JPS6169139A - ペレツトボンデイング装置における認識装置 - Google Patents
ペレツトボンデイング装置における認識装置Info
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- JPS6169139A JPS6169139A JP59190578A JP19057884A JPS6169139A JP S6169139 A JPS6169139 A JP S6169139A JP 59190578 A JP59190578 A JP 59190578A JP 19057884 A JP19057884 A JP 19057884A JP S6169139 A JPS6169139 A JP S6169139A
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
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- H10W72/07331—Connecting techniques
- H10W72/07337—Connecting techniques using a polymer adhesive, e.g. an adhesive based on silicone or epoxy
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- Die Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
に認識装置を有するペレットボンディング装置に関する
。
。
［発明の技術的背景］
半導体製造工程の一つに、ペレット供給位置からペレッ
トを順次コレットと呼ばれる吸着保持具て保持後、リー
ドフレーム等の基板に搬送し、基板の所定位置に固着す
るペレットボンディング工程がある。この工程ではペレ
ットボンディング装置が用いられる。その−例を示した
のが第２図で、一部をブロック図で示しであるう図にお
いて、１はペレット供給位ｆｉｌｌに設けられたＸＹテ
ーブルで、このＸＹテーブル１土にブラケット２が固歪
配置されている。なおＸＹテーブル１はそれぞれＸ軸駆
動モータ１ｘ、Ｙ＠駆動モータ１ｙによりＸＹ方向に移
動させられるようになっている。ブラケット２には多数
のペレット３を有するカセットリング４が水平に保持さ
れている。５はボンディング位置■に搬送されたペレッ
ト３がボンディングされるｇｌ、例えばリードフレーム
で、案内溝６が設けられた搬送ガイド７に沿って図示を
省略した搬送機構により間歇的に搬送される。８はペレ
ット３を適宜吸着、解放ツる］レットで、アーム支持体
９にて支持されたコレット７−ム１０の一端に設けられ
、他端はアーム支持体９内に設けられた図示を省略した
駆動装置により、コレット８の吸着ノズル８ａがアーム
支１ｈ体９に対してペレット供給位ｉｔとボンディング
位置■との間を往復移動するとともに、両ぢ装置１．１
上で上下動するように駆動される。アーム支持体９はま
たＸＹテーブル１１上に設けられており、Ｘ＠駆動モー
タ’１１Ｘ、Ｙ軸駆動モータ１１ｙを駆動することによ
り、アーム支持体９、コレットアーム１０、コレット８
は一体となってＸＹ方向に移動させられる。
トを順次コレットと呼ばれる吸着保持具て保持後、リー
ドフレーム等の基板に搬送し、基板の所定位置に固着す
るペレットボンディング工程がある。この工程ではペレ
ットボンディング装置が用いられる。その−例を示した
のが第２図で、一部をブロック図で示しであるう図にお
いて、１はペレット供給位ｆｉｌｌに設けられたＸＹテ
ーブルで、このＸＹテーブル１土にブラケット２が固歪
配置されている。なおＸＹテーブル１はそれぞれＸ軸駆
動モータ１ｘ、Ｙ＠駆動モータ１ｙによりＸＹ方向に移
動させられるようになっている。ブラケット２には多数
のペレット３を有するカセットリング４が水平に保持さ
れている。５はボンディング位置■に搬送されたペレッ
ト３がボンディングされるｇｌ、例えばリードフレーム
で、案内溝６が設けられた搬送ガイド７に沿って図示を
省略した搬送機構により間歇的に搬送される。８はペレ
ット３を適宜吸着、解放ツる］レットで、アーム支持体
９にて支持されたコレット７−ム１０の一端に設けられ
、他端はアーム支持体９内に設けられた図示を省略した
駆動装置により、コレット８の吸着ノズル８ａがアーム
支１ｈ体９に対してペレット供給位ｉｔとボンディング
位置■との間を往復移動するとともに、両ぢ装置１．１
上で上下動するように駆動される。アーム支持体９はま
たＸＹテーブル１１上に設けられており、Ｘ＠駆動モー
タ’１１Ｘ、Ｙ軸駆動モータ１１ｙを駆動することによ
り、アーム支持体９、コレットアーム１０、コレット８
は一体となってＸＹ方向に移動させられる。
ペレット供給位置Ｉ並びにボンディング位ｉＨＩ上には
、各位置■、■を光軸とする第１の撮像器ｒ １
２．第２のｍ機器１３が各々設けられており、第１の撮
像器１２では、ＸＹテーブル１の移動によりペレット供
給位置Ｉに達したペレット３の像を取り込むともに、第
２の撮像器１３では、図示を省略した搬送機構により搬
送ガイド７に沿って搬送され、ボンディング位動■に位
置決めされた基板５の像、特にペレッ］・３のボンディ
ングされるボンディング箇所の像を取り込む。なおＶｒ
Ｉｉｍ器１２．１３としてホトアレー、■丁Ｖなどを用
いる。第１の撮像器１２で取り込まれた像の信号は、第
１の撮像器制御回路１４にて信号変換された後筒１のモ
ニタ１５並びに第１の認識装ｖ１６に入力され、第１の
認識装置１６でペレット３の情報、例えば不良マークの
有無、割れかけの有無、ペレット供給位置（に対する位
置ずれ邑等が検出される。−力筒２のｌｌ１ｌ！１器１
３で取り込まれた像の信号も同様に第２の随像器制御回
路１７で信号変換された後、第２のモニタ１８並びに第
２の認識装置１９に入力され、第２の認識装置１つで基
板５の情報、例えばボンディング位置Ｉに対する位置ず
れ量等が検出される。なおペレット３や基板５の情報の
検出方法についてここでは詳説しないが、公知の方法、
例えばパターンマツチング法等により可能である。この
ようにして１ｑられたペレット３並びに基板５の情報は
制御装置２ｏに入力される。制御装置２０はペレットボ
ンディング装置の制御を行うものである。
、各位置■、■を光軸とする第１の撮像器ｒ １
２．第２のｍ機器１３が各々設けられており、第１の撮
像器１２では、ＸＹテーブル１の移動によりペレット供
給位置Ｉに達したペレット３の像を取り込むともに、第
２の撮像器１３では、図示を省略した搬送機構により搬
送ガイド７に沿って搬送され、ボンディング位動■に位
置決めされた基板５の像、特にペレッ］・３のボンディ
ングされるボンディング箇所の像を取り込む。なおＶｒ
Ｉｉｍ器１２．１３としてホトアレー、■丁Ｖなどを用
いる。第１の撮像器１２で取り込まれた像の信号は、第
１の撮像器制御回路１４にて信号変換された後筒１のモ
ニタ１５並びに第１の認識装ｖ１６に入力され、第１の
認識装置１６でペレット３の情報、例えば不良マークの
有無、割れかけの有無、ペレット供給位置（に対する位
置ずれ邑等が検出される。−力筒２のｌｌ１ｌ！１器１
３で取り込まれた像の信号も同様に第２の随像器制御回
路１７で信号変換された後、第２のモニタ１８並びに第
２の認識装置１９に入力され、第２の認識装置１つで基
板５の情報、例えばボンディング位置Ｉに対する位置ず
れ量等が検出される。なおペレット３や基板５の情報の
検出方法についてここでは詳説しないが、公知の方法、
例えばパターンマツチング法等により可能である。この
ようにして１ｑられたペレット３並びに基板５の情報は
制御装置２ｏに入力される。制御装置２０はペレットボ
ンディング装置の制御を行うものである。
さてこのような構成において、まずペレット供給位ｉｔ
にはＸＹテーブル１の移動により順次ペレット３が供給
される。第１の躍像器１２はペレット供給位置■に達し
たペレット３の像を取り込み、その信号は第１の踊ＶＡ
器制御回路１４を介して一第１のモニタ１５、第１の認
識装置１６に入力され、第１の認識装置１６でペレット
３が良品が不良品かが判定されるとともに、良品の場合
にはさらにペレット供給位置Ｉに対するずれ闇を検出す
る。この検出値は制御０装置２ｏに送られ、不良品の場
合は次のペレットをペレット供給位置１に位置させるよ
うに、また良品ではあるがペレット供給位置■に対して
ずれがある場合にはそのずれをゼロにするように、それ
ぞれＸ＠駆動モータ１×、Ｙ軸駆動モータ１ｙに信号を
発する。なおブラケット２に対しカセットリング４を回
転調整可能にしておけばペレット供給位ＩＷＩに達した
ペレット３の回転方向のずれをも江正することが可能で
ある。この法止が終了後コレット８がペレット３を吸着
保持する。
にはＸＹテーブル１の移動により順次ペレット３が供給
される。第１の躍像器１２はペレット供給位置■に達し
たペレット３の像を取り込み、その信号は第１の踊ＶＡ
器制御回路１４を介して一第１のモニタ１５、第１の認
識装置１６に入力され、第１の認識装置１６でペレット
３が良品が不良品かが判定されるとともに、良品の場合
にはさらにペレット供給位置Ｉに対するずれ闇を検出す
る。この検出値は制御０装置２ｏに送られ、不良品の場
合は次のペレットをペレット供給位置１に位置させるよ
うに、また良品ではあるがペレット供給位置■に対して
ずれがある場合にはそのずれをゼロにするように、それ
ぞれＸ＠駆動モータ１×、Ｙ軸駆動モータ１ｙに信号を
発する。なおブラケット２に対しカセットリング４を回
転調整可能にしておけばペレット供給位ＩＷＩに達した
ペレット３の回転方向のずれをも江正することが可能で
ある。この法止が終了後コレット８がペレット３を吸着
保持する。
一方ボンディング位置■には基板５が搬送される。第２
のＩＩＯ像器１３はボンディング位ｆｉＮｌ［に達した
基板５の像を取り込み、その信号は第２の躍像器制御回
路１７を介して第２のモニタ１８、第２の認識装置１つ
に入力され、７Ｊ２の認識装置１９で基板５のボンディ
ングｆｒｌｎ ！［からのずれ半が検出され制怜０装置
２０に入力される。そこでペレット３を吸着保持したコ
レット８は、アーム支持体９内に設けた図示を省略した
駆動装置によりボンディング位置■上まで移動させられ
るうここで第２の認識装置１９で検出されたずれ■分だ
けＸＹテーブル１１のＸ軸駆動モータ１１Ｘ、Ｙ軸駆動
モータ１１ｙがさらに駆動され、コレット８の位置を條
正し、この修正後コレット８は下降し、ペレット３を基
板５のボンディング位置にボンディングする。
のＩＩＯ像器１３はボンディング位ｆｉＮｌ［に達した
基板５の像を取り込み、その信号は第２の躍像器制御回
路１７を介して第２のモニタ１８、第２の認識装置１つ
に入力され、７Ｊ２の認識装置１９で基板５のボンディ
ングｆｒｌｎ ！［からのずれ半が検出され制怜０装置
２０に入力される。そこでペレット３を吸着保持したコ
レット８は、アーム支持体９内に設けた図示を省略した
駆動装置によりボンディング位置■上まで移動させられ
るうここで第２の認識装置１９で検出されたずれ■分だ
けＸＹテーブル１１のＸ軸駆動モータ１１Ｘ、Ｙ軸駆動
モータ１１ｙがさらに駆動され、コレット８の位置を條
正し、この修正後コレット８は下降し、ペレット３を基
板５のボンディング位置にボンディングする。
［背景技術の問題点］
上記したペレットボンディング装置においては、ペレッ
ト供給位置■にＩｔ給されるペレット、並びにボンディ
ング位ｆｆ１Ｉに搬送、位置決めされる基板の情報を得
てボンディングする乙のであるため、きわめて正確なボ
ンディング作業を行なうことができる。しかしながらペ
レット供給位置Ｉ並びにボンディング位ｆＪＩ［に設け
られたＩｆｆＮ！［１２，１３には各々に認識装置１６
．１９が設けられているために、ペレットボンディング
装置にこの２つの認識装置を設置するスペースを大きく
とｌうなければならず、装置全体が大型化してしまった
。また認識装置を２つ必要とする点がコスト的に高いも
のとなってしまった。
ト供給位置■にＩｔ給されるペレット、並びにボンディ
ング位ｆｆ１Ｉに搬送、位置決めされる基板の情報を得
てボンディングする乙のであるため、きわめて正確なボ
ンディング作業を行なうことができる。しかしながらペ
レット供給位置Ｉ並びにボンディング位ｆＪＩ［に設け
られたＩｆｆＮ！［１２，１３には各々に認識装置１６
．１９が設けられているために、ペレットボンディング
装置にこの２つの認識装置を設置するスペースを大きく
とｌうなければならず、装置全体が大型化してしまった
。また認識装置を２つ必要とする点がコスト的に高いも
のとなってしまった。
［発明の目的１
本発明は上記した従来の欠点を取り除くために成された
もので、従来と同様きわめて正確なベレ１ ットボ
ンディング作業が行なえるとともに、比較的安価で、し
かも小形化できたペレットボンディング装置における認
識装置を提供することを目的とする。
もので、従来と同様きわめて正確なベレ１ ットボ
ンディング作業が行なえるとともに、比較的安価で、し
かも小形化できたペレットボンディング装置における認
識装置を提供することを目的とする。
［発明の実施例］
以下本発明の一実施例について図面を参照しながら説明
する。第１図は本発明が適用されてなるペレットボンデ
ィング装置で、一部ブロック図で示してあり、また第２
図と同一部品には同一番号を付し、その説明は省略する
。第２図と相違するところは認識装置が１つしか設けら
れていないことである。３０がその認識装置である。認
識）ム胃３０には第１の題像器１２からの信号が第１の
擾像器υＪｕ１回路１４を介して入力されるとともに第
２の撮像器１３からの信号が第２の庵像器制御回路１７
を介して入力される。認識装置ｉ？７３０内には切替手
段３１を有していて、この切替手段３１により第１並び
に第２の囮像器ルリ御回路１４．１７から入力される信
号のどちらかを選択的に認識上ｆｆ１３０内に取り込む
。この切替手段３１を作動させる切替信号は制御装置２
０内にプログラムされていて、このｉ＋ＩＩ ｔｉｎ装
置２ｏから発信される。切び手段３１により第１の擾像
器制御回路１４からの信号が認識装置３ｏに入力された
場合には、第２図で説明した第１の認識装置１６と同様
にペレット供給位置Ｉに供給され１ｃペレツト３の情報
を検出してその検出値を制御１：ＰｉＩ２２０に入力す
る。
する。第１図は本発明が適用されてなるペレットボンデ
ィング装置で、一部ブロック図で示してあり、また第２
図と同一部品には同一番号を付し、その説明は省略する
。第２図と相違するところは認識装置が１つしか設けら
れていないことである。３０がその認識装置である。認
識）ム胃３０には第１の題像器１２からの信号が第１の
擾像器υＪｕ１回路１４を介して入力されるとともに第
２の撮像器１３からの信号が第２の庵像器制御回路１７
を介して入力される。認識装置ｉ？７３０内には切替手
段３１を有していて、この切替手段３１により第１並び
に第２の囮像器ルリ御回路１４．１７から入力される信
号のどちらかを選択的に認識上ｆｆ１３０内に取り込む
。この切替手段３１を作動させる切替信号は制御装置２
０内にプログラムされていて、このｉ＋ＩＩ ｔｉｎ装
置２ｏから発信される。切び手段３１により第１の擾像
器制御回路１４からの信号が認識装置３ｏに入力された
場合には、第２図で説明した第１の認識装置１６と同様
にペレット供給位置Ｉに供給され１ｃペレツト３の情報
を検出してその検出値を制御１：ＰｉＩ２２０に入力す
る。
−力制御装置２０からの切替信号による切替手段３１の
作動により第２の擾像器制御回路１７からの信号が認識
装置３０に入力された場合には、第２図で説明した第２
の認識装置１つと同様に、ボンディング位置■に搬送さ
れた基板５の情報を検出して、その検出値を制御装置？
！２０に人力する。
作動により第２の擾像器制御回路１７からの信号が認識
装置３０に入力された場合には、第２図で説明した第２
の認識装置１つと同様に、ボンディング位置■に搬送さ
れた基板５の情報を検出して、その検出値を制御装置？
！２０に人力する。
つき゛に上記実施例の作用について説明する。第１の撮
像器１２でペレット供給位置Ｉにｊヱしたペレットの像
を取り込み、また第２の撮像器１３でボンディング位置
「に搬送された基板５の像を取り込み、それぞれ第１の
撤（９！器副制御路１４あるいは第２の曜像器１１（制
御回路１７を介して信号変換される点は従来と同一であ
る。ここで第１並びに第２の撮像器制御回路からの出力
信号は両名とも認識上ｖｔ３０に入力され１する。認識
装置３０内の切替手段３１は制御装置２０からの切替信
号に基づき、まず第１の撮像器制御回路１４がらの１３
号を取り込み、ペレット供給位置（に達したペレット３
の情報を検出するとともに、υｌ１ａｌｌ装置２０に出
力し、この制御装置２０では認識装置３０の出力に基づ
きペレット供給位置Ｉに良品がずれなく位置するように
×軸駆動モータ１Ｘ、Ｙ軸駆動モータ１ｙを駆動制御ｌ
ｌＩする。その後コレット８にてペレット３を吸竹保持
する。ペレット供給位置Ｉにおけるペレット３の情報の
検出が終了すると、制御装置２０から切替信号により切
替手段３１が切替わり、認識装″ｒＸ３０内に第２の距
（９１芯１．ｌｊ罪回路１７からの信号を取り込、７メ
、ボンディング位置■に搬送された基板５の情報、例え
ばずれ母を検出するとともに、制ｔＥ ＨＨ２０に入力
される。その後ペレット３を吸着保持したコレット８は
ボンディング位置■上まで移動させられる。そのＩＩＩ
板５のずれ聞分だけＸＹデープル１１のＸ＠駆動モータ
１１Ｘ、Ｙ軸駆動モータ１１ｙがさらに駆動され、コレ
ット８の位置を修正し、この修正後コレット８は下降し
、ペレット３を基板５のボンディング位置にボンディン
グη−る。
像器１２でペレット供給位置Ｉにｊヱしたペレットの像
を取り込み、また第２の撮像器１３でボンディング位置
「に搬送された基板５の像を取り込み、それぞれ第１の
撤（９！器副制御路１４あるいは第２の曜像器１１（制
御回路１７を介して信号変換される点は従来と同一であ
る。ここで第１並びに第２の撮像器制御回路からの出力
信号は両名とも認識上ｖｔ３０に入力され１する。認識
装置３０内の切替手段３１は制御装置２０からの切替信
号に基づき、まず第１の撮像器制御回路１４がらの１３
号を取り込み、ペレット供給位置（に達したペレット３
の情報を検出するとともに、υｌ１ａｌｌ装置２０に出
力し、この制御装置２０では認識装置３０の出力に基づ
きペレット供給位置Ｉに良品がずれなく位置するように
×軸駆動モータ１Ｘ、Ｙ軸駆動モータ１ｙを駆動制御ｌ
ｌＩする。その後コレット８にてペレット３を吸竹保持
する。ペレット供給位置Ｉにおけるペレット３の情報の
検出が終了すると、制御装置２０から切替信号により切
替手段３１が切替わり、認識装″ｒＸ３０内に第２の距
（９１芯１．ｌｊ罪回路１７からの信号を取り込、７メ
、ボンディング位置■に搬送された基板５の情報、例え
ばずれ母を検出するとともに、制ｔＥ ＨＨ２０に入力
される。その後ペレット３を吸着保持したコレット８は
ボンディング位置■上まで移動させられる。そのＩＩＩ
板５のずれ聞分だけＸＹデープル１１のＸ＠駆動モータ
１１Ｘ、Ｙ軸駆動モータ１１ｙがさらに駆動され、コレ
ット８の位置を修正し、この修正後コレット８は下降し
、ペレット３を基板５のボンディング位置にボンディン
グη−る。
［、ｎ明の効果］
本発明は以上一実施例でも説明したように、きわめて正
確にペレットボンディング作業が行なえるとともに、そ
のための装置が従来と比べ小形化でき、しかもコスト的
にも大幅に少なくすることが可能である。
確にペレットボンディング作業が行なえるとともに、そ
のための装置が従来と比べ小形化でき、しかもコスト的
にも大幅に少なくすることが可能である。
第１図は本発明が適用されてなるペレットボンディング
装置で一部ブロック図で示したもの、第２図は従来のペ
レットボンディング装置の一例で一部ブロック図で示し
たものである。 １．１ｌ−−−ＸＹテーブル、１ｘ１１１×・・・Ｘ軸
駆動モータ、１ｙ、１１ｙ・・・Ｙ＠駆予カモータ、３
・・・ペレット、５・・・基板、８・・・コレット、１
２・・・第１のｍ像器、１３・・・第２の撮像器、１４
・・・第１のｌｆｌ像器あリド 御回路、１６・
・・第１の認識装置、１７・・・第２のＩＩｌ像器制罪
回路、１つ・・・第２の認識装置、２０・・・制御装函
、３ｏ・・・認識装置、３１・・・切替手段。
装置で一部ブロック図で示したもの、第２図は従来のペ
レットボンディング装置の一例で一部ブロック図で示し
たものである。 １．１ｌ−−−ＸＹテーブル、１ｘ１１１×・・・Ｘ軸
駆動モータ、１ｙ、１１ｙ・・・Ｙ＠駆予カモータ、３
・・・ペレット、５・・・基板、８・・・コレット、１
２・・・第１のｍ像器、１３・・・第２の撮像器、１４
・・・第１のｌｆｌ像器あリド 御回路、１６・
・・第１の認識装置、１７・・・第２のＩＩｌ像器制罪
回路、１つ・・・第２の認識装置、２０・・・制御装函
、３ｏ・・・認識装置、３１・・・切替手段。
Claims (1)
- ペレット供給位置から順次ペレットを基板の所定位置に
搬送し、ボンディングするペレットボンディング装置で
あつて、少なくとも、供給される前記ペレットの像を取
り込む第１の撮像器と、前記基板の像を取り込む第２の
撮像器と、前記第１の撮像器からの信号より前記ペレッ
トの情報を認識する第１の認識装置と、第２の撮像器か
らの信号より前記基板の情報を認識する第２の認識装置
とを具備するペレットボンディング装置における認識装
置において、前記第１の認識装置及び第２の認識装置を
単一の認識装置を用いて兼用とするとともに、この単一
の認識装置と前記第１の撮像器及び第２の撮像器との間
に切替手段を設けたことを特徴とするペレットボンディ
ング装置における認識装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59190578A JPS6169139A (ja) | 1984-09-13 | 1984-09-13 | ペレツトボンデイング装置における認識装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59190578A JPS6169139A (ja) | 1984-09-13 | 1984-09-13 | ペレツトボンデイング装置における認識装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6169139A true JPS6169139A (ja) | 1986-04-09 |
| JPH0584055B2 JPH0584055B2 (ja) | 1993-11-30 |
Family
ID=16260388
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59190578A Granted JPS6169139A (ja) | 1984-09-13 | 1984-09-13 | ペレツトボンデイング装置における認識装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6169139A (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57147245A (en) * | 1981-03-05 | 1982-09-11 | Shinkawa Ltd | Positioning method and device for chip bonding |
| JPS5919338A (ja) * | 1982-07-23 | 1984-01-31 | Hitachi Ltd | 微小物品検査装置 |
| JPS5968936A (ja) * | 1982-10-14 | 1984-04-19 | Toshiba Seiki Kk | ペレツトボンデイング方法 |
| JPS5972145A (ja) * | 1982-10-19 | 1984-04-24 | Shinkawa Ltd | フリップチップボンディング装置及び方法 |
-
1984
- 1984-09-13 JP JP59190578A patent/JPS6169139A/ja active Granted
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57147245A (en) * | 1981-03-05 | 1982-09-11 | Shinkawa Ltd | Positioning method and device for chip bonding |
| JPS5919338A (ja) * | 1982-07-23 | 1984-01-31 | Hitachi Ltd | 微小物品検査装置 |
| JPS5968936A (ja) * | 1982-10-14 | 1984-04-19 | Toshiba Seiki Kk | ペレツトボンデイング方法 |
| JPS5972145A (ja) * | 1982-10-19 | 1984-04-24 | Shinkawa Ltd | フリップチップボンディング装置及び方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0584055B2 (ja) | 1993-11-30 |
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