JPS6165745U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6165745U JPS6165745U JP15046284U JP15046284U JPS6165745U JP S6165745 U JPS6165745 U JP S6165745U JP 15046284 U JP15046284 U JP 15046284U JP 15046284 U JP15046284 U JP 15046284U JP S6165745 U JPS6165745 U JP S6165745U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- wide
- boat
- shaped
- storage boat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 4
Landscapes
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Description
第１図から第４図までは本考案の実施例を示し
、第１図は収納ボートの側面図、第２図は正面図
、第３図は第２図の−線視拡大断面図、第４
図は第２図の−線視拡大断面図、第５図から
第８図までは従来例を示し、第５図は収納ボート
の側面図、第６図は正面図、第７図は支持溝の要
部拡大断面図、第８図は他の支持溝の要部拡大断
面図である。 １０…ウエハ、１１…収納ボート、１４，１４
′…左右両支持枠、１５…下端支持枠、１６，１
７，１８…支持溝、２１，２１，２２…急な傾斜
面、２３，２３，２４…緩い傾斜面。
、第１図は収納ボートの側面図、第２図は正面図
、第３図は第２図の−線視拡大断面図、第４
図は第２図の−線視拡大断面図、第５図から
第８図までは従来例を示し、第５図は収納ボート
の側面図、第６図は正面図、第７図は支持溝の要
部拡大断面図、第８図は他の支持溝の要部拡大断
面図である。 １０…ウエハ、１１…収納ボート、１４，１４
′…左右両支持枠、１５…下端支持枠、１６，１
７，１８…支持溝、２１，２１，２２…急な傾斜
面、２３，２３，２４…緩い傾斜面。
Claims (1)
- 薄い板状のウエハを、その広巾面が横向きにな
るようにして前後方向に適宜間隔ごとに配置して
支持する収納ボートにおいて、該ボートの内面に
は各ウエハの少なくともその下端縁部と左右両側
端縁部とを支持する支持溝を設け、該各支持溝の
断面形状を、各ウエハの広巾裏面側が凭れる急な
傾斜面と、広巾表面側が密着しないような緩い傾
斜面とからなる略Ｖ字状に形成して成るウエハの
収納ボート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15046284U JPH069515Y2 (ja) | 1984-10-03 | 1984-10-03 | ウエハの収納ボ−ト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15046284U JPH069515Y2 (ja) | 1984-10-03 | 1984-10-03 | ウエハの収納ボ−ト |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6165745U true JPS6165745U (ja) | 1986-05-06 |
| JPH069515Y2 JPH069515Y2 (ja) | 1994-03-09 |
Family
ID=30708609
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15046284U Expired - Lifetime JPH069515Y2 (ja) | 1984-10-03 | 1984-10-03 | ウエハの収納ボ−ト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH069515Y2 (ja) |
-
1984
- 1984-10-03 JP JP15046284U patent/JPH069515Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH069515Y2 (ja) | 1994-03-09 |