JPS617568U - 真空処理装置に於ける基板移動装置 - Google Patents
真空処理装置に於ける基板移動装置Info
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- JPS617568U JPS617568U JP9157684U JP9157684U JPS617568U JP S617568 U JPS617568 U JP S617568U JP 9157684 U JP9157684 U JP 9157684U JP 9157684 U JP9157684 U JP 9157684U JP S617568 U JPS617568 U JP S617568U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- vacuum processing
- opening
- movable plate
- processing equipment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 5
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 5
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 5
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の実施例の截断側面図、第２図はその平
面図、第３図は第２図の正面図、第４図は第２図のＩＶ
−ＴＶ線部分の截断面図である。 １・・・真空室、２・・・蒸発源、３・・・基板、４・
・・ディスク、５！・・室内、６・・・開口、７・・・
移動板、８・・・案内杆。
面図、第３図は第２図の正面図、第４図は第２図のＩＶ
−ＴＶ線部分の截断面図である。 １・・・真空室、２・・・蒸発源、３・・・基板、４・
・・ディスク、５！・・室内、６・・・開口、７・・・
移動板、８・・・案内杆。
Claims (1)
- 真空室１内に、複数個の蒸発源２を設けると共にこれに
対向して基板３を取付けたディスク４を回転自在に設け
、該基板３上に各蒸発源２からの蒸発物質が混合した合
金その他の薄膜を形成するようにしたものに於いて、該
真空室１にその室内５と外部を連通ずる開口６を形成し
てその外側に移動自在で且つ該開口６を密閉自在の移動
板７を設け、該移動板７に、該室内５へ延びる案内杆８
と該移動板７を挿通し且つ該案内杆８と該移動板７を挿
通し且つ該案内杆８により案内された進出自在のディス
ク４の回転軸９を設けて成る真空処理装置に於ける基板
移動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9157684U JPS617568U (ja) | 1984-06-21 | 1984-06-21 | 真空処理装置に於ける基板移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9157684U JPS617568U (ja) | 1984-06-21 | 1984-06-21 | 真空処理装置に於ける基板移動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS617568U true JPS617568U (ja) | 1986-01-17 |
| JPH037389Y2 JPH037389Y2 (ja) | 1991-02-25 |
Family
ID=30647587
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9157684U Granted JPS617568U (ja) | 1984-06-21 | 1984-06-21 | 真空処理装置に於ける基板移動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS617568U (ja) |
-
1984
- 1984-06-21 JP JP9157684U patent/JPS617568U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH037389Y2 (ja) | 1991-02-25 |
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