来の送り方式の加工の場合の３０００ｒｐｍ 、
０．０１ｍｍ／ｒｅｖの送りの場合に比べて、本発明の
方法により直線刃を用い１−／ｒｅマ（二て５０岬の取
り代を取った場合は、正味加工時間は一面当り約１／１
０になり加工能率が向上した。
ｉ １ ［ｆｆｌ （ａ）はバイトシャンクに固定され
た本発明の方法に用いるダイヤモンド直線刃の正面図、
第１図（ｂ）はバイトシャンクに固定された＊、発明の
方法に用いるダイヤモンド直線刃の側面図、第１図（ｃ
）は、本発明の方法に於ける超精密切削工程を説明する
だめの装置の概略図、第２図（ａ）はダイヤモンド直線
刃トの正面図及び側面図、第２図（ｂ）及び第２図（Ｃ
）は従来の方法に於ける超精密切削工程を説明するため
の装置の概略図、第２図（ｄ）及び第２図（ｅ）は従来
の方法によって切削された切削面の模式図である。 １、ダイヤモンドＲノへイト ２：／へイトシャンク ３：基材 ４、切削面 ５・雇 ６：多数面割出し機構 ７：バイトホルダー ８：回転方向 ９．１３：移動方向 １０．１１：切削面 １２：条痕 １４：回転軸 １５：ダイヤモンド直線刃 （ａ） （ｂ） 第 １ 図 （ａ） （ｂ） （ｃ） ム （ｄ） （ｅ） 第 ２ 図
た本発明の方法に用いるダイヤモンド直線刃の正面図、
第１図（ｂ）はバイトシャンクに固定された＊、発明の
方法に用いるダイヤモンド直線刃の側面図、第１図（ｃ
）は、本発明の方法に於ける超精密切削工程を説明する
だめの装置の概略図、第２図（ａ）はダイヤモンド直線
刃トの正面図及び側面図、第２図（ｂ）及び第２図（Ｃ
）は従来の方法に於ける超精密切削工程を説明するため
の装置の概略図、第２図（ｄ）及び第２図（ｅ）は従来
の方法によって切削された切削面の模式図である。 １、ダイヤモンドＲノへイト ２：／へイトシャンク ３：基材 ４、切削面 ５・雇 ６：多数面割出し機構 ７：バイトホルダー ８：回転方向 ９．１３：移動方向 １０．１１：切削面 １２：条痕 １４：回転軸 １５：ダイヤモンド直線刃 （ａ） （ｂ） 第 １ 図 （ａ） （ｂ） （ｃ） ム （ｄ） （ｅ） 第 ２ 図
Claims (1)
- １）基材面を超精密切削することによって、反射鏡面を
形成する工程を含む回転多面鏡の製造方法に於いて、前
記基材面の超精密切削をダイヤモンド直線刃を用いて実
施することを特徴とする回転多面鏡の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18049584A JPS6161701A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | 回転多面鏡の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18049584A JPS6161701A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | 回転多面鏡の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6161701A true JPS6161701A (ja) | 1986-03-29 |
Family
ID=16084237
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18049584A Pending JPS6161701A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | 回転多面鏡の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6161701A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006330141A (ja) * | 2005-05-24 | 2006-12-07 | Olympus Corp | 光学素子及びそれを用いた光学系、電子機器 |
| JP2008216512A (ja) * | 2007-03-02 | 2008-09-18 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置、画像形成装置、及び偏向器製造方法 |
-
1984
- 1984-08-31 JP JP18049584A patent/JPS6161701A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006330141A (ja) * | 2005-05-24 | 2006-12-07 | Olympus Corp | 光学素子及びそれを用いた光学系、電子機器 |
| JP2008216512A (ja) * | 2007-03-02 | 2008-09-18 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置、画像形成装置、及び偏向器製造方法 |
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