JPS6170356U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6170356U JPS6170356U JP15467284U JP15467284U JPS6170356U JP S6170356 U JPS6170356 U JP S6170356U JP 15467284 U JP15467284 U JP 15467284U JP 15467284 U JP15467284 U JP 15467284U JP S6170356 U JPS6170356 U JP S6170356U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detector
- power source
- focusing electrode
- electrode
- focusing
- Prior art date
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- Granted
Links
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims 2
- 238000010408 sweeping Methods 0.000 claims 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
第１図本考案の一実施例を示す構成図、第２図
は検出器の入射エネルギと検出効率の関係を表す
グラフ、第３図は従来装置の構成図である。 １：エネルギアナライザ、２：光電子、３：分
析用電源、４：掃引制御電源、５：出射スリツト
、６：電子線検出器、７：集束電極、８：検出用
加速電源、９：高圧電源。
は検出器の入射エネルギと検出効率の関係を表す
グラフ、第３図は従来装置の構成図である。 １：エネルギアナライザ、２：光電子、３：分
析用電源、４：掃引制御電源、５：出射スリツト
、６：電子線検出器、７：集束電極、８：検出用
加速電源、９：高圧電源。
Claims (1)
- 対向して配置された一対の電極と、両電極間に
電界を生ぜしめるための電源と、前記電界中に導
かれ出射スリツトを通過した電子を検出するため
の検出器と、該スリツトを通過した電子を該検出
器に集束させるための集束電極と、該集束電極及
び前記電極にエネルギ掃引電圧を与えるための掃
引電源とを備えた装置において、前記集束電極と
検出器の間に一定の電圧を印加するための電源を
設けたことを特徴とするエネルギアナライザ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984154672U JPH0342622Y2 (ja) | 1984-10-13 | 1984-10-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984154672U JPH0342622Y2 (ja) | 1984-10-13 | 1984-10-13 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6170356U true JPS6170356U (ja) | 1986-05-14 |
| JPH0342622Y2 JPH0342622Y2 (ja) | 1991-09-06 |
Family
ID=30712664
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1984154672U Expired JPH0342622Y2 (ja) | 1984-10-13 | 1984-10-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0342622Y2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5823157A (ja) * | 1981-07-31 | 1983-02-10 | Shimadzu Corp | 質量分析装置 |
| JPS58125353U (ja) * | 1982-02-19 | 1983-08-25 | 日本電子株式会社 | 負イオン検出装置 |
-
1984
- 1984-10-13 JP JP1984154672U patent/JPH0342622Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5823157A (ja) * | 1981-07-31 | 1983-02-10 | Shimadzu Corp | 質量分析装置 |
| JPS58125353U (ja) * | 1982-02-19 | 1983-08-25 | 日本電子株式会社 | 負イオン検出装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0342622Y2 (ja) | 1991-09-06 |
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