JPS6167817A - 半導体レ−ザ光走査装置 - Google Patents
半導体レ−ザ光走査装置Info
- Publication number
- JPS6167817A JPS6167817A JP59191022A JP19102284A JPS6167817A JP S6167817 A JPS6167817 A JP S6167817A JP 59191022 A JP59191022 A JP 59191022A JP 19102284 A JP19102284 A JP 19102284A JP S6167817 A JPS6167817 A JP S6167817A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor laser
- laser beam
- scanning
- collimating lens
- lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、半導体レーザビームプリンタ等に用いられる
半導体レーザ光走査装置に関するものである。
半導体レーザ光走査装置に関するものである。
従来例の構成とその問題点
近年、半導体技術の進歩に伴ない半導体レーザは年々信
頼性が向上し、かつ価格も安くなっている。これに加え
て、半導体レーザは小型でがっ直接変調が可能であると
いう特徴を持つため、その利用分野が急速に広がってお
り、半導体レーザビーム走査装置にも、一層の高精度化
が要求されている。
頼性が向上し、かつ価格も安くなっている。これに加え
て、半導体レーザは小型でがっ直接変調が可能であると
いう特徴を持つため、その利用分野が急速に広がってお
り、半導体レーザビーム走査装置にも、一層の高精度化
が要求されている。
以下、半導体レーザビーム走査装置を利用した典型的な
例として、半導体レーザビームプリンタを取りあげ、説
明を行なう。
例として、半導体レーザビームプリンタを取りあげ、説
明を行なう。
以下、図面を参照しながら従来の半導体レーザビームプ
リンタについて説明する。第１図は従来の半導体レーザ
ビームプリンタの斜視図であシ、１は半導体レーザ、２
はコリメートレンズ、３は回転多面鏡、４はｆθレンズ
、５は感光体、６は同期検出装置、７は半導体レーザ駆
動装置である。
リンタについて説明する。第１図は従来の半導体レーザ
ビームプリンタの斜視図であシ、１は半導体レーザ、２
はコリメートレンズ、３は回転多面鏡、４はｆθレンズ
、５は感光体、６は同期検出装置、７は半導体レーザ駆
動装置である。
以上の様に構成された半導体レーザビームプリンタにつ
いて、その動作を以下に説明する。半導体レーザ１から
発せられたレーザ光は、コリメートレンズ２によって平
行レーザ光となり、回転多面鏡３に入射する。回転多面
鏡３０図中矢印人方向の回転により、平行レーザ光は図
中矢印Ｂ方向に走査され、さらにｆθレンズ４によって
感光体６上に結像され、感光体６上を図中矢印Ｃ方向に
等速走査する。さらに感光体６が図中矢印り方向に回転
することによって感光体５上に平面走査が行なわれる。
いて、その動作を以下に説明する。半導体レーザ１から
発せられたレーザ光は、コリメートレンズ２によって平
行レーザ光となり、回転多面鏡３に入射する。回転多面
鏡３０図中矢印人方向の回転により、平行レーザ光は図
中矢印Ｂ方向に走査され、さらにｆθレンズ４によって
感光体６上に結像され、感光体６上を図中矢印Ｃ方向に
等速走査する。さらに感光体６が図中矢印り方向に回転
することによって感光体５上に平面走査が行なわれる。
レーザ光の一部は同期検出装置６の受光面に結像する。
同期検出装置６は、半導体レーザ駆動装置７に、−走査
線毎の書き込み開始信号を与え感光体６０回転方向に関
して走査の同期をとる。
線毎の書き込み開始信号を与え感光体６０回転方向に関
して走査の同期をとる。
しかしながら、上記のような構成においては、回転多面
鏡３の各鏡面の図中矢印Ｅ方向の倒れによって、レーザ
走査光が感光体Ｓ上のＦ方向にずれ、画質が低下すると
いう問題点を有していた。
鏡３の各鏡面の図中矢印Ｅ方向の倒れによって、レーザ
走査光が感光体Ｓ上のＦ方向にずれ、画質が低下すると
いう問題点を有していた。
発明の目的
本発明の目的は高精度の走査を可能とする半導体レーザ
ビーム走査装置を提供することである。
ビーム走査装置を提供することである。
発明の構成
本発明の半導体レーザビーム走査装置は、光源となる半
導体レーザと、前記半導体レーザが発するレーザ光を平
行レーザ光とするコリメートレンズと、第１の方向に対
して前記レーザ光の走査を行なうレーザ光走査手段と、
前記レーザ光の前記走査の前記第１の方向と平行でない
第２の方向の走査ずれ量を検出する走査ずれ量検出手段
と、前記走査ずれ量検出手段によって検出される走査ず
れ量に応じて、前記半導体レーザと前記コリメー、トレ
ンズを前記第１の方向に対応する方向に相対的に移動さ
せる光学系移動手段とを具備するように構成したもので
ちゃ、これにより、レーザ光走査の走査ずれ量を補正し
、高精度の走査を行なうものである。
導体レーザと、前記半導体レーザが発するレーザ光を平
行レーザ光とするコリメートレンズと、第１の方向に対
して前記レーザ光の走査を行なうレーザ光走査手段と、
前記レーザ光の前記走査の前記第１の方向と平行でない
第２の方向の走査ずれ量を検出する走査ずれ量検出手段
と、前記走査ずれ量検出手段によって検出される走査ず
れ量に応じて、前記半導体レーザと前記コリメー、トレ
ンズを前記第１の方向に対応する方向に相対的に移動さ
せる光学系移動手段とを具備するように構成したもので
ちゃ、これにより、レーザ光走査の走査ずれ量を補正し
、高精度の走査を行なうものである。
実施例の説明
以下、本発明の一実施例について、図面を参照しながら
説明する。
説明する。
第２図は、本発明の一実施例における半導体レーザビー
ムプリンタの斜視図であり、８は半導体レーザ、９はコ
リメートレンズ、１ｏは回転多面鏡、１１はｆθレンズ
、１２は感光体、１３は同期検出装置、１４は半導体レ
ーザ駆動装置、１６は走査ずれ量検出装置、１６はコリ
メートレンズ移動装置である。
ムプリンタの斜視図であり、８は半導体レーザ、９はコ
リメートレンズ、１ｏは回転多面鏡、１１はｆθレンズ
、１２は感光体、１３は同期検出装置、１４は半導体レ
ーザ駆動装置、１６は走査ずれ量検出装置、１６はコリ
メートレンズ移動装置である。
以上の様に構成された本実施例の半導体レーザビームプ
リンタについて、以下その動作を説明する。但し、８〜
１４の基本的な動作については第１図の１〜７の動作と
同様であるので説明を省略する１、 回転多面鏡１０の各反へ射面の図中矢印Ｇ方向の倒れ等
によって感光体１２上のレーザ光の走査線は図中矢印Ｈ
方向にずれる。走査ずれ量検出装置１６は、このずれ量
を検出する。検出されたずれ量に応じて、コリメートレ
ンズ移動装置１６はコリメートレンズ９を図中矢印Ｊ方
向に移動し、ずれ量を補正する。
リンタについて、以下その動作を説明する。但し、８〜
１４の基本的な動作については第１図の１〜７の動作と
同様であるので説明を省略する１、 回転多面鏡１０の各反へ射面の図中矢印Ｇ方向の倒れ等
によって感光体１２上のレーザ光の走査線は図中矢印Ｈ
方向にずれる。走査ずれ量検出装置１６は、このずれ量
を検出する。検出されたずれ量に応じて、コリメートレ
ンズ移動装置１６はコリメートレンズ９を図中矢印Ｊ方
向に移動し、ずれ量を補正する。
コリメートレンズ９の移動によって、走査線のずれをど
の程度補正できるかを、第３図を用いて説明する。第３
図は、本発明の一実施例における半導体レーザビームプ
リンタの正面図である。
の程度補正できるかを、第３図を用いて説明する。第３
図は、本発明の一実施例における半導体レーザビームプ
リンタの正面図である。
１７は半導体レーザ、１８はコリメートレンズ、１９は
ｆθレンズ、２ｏはレーザ光結像線、２１はｆθレンズ
１９の光軸である。また、半導体レーザ１７の発光点は
、ｆθレンズ１９の光軸上に位置する。さらに、第３図
において、ａはコリメートレンズ１８の光軸とｆθレン
ズ１９の光軸２１とのずれ量、θはコリメートレンズ１
８を通過後のレーザ光と光軸２１との傾き、ｂは結像点
と光軸２１のずれ量、ｆ’、、ｆ２はそれぞれコリメー
トレンズ１８、ｆθレンズ１９の焦点距離、図中矢印に
は第２図中の矢印Ｈ，Ｊに対応する方向を示す矢印であ
る。第３図より、θは下式にて求められる。
ｆθレンズ、２ｏはレーザ光結像線、２１はｆθレンズ
１９の光軸である。また、半導体レーザ１７の発光点は
、ｆθレンズ１９の光軸上に位置する。さらに、第３図
において、ａはコリメートレンズ１８の光軸とｆθレン
ズ１９の光軸２１とのずれ量、θはコリメートレンズ１
８を通過後のレーザ光と光軸２１との傾き、ｂは結像点
と光軸２１のずれ量、ｆ’、、ｆ２はそれぞれコリメー
トレンズ１８、ｆθレンズ１９の焦点距離、図中矢印に
は第２図中の矢印Ｈ，Ｊに対応する方向を示す矢印であ
る。第３図より、θは下式にて求められる。
θ＝ａ／ｆ、 ・・・・・・（１
）ｆθレンズの特性から、 ｂ＝ｆ２θ ・川・・（２）（１
） 、 （２）式より ｆｌ ＆ ＝−ｂ ・・・・
・・（３）走査線のずれ量は、通常、 ５６２６μｍ ・・・・・・（４）程
度であり、また光学系としては、 ｆ、＝ １０順 ・旧・・（６）ｆ２
＝２６０ｙｔｐｒ ・・・・・・（６
）程度に設計される。
）ｆθレンズの特性から、 ｂ＝ｆ２θ ・川・・（２）（１
） 、 （２）式より ｆｌ ＆ ＝−ｂ ・・・・
・・（３）走査線のずれ量は、通常、 ５６２６μｍ ・・・・・・（４）程
度であり、また光学系としては、 ｆ、＝ １０順 ・旧・・（６）ｆ２
＝２６０ｙｔｐｒ ・・・・・・（６
）程度に設計される。
（４）〜（６）式を（３）式に代入して、ａ≦１μｍ
・・・・・・（７）が得られ、コリ
メートレンズ１８をわずかに変位させるだけで、レーザ
光走査線のずれ量の補正が可能である事がわかる。
・・・・・・（７）が得られ、コリ
メートレンズ１８をわずかに変位させるだけで、レーザ
光走査線のずれ量の補正が可能である事がわかる。
まだ、第２図のコリメートレンズ移動装置１６は電歪効
果を持つ材料を用いて構成しているため、簡易な構成で
（７）式で表わされるような微小な変位を精度良く実現
している。
果を持つ材料を用いて構成しているため、簡易な構成で
（７）式で表わされるような微小な変位を精度良く実現
している。
発明の効果
以上の説明から明らかなように、本発明による半導体レ
ーザ走査装置は光源となる半導体レーザと、前記半導体
レーザが発するレーザ光を平行レーＸザ光とするコリメ
ートレンズと、第１の方向に対して前記レーザ光の走査
を行なうレーザ光走査手段と、前記レーザ光の前記走査
の前記第１の方向と平行でない第２の方向の走査ずれ量
を検出する走査ずれ量検出手段と、前記走査ずれ量検出
手段によって検出される走査ずれ量に応じて、前記半導
体レーザと前記コリメートレンズを前記第１の方向に対
応する方向に相対的に移動させる光学系移動手段とを具
備するように構成しているので、レーザ走査光の走査ず
れ量を補正し、高精度の走査が行なえるという優れた効
果が得られる。
ーザ走査装置は光源となる半導体レーザと、前記半導体
レーザが発するレーザ光を平行レーＸザ光とするコリメ
ートレンズと、第１の方向に対して前記レーザ光の走査
を行なうレーザ光走査手段と、前記レーザ光の前記走査
の前記第１の方向と平行でない第２の方向の走査ずれ量
を検出する走査ずれ量検出手段と、前記走査ずれ量検出
手段によって検出される走査ずれ量に応じて、前記半導
体レーザと前記コリメートレンズを前記第１の方向に対
応する方向に相対的に移動させる光学系移動手段とを具
備するように構成しているので、レーザ走査光の走査ず
れ量を補正し、高精度の走査が行なえるという優れた効
果が得られる。
さらに、光学系移動手段に電歪効果を持つ部材を利用す
ることにより、簡易な構成で、半導体レーザとコリメー
トレンズの相対的移動を精度良く実現できるという効果
が得られる。
ることにより、簡易な構成で、半導体レーザとコリメー
トレンズの相対的移動を精度良く実現できるという効果
が得られる。
第１図は従来の半導体レーザビームプリンタの斜視図、
第２図は本発明の一実施例における半導体レーザ光走査
装置の斜視図、第３図は同正面図である。 ８．１７・・・・・・半導体レーザ、９，１８・・・・
・・コリメートレンズ、１ｏ・・・・・・回転多面鏡、
１６・・・・・・走査ずれ量検出装置、１６・・・・・
・コリメートレンズ移動装置。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第３
図 ＩＫ
第２図は本発明の一実施例における半導体レーザ光走査
装置の斜視図、第３図は同正面図である。 ８．１７・・・・・・半導体レーザ、９，１８・・・・
・・コリメートレンズ、１ｏ・・・・・・回転多面鏡、
１６・・・・・・走査ずれ量検出装置、１６・・・・・
・コリメートレンズ移動装置。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第３
図 ＩＫ
Claims (2)
- （１）光源となる半導体レーザと、前記半導体レーザが
発するレーザ光を平行レーザ光とするコリメートレンズ
と、第１の方向に対して前記レーザ光の走査を行なうレ
ーザ光走査手段と、前記レーザ光の前記走査の前記第１
の方向と平行でない第２の方向の走査ずれ量を検出する
走査ずれ量検出手段と、前記走査ずれ量検出手段によっ
て検出される走査ずれ量に応じて前記半導体レーザと前
記コリメートレンズを前記第２の方向に対応する方向に
相対的に移動させる光学系移動手段とを具備する事を特
徴とする半導体レーザ光走査装置。 - （２）光学系移動手段に電歪効果を持つ部材を利用した
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の半導体レ
ーザ光走査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59191022A JPS6167817A (ja) | 1984-09-12 | 1984-09-12 | 半導体レ−ザ光走査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59191022A JPS6167817A (ja) | 1984-09-12 | 1984-09-12 | 半導体レ−ザ光走査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6167817A true JPS6167817A (ja) | 1986-04-08 |
Family
ID=16267585
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59191022A Pending JPS6167817A (ja) | 1984-09-12 | 1984-09-12 | 半導体レ−ザ光走査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6167817A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6324520U (ja) * | 1986-07-31 | 1988-02-18 | ||
| JPS6490435A (en) * | 1987-10-01 | 1989-04-06 | Fuji Photo Film Co Ltd | Radiograph information reader |
| US5627670A (en) * | 1989-07-05 | 1997-05-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Scanning optical apparatus having beam scan controller |
-
1984
- 1984-09-12 JP JP59191022A patent/JPS6167817A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6324520U (ja) * | 1986-07-31 | 1988-02-18 | ||
| JPS6490435A (en) * | 1987-10-01 | 1989-04-06 | Fuji Photo Film Co Ltd | Radiograph information reader |
| US5627670A (en) * | 1989-07-05 | 1997-05-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Scanning optical apparatus having beam scan controller |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH07281113A (ja) | 走査光学装置 | |
| EP0263774A2 (en) | Scanner | |
| JPS63183415A (ja) | レ−ザビ−ム走査装置 | |
| JP3073801B2 (ja) | 光走査用レンズおよび光走査装置 | |
| JPH0222616A (ja) | レーザ走査装置 | |
| JPS6167817A (ja) | 半導体レ−ザ光走査装置 | |
| JP4364327B2 (ja) | 光走査装置の同期光検出装置 | |
| JPH08110488A (ja) | 光走査装置 | |
| JPH0132700B2 (ja) | ||
| JPS6167818A (ja) | 半導体レ−ザ光走査装置 | |
| JPS6247010A (ja) | レ−ザ走査装置 | |
| JP2647091B2 (ja) | レーザビーム走査装置 | |
| JPH01128033A (ja) | 画像形成装置 | |
| JPH1010448A (ja) | 光走査装置 | |
| JPS6167819A (ja) | 半導体レ−ザ光走査装置 | |
| JP2603232B2 (ja) | 走査光学装置 | |
| JP2940962B2 (ja) | ポリゴンスキャナのジッタ計測装置 | |
| JPS63102543A (ja) | レ−ザ光走査装置の同期検知装置 | |
| JPH0365920A (ja) | スポット検出機構を備えた走査光学装置 | |
| JPH0519204A (ja) | 走査光学装置 | |
| JP2003043389A (ja) | 走査光学装置 | |
| JPH08190071A (ja) | 偏向走査装置 | |
| JPH04245212A (ja) | レーザ記録装置 | |
| JPH0196622A (ja) | 走査光学装置 | |
| JPS63271221A (ja) | 走査光学装置 |