JPS6180907A - 弾性表面波装置の製造方法 - Google Patents
弾性表面波装置の製造方法Info
- Publication number
- JPS6180907A JPS6180907A JP59201556A JP20155684A JPS6180907A JP S6180907 A JPS6180907 A JP S6180907A JP 59201556 A JP59201556 A JP 59201556A JP 20155684 A JP20155684 A JP 20155684A JP S6180907 A JPS6180907 A JP S6180907A
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- JP
- Japan
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- surface acoustic
- acoustic wave
- wave device
- electrode
- piezoelectric substrate
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- Pending
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明に弾性表面波装置の製造方法に係り、特にその電
極の製造方法に関する。
極の製造方法に関する。
一般に、弾性表面波装置の製造方法は１次の如き方法に
よって行なっている。
よって行なっている。
ＬＪＴａＯ３，ＬＩＮｂＯ，、水晶等からなる圧電基板
上にアルミニウム（以下Ａ／と称す）の導電薄膜！抵抗
蒸着法で形成する。その後、このＡ７１Ｐ上にスピンナ
ー法を用いてホトレジスト！塗布する。このホトレジス
トｖホトマスクを介して所望の電極形状ｔＸ！光し現像
を行ないレジストパターンを形成する。その次に、この
圧電基板！酢酸、りん酸、硝酸からなるエツチング液に
浸漬し、レジス） ／（ターンに沿ってエツチングを行
ない、Ａｌ［極パターンを形成する。この後、レジスト
パターンをアセトンからなる剥離液！用いて剥離し、電
極パターンを形成し、弾性表面波装置を構成する。
上にアルミニウム（以下Ａ／と称す）の導電薄膜！抵抗
蒸着法で形成する。その後、このＡ７１Ｐ上にスピンナ
ー法を用いてホトレジスト！塗布する。このホトレジス
トｖホトマスクを介して所望の電極形状ｔＸ！光し現像
を行ないレジストパターンを形成する。その次に、この
圧電基板！酢酸、りん酸、硝酸からなるエツチング液に
浸漬し、レジス） ／（ターンに沿ってエツチングを行
ない、Ａｌ［極パターンを形成する。この後、レジスト
パターンをアセトンからなる剥離液！用いて剥離し、電
極パターンを形成し、弾性表面波装置を構成する。
ところで、電極の端子等をＡｊ膜から構成すると、電極
のボンディング部をボンディングワイヤーで接続する際
、電気的Ｃニオープンとなったり、ボンディング切れが
生じる危険がある。こｔ’ＬＹＬ−防止する技術が、特
開昭５６−１１２１１１号公報（二開示されである。こ
の公報Ｃ二よれば、電橋の少なくともボンディング部を
シリコン（以下８ｉと称す）を含む人ノ膜または高純度
のＡｊｌｌｌｉ！とＳムを含むＡｊ膜との重層（以下こ
れらを総称してＡｊ−８１と称す）から構成することを
特徴とする。
のボンディング部をボンディングワイヤーで接続する際
、電気的Ｃニオープンとなったり、ボンディング切れが
生じる危険がある。こｔ’ＬＹＬ−防止する技術が、特
開昭５６−１１２１１１号公報（二開示されである。こ
の公報Ｃ二よれば、電橋の少なくともボンディング部を
シリコン（以下８ｉと称す）を含む人ノ膜または高純度
のＡｊｌｌｌｉ！とＳムを含むＡｊ膜との重層（以下こ
れらを総称してＡｊ−８１と称す）から構成することを
特徴とする。
しかしながら、人ｔ−Ｓ を合金を用いて弾性表面波装
置の電機を構成した場合、電＆が存在しない場合即ちエ
ツチング液により人Ｊ−８１合金が除去されて圧電基板
表面が露出している部分の圧電基板表面に旧粒子が残り
、弾性表面波の励振を防害する等の問題が生じ１弾性表
面波装置の特性！劣化させる危険がある。これは、弾性
表面波装置をテレビ等１：実装した際に、非常に問題と
なる。
置の電機を構成した場合、電＆が存在しない場合即ちエ
ツチング液により人Ｊ−８１合金が除去されて圧電基板
表面が露出している部分の圧電基板表面に旧粒子が残り
、弾性表面波の励振を防害する等の問題が生じ１弾性表
面波装置の特性！劣化させる危険がある。これは、弾性
表面波装置をテレビ等１：実装した際に、非常に問題と
なる。
上述の問題点を鑑みて、本発明は人１−８１合金電極を
弾性表面波装置に用いた場合（−おける圧電基板表面上
１：残留す□る８１粒子を除去する弾性表面波装置の製
造方法を提供することを目的とする。
弾性表面波装置に用いた場合（−おける圧電基板表面上
１：残留す□る８１粒子を除去する弾性表面波装置の製
造方法を提供することを目的とする。
上述の目的を達成するために１本発明の弾性表面波装置
の製造方法は、圧電基板上に人７−８五合金！用い、エ
ツチングにより電極パターン全形成した後、加熱したア
ルカリ水溶液例えば現像液に浸すことにより、圧電基板
表面上１：残留する別粒子！除去することを特徴とする
。
の製造方法は、圧電基板上に人７−８五合金！用い、エ
ツチングにより電極パターン全形成した後、加熱したア
ルカリ水溶液例えば現像液に浸すことにより、圧電基板
表面上１：残留する別粒子！除去することを特徴とする
。
以下第１図（１）乃至第１図（ｇ）を参照して本発明の
弾性表面波装置の実施例！説明する。
弾性表面波装置の実施例！説明する。
第１［５９（ａ）ｌ二おいて、ＬｉＴａ０１ 、ＬｉＮ
ｂＯ３、水晶等からなる圧電基板（１）上に８１の含有
量を０．１ 乃至１１．７ｉｔ％のＡｊ−８１合金膜（
２）！膜厚０．５／Ｊｍ乃至１．５μｍ程度に抵抗蒸着
法で形成する。これｔ第１図（ｂｌ ｒ；示す。次いで
、第１図（Ｃ１図示の如く、ホトレジスト（３）をスピ
ンナー法により塗布する。この次に、第１図（ｄ１図示
の如く、ホトレジスト（３）上Ｃ：ホトマスク（４）を
載置し光（５）ｌ照射し露光を行なった後、現４Ｘを行
ない電極形状のレジストパターン（３０１） ’ｆ影形
成る。これを第１図（ｅｌｃ示す。その後、第１図（ｆ
）Ｃ；示す如く圧電基板（１）を酢酸、りん酸、硝酸を
含んだエツチング液（二浸漬し、レジストパターン（３
０１）Ｃ沿ってエツチングを行ナイ、電極パターン（６
）を形成する。この後、レジストパターン（３０１）
Ｙアクセント等の剥離液Ｃ；浸漬し、 １第１ｔＪ（
ｇｌの如（人１−８１ 合金からなる電極パターン（
６０１）’を形成し１弾性表面波装置σ■を得る。
ｂＯ３、水晶等からなる圧電基板（１）上に８１の含有
量を０．１ 乃至１１．７ｉｔ％のＡｊ−８１合金膜（
２）！膜厚０．５／Ｊｍ乃至１．５μｍ程度に抵抗蒸着
法で形成する。これｔ第１図（ｂｌ ｒ；示す。次いで
、第１図（Ｃ１図示の如く、ホトレジスト（３）をスピ
ンナー法により塗布する。この次に、第１図（ｄ１図示
の如く、ホトレジスト（３）上Ｃ：ホトマスク（４）を
載置し光（５）ｌ照射し露光を行なった後、現４Ｘを行
ない電極形状のレジストパターン（３０１） ’ｆ影形
成る。これを第１図（ｅｌｃ示す。その後、第１図（ｆ
）Ｃ；示す如く圧電基板（１）を酢酸、りん酸、硝酸を
含んだエツチング液（二浸漬し、レジストパターン（３
０１）Ｃ沿ってエツチングを行ナイ、電極パターン（６
）を形成する。この後、レジストパターン（３０１）
Ｙアクセント等の剥離液Ｃ；浸漬し、 １第１ｔＪ（
ｇｌの如（人１−８１ 合金からなる電極パターン（
６０１）’を形成し１弾性表面波装置σ■を得る。
その後、アルカリ水溶液例えばテトラメテルアンモニク
ムへイドロオキサイド、エタノールアミンとアルコール
との水溶液を即熱して４０℃乃至４５℃に保ちこの液に
４０分間第１因（ｇ）−二示した弾性表面波装置（１１
￥浸漬する。この液から引き上げた弾性表面波装置全純
水による１５分間乃至２０分間超音波洗浄行なう。その
後、再度純水洗浄７１０分間乃至１５分間行ない、本発
明の実施例の弾性表面波装置！得る。
ムへイドロオキサイド、エタノールアミンとアルコール
との水溶液を即熱して４０℃乃至４５℃に保ちこの液に
４０分間第１因（ｇ）−二示した弾性表面波装置（１１
￥浸漬する。この液から引き上げた弾性表面波装置全純
水による１５分間乃至２０分間超音波洗浄行なう。その
後、再度純水洗浄７１０分間乃至１５分間行ない、本発
明の実施例の弾性表面波装置！得る。
上述の製造方法を行なうことにより、圧電基板表面上Ｃ
二旧粒子が残留しなくなり、弾性表面波が圧電基板表面
上を励振することがより効果的に行なえる。したがって
、弾性表面波装置の特性が良好となる。
二旧粒子が残留しなくなり、弾性表面波が圧電基板表面
上を励振することがより効果的に行なえる。したがって
、弾性表面波装置の特性が良好となる。
なお１本発明の弾性表面波装置は１弾性表面波フィルタ
、弾性表面波共振子等からなることは言うまでもない。
、弾性表面波共振子等からなることは言うまでもない。
本発明は、シリコンを含有したアルミニウム合金で形成
した電極７ｆ！：有する弾性表面波装置を加熱したアル
カリ水溶液に浸漬することにより、圧電基板表面ｆ二残
留するシリコン粒子を完全Ｃ二除去することができる。
した電極７ｆ！：有する弾性表面波装置を加熱したアル
カリ水溶液に浸漬することにより、圧電基板表面ｆ二残
留するシリコン粒子を完全Ｃ二除去することができる。
したがって、弾性表面波が圧電基板表面！伝播すること
等が確実（二行なわれることとなり、弾性表面波装置の
特性が劣化することがなくなる。
等が確実（二行なわれることとなり、弾性表面波装置の
特性が劣化することがなくなる。
第１図（ｍｌ乃至第１図ｆｇ）は本発明の弾性表面波装
置の製造方法の実施例を示す工程簡略図である。 （１） °゛°圧電基板 １２）・・・Ａｊ−
８１合金膜（３）・・・レジスト 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 （ほか１名） 第１図 ＼ｌρ −ぢ−
置の製造方法の実施例を示す工程簡略図である。 （１） °゛°圧電基板 １２）・・・Ａｊ−
８１合金膜（３）・・・レジスト 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 （ほか１名） 第１図 ＼ｌρ −ぢ−
Claims (1)
- （１）圧電基板にアルミニウム−シリコン合金からなる
導電膜を形成する工程と、この導電膜から電極を形成す
る工程と、この電極が形成された前記圧電基板をアルカ
リ水溶液に浸しながら加熱処理する工程とからなること
を特徴とする弾性表面波装置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59201556A JPS6180907A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | 弾性表面波装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59201556A JPS6180907A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | 弾性表面波装置の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6180907A true JPS6180907A (ja) | 1986-04-24 |
Family
ID=16443001
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59201556A Pending JPS6180907A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | 弾性表面波装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6180907A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH061771U (ja) * | 1992-06-05 | 1994-01-14 | 日産ディーゼル工業株式会社 | 内燃機関の燃料噴射装置 |
| WO2012109180A1 (en) * | 2011-02-07 | 2012-08-16 | Parker-Hannifin Corporation | Combined power take-off and hydraulic pump assembly |
-
1984
- 1984-09-28 JP JP59201556A patent/JPS6180907A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH061771U (ja) * | 1992-06-05 | 1994-01-14 | 日産ディーゼル工業株式会社 | 内燃機関の燃料噴射装置 |
| WO2012109180A1 (en) * | 2011-02-07 | 2012-08-16 | Parker-Hannifin Corporation | Combined power take-off and hydraulic pump assembly |
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