JPS6180945A - 固体撮像装置 - Google Patents
固体撮像装置Info
- Publication number
- JPS6180945A JPS6180945A JP59203282A JP20328284A JPS6180945A JP S6180945 A JPS6180945 A JP S6180945A JP 59203282 A JP59203282 A JP 59203282A JP 20328284 A JP20328284 A JP 20328284A JP S6180945 A JPS6180945 A JP S6180945A
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- Japan
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- solid
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は固体撮像装置の中でも、特に多チツプ配列した
長尺の密着型イメージセンサに関する。
長尺の密着型イメージセンサに関する。
従来例の構成とその問題点
近年、−次元固体撮像素子を多チツプ配列して原稿と同
じサイズにした密着型イメージセンサの開発が活発に進
められており、一部実用化のレベルに達してきている。
じサイズにした密着型イメージセンサの開発が活発に進
められており、一部実用化のレベルに達してきている。
第１図は従来の多チツプ配列の一次元固体撮像装置のチ
ップＡとＢの継ぎ目のところを示した平面図である。（
１）はそれぞれ光電変換部で、 （ｌｅ）は特にチップ
端の画素を示す。
ップＡとＢの継ぎ目のところを示した平面図である。（
１）はそれぞれ光電変換部で、 （ｌｅ）は特にチップ
端の画素を示す。
第２図は第１図Ａ−Ａ面で切断した断面図を示したもの
であり、基板（１０）はｐ型シリコンを用いている。（
２）はＮ＋領領域（３）は光遮蔽用のアルミ薄膜、特に
（３ｅ）はチップ端のアルミ薄膜である。第２図に於て
チップに一様な光を照射したとき、チップの端の光電変
換部（１ｅ）は正規の光照射ａ以外にチップ上方からは
チップ端のアルミ薄膜でおおわれていないところからの
照射すあるいはチップ端の断面からの照射Ｃによる光電
変換により電荷が他の中央部の光電変換部〔以下１画素
と称す〕（１）よりも多く蓄積する０以上の様に正規の
照射以外の光電変換により発生した光擬似電荷によりチ
ップの端の画素（１ｅ）の信号出力は他の画素（１）よ
りも大きい０以上の様な素子をファクシミリまたは複写
機等に使用するとチップの端の画素（１ｅ）の影響によ
り白線がでてしまう、これを避けるため従来では電気回
路処理を必要とする。
であり、基板（１０）はｐ型シリコンを用いている。（
２）はＮ＋領領域（３）は光遮蔽用のアルミ薄膜、特に
（３ｅ）はチップ端のアルミ薄膜である。第２図に於て
チップに一様な光を照射したとき、チップの端の光電変
換部（１ｅ）は正規の光照射ａ以外にチップ上方からは
チップ端のアルミ薄膜でおおわれていないところからの
照射すあるいはチップ端の断面からの照射Ｃによる光電
変換により電荷が他の中央部の光電変換部〔以下１画素
と称す〕（１）よりも多く蓄積する０以上の様に正規の
照射以外の光電変換により発生した光擬似電荷によりチ
ップの端の画素（１ｅ）の信号出力は他の画素（１）よ
りも大きい０以上の様な素子をファクシミリまたは複写
機等に使用するとチップの端の画素（１ｅ）の影響によ
り白線がでてしまう、これを避けるため従来では電気回
路処理を必要とする。
第３図は感度をかせぐためにアルミ薄膜（３）の受光窓
を拡げた従来構造の平面図である。第３図に於て端の画
素（ｅ）のＮ、＋領域（２）は、スクライブ時の歪ある
いはストレスを避けるために受光窓よりも内側に境界が
あり、端の光電変換部（１ｅ）には、Ｎ＋領域以外に基
板と同電位の領域（４）がある。Ｎ“領域で光電変換し
たキャリヤ（電子）はほぼ全てその画素に取り込まれる
が、基板（１０）と同電位の領域（４）で光電変換した
電子の一部は流出してしまい、最終的には再結合してし
まう、結果として最終画素（１ｅ）からの信号は光擬似
信号の効果を考慮しても他の画素（１）よりも小さい。
を拡げた従来構造の平面図である。第３図に於て端の画
素（ｅ）のＮ、＋領域（２）は、スクライブ時の歪ある
いはストレスを避けるために受光窓よりも内側に境界が
あり、端の光電変換部（１ｅ）には、Ｎ＋領域以外に基
板と同電位の領域（４）がある。Ｎ“領域で光電変換し
たキャリヤ（電子）はほぼ全てその画素に取り込まれる
が、基板（１０）と同電位の領域（４）で光電変換した
電子の一部は流出してしまい、最終的には再結合してし
まう、結果として最終画素（１ｅ）からの信号は光擬似
信号の効果を考慮しても他の画素（１）よりも小さい。
以上の様な素子をファクシミリ又は複写機等に使用する
と。
と。
チップの端の画素（１ｅ）の影響により黒線がでてしま
う。これを避けるためには端の画素からの出力を増加さ
せる回路を必要とする。
う。これを避けるためには端の画素からの出力を増加さ
せる回路を必要とする。
発明の目的
本発明は電気回路処理を施こすことなしに、一様な光照
射に対して、端の画素を含めて一様な信号を取り出すこ
とができる固体撮像装置を提供することを目的とする。
射に対して、端の画素を含めて一様な信号を取り出すこ
とができる固体撮像装置を提供することを目的とする。
発明の構成
本発明の固体撮像装置は、複数個の光電変換部を一列に
配列して一次元固体撮像素子を構成すると共に、この固
体撮像素子におけるチップ端部の画素の受光窓の面積誤
差を主画素の±１０％〜±５０％にしたことを特徴とす
る。
配列して一次元固体撮像素子を構成すると共に、この固
体撮像素子におけるチップ端部の画素の受光窓の面積誤
差を主画素の±１０％〜±５０％にしたことを特徴とす
る。
実施例の説明
以下、本発明の一実施例を第４図と第５図に基づいて説
明する。第４図は本発明の一実施例における密着型−次
元固体撮像素子のチップＡとＢの継ぎ目近辺の概略図を
示したものである。（１）はそれぞれ主画素、 （ｌｅ
）はチップ端の画素である。
明する。第４図は本発明の一実施例における密着型−次
元固体撮像素子のチップＡとＢの継ぎ目近辺の概略図を
示したものである。（１）はそれぞれ主画素、 （ｌｅ
）はチップ端の画素である。
第４図に於てチップの端の画素（１ｅ）は主画素（１）
に比べて、受光窓の面積を２０％減じている０本実施例
によると一様な光を照射した時、チップの端の画素（１
ｅ）はチップの端の近辺の主画素（１）に比べて、出力
誤差は±５％以内におさまっていた。
に比べて、受光窓の面積を２０％減じている０本実施例
によると一様な光を照射した時、チップの端の画素（１
ｅ）はチップの端の近辺の主画素（１）に比べて、出力
誤差は±５％以内におさまっていた。
第５図は本発明の他の実施例における密着型−次元固体
撮像素子のチップの継ぎ目近辺の概略図を示したもので
ある。高感度を目指したもので、 ′ ！受光窓
を大きく取ったものである。第５図に於て、（１）は光
電変換部、（１ｅ）はチップ端の光電変換部、（２）は
Ｎ中領域、（３）は光しゃへい用のアルミ薄膜であり、
（４）は基板と同じ導電型の領域である６第５図の構造
のものはチップの端の画素（１ｅ）は他の画素に比べて
受光窓の面積が３０％増大しており。
撮像素子のチップの継ぎ目近辺の概略図を示したもので
ある。高感度を目指したもので、 ′ ！受光窓
を大きく取ったものである。第５図に於て、（１）は光
電変換部、（１ｅ）はチップ端の光電変換部、（２）は
Ｎ中領域、（３）は光しゃへい用のアルミ薄膜であり、
（４）は基板と同じ導電型の領域である６第５図の構造
のものはチップの端の画素（１ｅ）は他の画素に比べて
受光窓の面積が３０％増大しており。
また受光窓内はＮ＋領領域２）および基板と同じ導電型
の領域（４）を有している。Ｎ＋領領域光電変換したキ
ャリアはほとんど全てその画素に取り込まれるが、基板
と同じ導電型で、かつ同電位の領域（４）で光電変換し
たキャリア（電子）の一部は流出および再結合してしま
い、結果として最終画素（１ｅ）からの信号は他の画素
より小さくなる。そこで本実施例では開口を他の画素よ
り大きくしている。
の領域（４）を有している。Ｎ＋領領域光電変換したキ
ャリアはほとんど全てその画素に取り込まれるが、基板
と同じ導電型で、かつ同電位の領域（４）で光電変換し
たキャリア（電子）の一部は流出および再結合してしま
い、結果として最終画素（１ｅ）からの信号は他の画素
より小さくなる。そこで本実施例では開口を他の画素よ
り大きくしている。
本実施例によると、一様な光を照射した時チップの端の
画素（１ｅ）は他の画素に比べて、出力電圧誤差は±５
％以内におさまっていた。
画素（１ｅ）は他の画素に比べて、出力電圧誤差は±５
％以内におさまっていた。
発明の効果
以上のように本発明の固体撮像装置は、複数個の光電変
換部を配列して一次元固体撮像素子を構成すると共に、
この固体撮像素子におけるチップ端部の画素の受光窓の
面積誤差を主画素の±ｌＯ％〜±５０％に構成して、受
光窓の面積を多少増減させるだけで一様な光照射に対し
て一様な光信号を得ることができ、従来のような処理回
路も必要とせず、その実用的効果は大なるものがある。
換部を配列して一次元固体撮像素子を構成すると共に、
この固体撮像素子におけるチップ端部の画素の受光窓の
面積誤差を主画素の±ｌＯ％〜±５０％に構成して、受
光窓の面積を多少増減させるだけで一様な光照射に対し
て一様な光信号を得ることができ、従来のような処理回
路も必要とせず、その実用的効果は大なるものがある。
第１図と第３図は従来の多チツプ配列の一次元固体撮像
装置のチップの継ぎ目近辺を示した平面図、第２図は第
１図Ａ−Ａ面で切断した断面図、第４図と第５図はそれ
ぞれ本発明の固体撮像素子の第１、第２の実施例の平面
図である。 （１）・・・光電変換部（主画素）、（１ｅ）・・・チ
ップ端の光電変換部、（２）・・・Ｎ１領域、（３）・
・・アルミ薄膜、（３ｅ）・・・チップ端のアルミ薄膜
、（１０）・・・ｐ型基板。 ａ・・・正規の光照射、ｂ・・・チップ上面からの擬似
光。
装置のチップの継ぎ目近辺を示した平面図、第２図は第
１図Ａ−Ａ面で切断した断面図、第４図と第５図はそれ
ぞれ本発明の固体撮像素子の第１、第２の実施例の平面
図である。 （１）・・・光電変換部（主画素）、（１ｅ）・・・チ
ップ端の光電変換部、（２）・・・Ｎ１領域、（３）・
・・アルミ薄膜、（３ｅ）・・・チップ端のアルミ薄膜
、（１０）・・・ｐ型基板。 ａ・・・正規の光照射、ｂ・・・チップ上面からの擬似
光。
Claims (1)
- １、複数個の光電変換部を配列して一次元固体撮像素子
を構成すると共に、この固体撮像素子におけるチップ端
部の画素の受光窓の面積誤差を主画素の±１０％〜±５
０％にした固体撮像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59203282A JP2510149B2 (ja) | 1984-09-27 | 1984-09-27 | 固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59203282A JP2510149B2 (ja) | 1984-09-27 | 1984-09-27 | 固体撮像装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6180945A true JPS6180945A (ja) | 1986-04-24 |
| JP2510149B2 JP2510149B2 (ja) | 1996-06-26 |
Family
ID=16471464
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59203282A Expired - Lifetime JP2510149B2 (ja) | 1984-09-27 | 1984-09-27 | 固体撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2510149B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57157680A (en) * | 1981-03-25 | 1982-09-29 | Toshiba Corp | Line sensor for picture reading |
-
1984
- 1984-09-27 JP JP59203282A patent/JP2510149B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57157680A (en) * | 1981-03-25 | 1982-09-29 | Toshiba Corp | Line sensor for picture reading |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2510149B2 (ja) | 1996-06-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |