JPS6180618A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS6180618A JPS6180618A JP20174184A JP20174184A JPS6180618A JP S6180618 A JPS6180618 A JP S6180618A JP 20174184 A JP20174184 A JP 20174184A JP 20174184 A JP20174184 A JP 20174184A JP S6180618 A JPS6180618 A JP S6180618A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- thin film
- recording medium
- medium
- magnetic recording
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- Pending
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、磁気記録媒体に関し、更に詳しくいえば酸化
反応スパッタリングおよび熱処理で磁性媒体を形成する
磁気ディスクに関し、特に磁気ヘッドが磁気ディスクに
衝突することによって発生する摺動の信頼性を向上させ
るのに好適な磁気記録媒体に関する。
反応スパッタリングおよび熱処理で磁性媒体を形成する
磁気ディスクに関し、特に磁気ヘッドが磁気ディスクに
衝突することによって発生する摺動の信頼性を向上させ
るのに好適な磁気記録媒体に関する。
従来、Ｆｅ合金ターゲットまたはＦｅ酸化物ターゲット
を用いてスパッタリングおよび熱処理によって得られる
薄膜磁性媒体γ−Ｆｅ２０３は、特開昭５３−３０８０
０号公報に記載されているような方法によれば、スパッ
タリングおよび熱処理条件、製作工程等を考慮し、良好
な磁気特性を有するものが得られることになっている。
を用いてスパッタリングおよび熱処理によって得られる
薄膜磁性媒体γ−Ｆｅ２０３は、特開昭５３−３０８０
０号公報に記載されているような方法によれば、スパッ
タリングおよび熱処理条件、製作工程等を考慮し、良好
な磁気特性を有するものが得られることになっている。
しかし、薄膜磁性媒体γ−Ｆｅ２０３がどのような膜で
あれば、磁気ヘッドが磁気ディスクに衝突することによ
って発生ずる摺動の信頼性を向上できるかという点につ
いては配慮されていなかった。
あれば、磁気ヘッドが磁気ディスクに衝突することによ
って発生ずる摺動の信頼性を向上できるかという点につ
いては配慮されていなかった。
本発明の目的は、磁気ヘッドと磁気ディスクの衝突によ
って発生する摺動の信頼性を向上させる磁気記録媒体を
提供することにある。
って発生する摺動の信頼性を向上させる磁気記録媒体を
提供することにある。
上記目的を達成するために１本発明では、非磁性のディ
スク基板と該ディスク基板上にＦｅ合金ターゲット、ま
たはＦｅ酸化物ターゲットを用いて酸化反応スパッタリ
ングおよび熱処理により形成される薄膜磁性媒体γ−Ｆ
ｅ２０３より成る磁気ディスクにおいて、該薄膜磁性媒
体γ−Ｆｅ２ｏ３の保磁力をＨＣ（Ｏｅ）、上記ターゲ
ットに含まれるＧｏの含率（ｙｔ％）を〔ＣＯ３とする
とき、下記の式に示す範囲にある磁気特性を有すること
に特徴がある。
スク基板と該ディスク基板上にＦｅ合金ターゲット、ま
たはＦｅ酸化物ターゲットを用いて酸化反応スパッタリ
ングおよび熱処理により形成される薄膜磁性媒体γ−Ｆ
ｅ２０３より成る磁気ディスクにおいて、該薄膜磁性媒
体γ−Ｆｅ２ｏ３の保磁力をＨＣ（Ｏｅ）、上記ターゲ
ットに含まれるＧｏの含率（ｙｔ％）を〔ＣＯ３とする
とき、下記の式に示す範囲にある磁気特性を有すること
に特徴がある。
ＨＣ≧２００Ｘ（Ｃｏ〕＋２００
〔本発明の実施例〕
以下１本発明の実施例を図面により説明する。
一般的に磁気ディスクの磁性媒体の強度評価試験として
Ｃｏｎｔ、ａｃｔ Ｓ ｔａｒｔ、 Ｓ ｔｏｐ試
験〈以下。
Ｃｏｎｔ、ａｃｔ Ｓ ｔａｒｔ、 Ｓ ｔｏｐ試
験〈以下。
Ｃ，Ｓ、Ｓ、試験と略す〉がある、このＣ，Ｓ、Ｓ、試
験での薄膜磁性媒体γ−Ｆｅ２０３の摺動過程は、表面
層から徐々に削り取られていることがわかった。この現
象の原因は、薄膜磁性媒体γ−Ｆｅ２０３が数百λの微
粒子で構成されているためと考えられる。したがって、
このような数百への微粒子の離脱の度合が、Ｎ′ｃ、磁
性媒体γ−Ｆｅ２０３の保磁力ＨＣとの間に相関がある
といえる。
験での薄膜磁性媒体γ−Ｆｅ２０３の摺動過程は、表面
層から徐々に削り取られていることがわかった。この現
象の原因は、薄膜磁性媒体γ−Ｆｅ２０３が数百λの微
粒子で構成されているためと考えられる。したがって、
このような数百への微粒子の離脱の度合が、Ｎ′ｃ、磁
性媒体γ−Ｆｅ２０３の保磁力ＨＣとの間に相関がある
といえる。
第１図は、本発明の一実施例を説明するためのスパッタ
装置構成図である。
装置構成図である。
第１図に、６いて、■は真空ポンプ、２はチャンバー、
３はガス導入口、４はＦ ｅ −Ｃｏ合金ターゲット、
５はＲＦ電源、６はディスク基板である。
３はガス導入口、４はＦ ｅ −Ｃｏ合金ターゲット、
５はＲＦ電源、６はディスク基板である。
真空ポンプ１によりチャンバー２の内部が真空にされた
状態でガス導入口３からアルゴンと酸素の混合ガスを導
入する。次に、Ｆｅ−Ｃｏ合金ターゲット４にＲＦ？！
！１ｌｌＸ５より電圧を印加して、ディスク基１１Ｊ６
の表面にＦｅ３Ｏ４膜をＱ、１６μｍの膜厚で形成する
。その後、大気空気中で３００°Ｃの状態で３時間の熱
酸化処理を行い、薄膜磁性媒体γ−Ｆｃ２０３膜を形成
する。このような形成方法において、チャンバー２内の
真空度、アルゴンとｉ！２素の混合比、印加電圧、Ｆｅ
−Ｃｏ合金ターゲット４のＣｏ含率等を制御して、保磁
力Ｈｅの異なる薄膜磁性媒体γ−Ｆｅｚ０３が形成でき
る。
状態でガス導入口３からアルゴンと酸素の混合ガスを導
入する。次に、Ｆｅ−Ｃｏ合金ターゲット４にＲＦ？！
！１ｌｌＸ５より電圧を印加して、ディスク基１１Ｊ６
の表面にＦｅ３Ｏ４膜をＱ、１６μｍの膜厚で形成する
。その後、大気空気中で３００°Ｃの状態で３時間の熱
酸化処理を行い、薄膜磁性媒体γ−Ｆｃ２０３膜を形成
する。このような形成方法において、チャンバー２内の
真空度、アルゴンとｉ！２素の混合比、印加電圧、Ｆｅ
−Ｃｏ合金ターゲット４のＣｏ含率等を制御して、保磁
力Ｈｅの異なる薄膜磁性媒体γ−Ｆｅｚ０３が形成でき
る。
以上のようにして形成された膜をＦｅ−Ｃｏ合金ターゲ
ット４のＣｏ含率と保磁力ＨＣの関係についてまとめた
グラフを第２図に示す。
ット４のＣｏ含率と保磁力ＨＣの関係についてまとめた
グラフを第２図に示す。
第２図において、縦軸は保磁力Ｈｅ（Ｏｅ）、横軸はＣ
ｏ含率（ｗｔ％）を示しており、Ｑ内数字はサンプルＮ
ｎを示す。
ｏ含率（ｗｔ％）を示しており、Ｑ内数字はサンプルＮ
ｎを示す。
第３図は、第２図の各サンプルＮｏの薄膜磁性媒体γ−
Ｆｅ２０３について、ヘッド浮上スペーシング０．３μ
ｍでＣ，Ｓ、Ｓ、試験を行うサイクルを示している。こ
れは、各サンプルＮαの薄膜磁性媒体γ−Ｆｅ２０３か
ら成る磁気記録媒体を挿入した磁気ディスク装置におい
て、４０秒サイクルで５ＴＡＲＴ＜始動〉、定速回転く
ヘッド浮上状態〉、Ｓ ＴＯＰ＜停止〉を繰返すという
ことである。
Ｆｅ２０３について、ヘッド浮上スペーシング０．３μ
ｍでＣ，Ｓ、Ｓ、試験を行うサイクルを示している。こ
れは、各サンプルＮαの薄膜磁性媒体γ−Ｆｅ２０３か
ら成る磁気記録媒体を挿入した磁気ディスク装置におい
て、４０秒サイクルで５ＴＡＲＴ＜始動〉、定速回転く
ヘッド浮上状態〉、Ｓ ＴＯＰ＜停止〉を繰返すという
ことである。
第３図に示すＣ，Ｓ、Ｓ、サイクルの条件のもとで測定
した結果を第４図に示す。第４図から明らかなように、
薄膜磁性媒体γ−Ｆｅ２０３の保磁力ＨＣが、ＨＣ≧２
００Ｘ（Ｃｏ）＋２００ ＜ただし、（Ｃｏ）：Ｃｏの
含率ｗｔ％〉より大きいサンプル（Ｎｎｔ−４＞のＣ，
Ｓ、Ｓ、結果は約１００００回、前記条件より小さいサ
ンプル（Ｎｏ、５〜８〉は約２０００回であった。
した結果を第４図に示す。第４図から明らかなように、
薄膜磁性媒体γ−Ｆｅ２０３の保磁力ＨＣが、ＨＣ≧２
００Ｘ（Ｃｏ）＋２００ ＜ただし、（Ｃｏ）：Ｃｏの
含率ｗｔ％〉より大きいサンプル（Ｎｎｔ−４＞のＣ，
Ｓ、Ｓ、結果は約１００００回、前記条件より小さいサ
ンプル（Ｎｏ、５〜８〉は約２０００回であった。
本実施例によれば薄膜磁性媒体γ−Ｆｅ２０３のＣ，Ｓ
、Ｓ、強度が約５倍向上する。
、Ｓ、強度が約５倍向上する。
以上説明したように、本発明によれば、磁気ヘッドと磁
気ディスクの衝突によって発生する摺動の信頼性を向上
させることができる。
気ディスクの衝突によって発生する摺動の信頼性を向上
させることができる。
第１図は本発明の一実施例を説明するためのスパッタ装
置構成図、第２図は薄膜磁性媒体γ−Ｆｅ２０３におけ
るＣｏ含率と保磁力ＨＣの関係を示すグラフ、第３図は
Ｃ，Ｓ、Ｓ、試験のサイクルタイムを示す図、第４図は
Ｃ，Ｓ、Ｓ、試験測定結果を示す図である。 １：真空ポンプ、２：チャンバー、３：ガス導入０．４
：Ｆｅ−Ｃｏ合金ターゲット、５：ＲＦ電源、６：ディ
スク基板。 第 １ しｊ 第 ２ ｍ Ｃｏ３率（ｗｔ％） 第、！１図 二 ＝ 時間（秒） 第４図
置構成図、第２図は薄膜磁性媒体γ−Ｆｅ２０３におけ
るＣｏ含率と保磁力ＨＣの関係を示すグラフ、第３図は
Ｃ，Ｓ、Ｓ、試験のサイクルタイムを示す図、第４図は
Ｃ，Ｓ、Ｓ、試験測定結果を示す図である。 １：真空ポンプ、２：チャンバー、３：ガス導入０．４
：Ｆｅ−Ｃｏ合金ターゲット、５：ＲＦ電源、６：ディ
スク基板。 第 １ しｊ 第 ２ ｍ Ｃｏ３率（ｗｔ％） 第、！１図 二 ＝ 時間（秒） 第４図
Claims (1)
- （１）非磁性のディスク基板と該ディスク基板上にＦｅ
合金ターゲット、またはＦｅ酸化物ターゲットを用いて
酸化反応スパッタリング、および熱処理により形成され
る薄膜磁性媒体γ−Ｆｅ＿２Ｏ＿３より成る磁気ディス
クにおいて、該薄膜磁性媒体γ−Ｆｅ＿２Ｏ＿３の保磁
力をＨ＿Ｃ（Ｏｅ）、上記ターゲットに含まれるＣ＿Ｏ
の含率（ｗｔ％）を〔Ｃ＿Ｏ〕とするとき、下記の式に
示す範囲にある磁気特性を有することを特徴とする磁気
記録媒体。 Ｈ＿Ｃ≧２００×〔Ｃ＿Ｏ〕＋２００
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20174184A JPS6180618A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20174184A JPS6180618A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6180618A true JPS6180618A (ja) | 1986-04-24 |
Family
ID=16446166
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20174184A Pending JPS6180618A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6180618A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5030332A (en) * | 1990-04-19 | 1991-07-09 | Massachusetts Institute Of Technology | Method for making magnetic oxide precipitates |
| US12022771B2 (en) | 2015-10-14 | 2024-07-02 | The Toro Company | Walk reel mower with pivotal shield |
-
1984
- 1984-09-28 JP JP20174184A patent/JPS6180618A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5030332A (en) * | 1990-04-19 | 1991-07-09 | Massachusetts Institute Of Technology | Method for making magnetic oxide precipitates |
| US12022771B2 (en) | 2015-10-14 | 2024-07-02 | The Toro Company | Walk reel mower with pivotal shield |
| US12514156B2 (en) | 2015-10-14 | 2026-01-06 | The Toro Company | Walk reel mower with side plate cutouts for drop out reel |
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