JPS6166935U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の化合物蒸気吹付け装置の実施
例を示す図、第２図は従来技術による化合物蒸気
を所定位置に供給する手段を示す図である。 １…化合物、２…ヌツセンセル、３…ヒーター
、４…オリフイス、５…熱電対、６…容器、７…
化合物収納孔、８…化合物蒸気案内孔、９…ノズ
ル、１０…プランジヤー、１１…シリンダ、１２
…ロツド、１３…保持体、１４…取付板、１５…
弁受け、１６…シール部材、１７…Ｏリング、１
８…ヒーター線、１９…熱電対、２０…フイード
スルー、２１…絶縁体、２２…真空容器。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. マスクおよびレチクルの白点欠陥位置にイオソ
   ビーム照射および化合物蒸気吹付けによつて炭化
   膜等のパターン膜を形成させるマスクリベア装置
   に用いる化合物蒸気吹付け装置において、化合物
   を収納するための筒状をなす容器と、前記容器内
   に設けられた化合物収納孔および化合物蒸気案内
   孔と、前記容器内に形成されると共に前記化合物
   蒸気案内孔に連結された細管状のノズルと、前記
   化合物収納孔と前記ノズルとの連絡を前記容器の
   先端近傍で開状態とするためのバルブ体と、前記
   容器を保持するための保持体と、前記バルブ体を
   作動させるために前記保持体に設けたられた駆動
   体と、前記容器の外周に設けられたヒーターとを
   備え、前記ヒーターにより前記容器を加熱するこ
   とにより収納された前記化合物を蒸気化させて、
   前記バルブ体が開状態の時に前記化合物蒸気案内
   孔およびノズルを経てビーム状に噴出させるよう
   に構成したことを特徴とする化合物蒸気吹付け装
   置。