JPS6181648A - 石英ガラス製ウエハボ−ト搬送治具 - Google Patents
石英ガラス製ウエハボ−ト搬送治具Info
- Publication number
- JPS6181648A JPS6181648A JP59181886A JP18188684A JPS6181648A JP S6181648 A JPS6181648 A JP S6181648A JP 59181886 A JP59181886 A JP 59181886A JP 18188684 A JP18188684 A JP 18188684A JP S6181648 A JPS6181648 A JP S6181648A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer boat
- quartz glass
- wafer
- jig
- per
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
- H10P72/33—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
- H10P72/3311—Horizontal transfer of a batch of workpieces
Landscapes
- Glass Compositions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は半導体ウェハをａ還したウェハボートを炉芯管
へ出し入れする際に用いるソフトランディング方式の石
英ガラス製ウェハボート搬送治具の改良に関する。
へ出し入れする際に用いるソフトランディング方式の石
英ガラス製ウェハボート搬送治具の改良に関する。
［発明の技術的前景とその問題点］
半導体ウェハをａ置したウェハボートを炉芯管へ出し入
れする際には管状又は棒状の耐熱材料の一端部に切欠部
を設けてウェハボート保持部を形成したウェハボート搬
送治具が用いられる。従来、この種のウェハボート搬送
治具は純度的な観点から石英ガラス材質のものが主体で
ある。
れする際には管状又は棒状の耐熱材料の一端部に切欠部
を設けてウェハボート保持部を形成したウェハボート搬
送治具が用いられる。従来、この種のウェハボート搬送
治具は純度的な観点から石英ガラス材質のものが主体で
ある。
ところが１石英ガラス製の搬送治具では使用時に一端の
ウェハボート保持部を高温の炉内に挿入し、他端を室温
で固定支持した状態で搬送治具内に温度勾配が発生する
と、この温度勾配によって搬送治具内に熱的応力が発生
し、それが残留応力として材質の機械的強度を低下させ
る。このため、従来の石英ガラス製ウェハボート搬送治
具は折れたり１曲がったりする欠点があった。この折れ
や曲がりは、特に曲げモーメントが騒も大きくなる部分
で発生し易い。
ウェハボート保持部を高温の炉内に挿入し、他端を室温
で固定支持した状態で搬送治具内に温度勾配が発生する
と、この温度勾配によって搬送治具内に熱的応力が発生
し、それが残留応力として材質の機械的強度を低下させ
る。このため、従来の石英ガラス製ウェハボート搬送治
具は折れたり１曲がったりする欠点があった。この折れ
や曲がりは、特に曲げモーメントが騒も大きくなる部分
で発生し易い。
このような欠点を解消するために石英ガラス製ウェハボ
ート搬送治具全体を厚くすることが考えられるが、この
ようにすると搬送治具の自重で熱変形が起り易くなる。
ート搬送治具全体を厚くすることが考えられるが、この
ようにすると搬送治具の自重で熱変形が起り易くなる。
［発明の目的］
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、機械的
強度の大きな石英ガラス製つェｌ＼ポートｍ送治具を提
供しようとするものである。
強度の大きな石英ガラス製つェｌ＼ポートｍ送治具を提
供しようとするものである。
大発明の石英ガラス製ウェハボート搬送治具は、少なく
ともウェハポード保持部を構成する石英ガラスが直径１
０〜５０ｐｍのほぼ球形の気泡を１ｃｍ’当り５０００
債以上含有し、かつＯＨ基含有率がｌ ５０ ＰｐＩＩ
以下であることを特徴とするものである。
ともウェハポード保持部を構成する石英ガラスが直径１
０〜５０ｐｍのほぼ球形の気泡を１ｃｍ’当り５０００
債以上含有し、かつＯＨ基含有率がｌ ５０ ＰｐＩＩ
以下であることを特徴とするものである。
このような石英ガラス製ウェハボート搬送治具によれば
、ウェハボー ト保持部を構成する石英ガラスが適当な
気泡を含有し、軽量となるので。
、ウェハボー ト保持部を構成する石英ガラスが適当な
気泡を含有し、軽量となるので。
ウェハボート保持部を肉厚にすることができ、機械的強
度が高くなる。また、適度な含有率でＯ，Ｈ基を有し１
石英ガラスの分子構造が安定しており、かつ気泡がほぼ
球形であるので、高温下で方向による粘性のバラツキが
ほとんどなく、自重による熱変形が減少して相対的に強
度が高くなる。
度が高くなる。また、適度な含有率でＯ，Ｈ基を有し１
石英ガラスの分子構造が安定しており、かつ気泡がほぼ
球形であるので、高温下で方向による粘性のバラツキが
ほとんどなく、自重による熱変形が減少して相対的に強
度が高くなる。
また、気泡の存在により赤外線等が直接透過することな
く散乱屈折されるので、ＷＩ熱性が向上し。
く散乱屈折されるので、ＷＩ熱性が向上し。
炉芯管内の温度制御が容易となる。
本発明において、少なくともウェハボート保持部を構成
する石英ガラスについて１気泡の形状。
する石英ガラスについて１気泡の形状。
個数及びＯＨ基の含有率を上記のように規定したのは、
以下のような理由による。すなわち、気泡の直径が１０
ｇｍ未満であると、軽量化の効果が少なく、一方５０ｐ
ｍを起えると、強度が低下する。また、気泡の形状が球
形から大きくはずれると、方゛向により粘性にバラツキ
が生じる。また。
以下のような理由による。すなわち、気泡の直径が１０
ｇｍ未満であると、軽量化の効果が少なく、一方５０ｐ
ｍを起えると、強度が低下する。また、気泡の形状が球
形から大きくはずれると、方゛向により粘性にバラツキ
が生じる。また。
気泡の個数が１ｃｍ’当り５０００個未満であると、軽
量化の効果が少ない、更に、ＯＨ基の含有率が１５０ｐ
ｐ■を超えると、石英ガラスの分子構造が不安定となり
１強度が低下する。
量化の効果が少ない、更に、ＯＨ基の含有率が１５０ｐ
ｐ■を超えると、石英ガラスの分子構造が不安定となり
１強度が低下する。
〔発明の実施例］
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。
第１図は本発明に係る石英ガラス製ウェハボート搬送治
具のウェハボート保持部近傍を一部断面で示す側面図、
第２図は平面図である。
具のウェハボート保持部近傍を一部断面で示す側面図、
第２図は平面図である。
第１図及び：ｉ４２図において、搬送治具本体ｌは全体
が管状であり、その先端部に縦断面形状が円弧状及び直
線状をなす切欠部を設けてウェハボート保持部２が形成
されている。このウェハボート保持部２は直径ｌＯ〜５
０ａｍのほぼ球形の気泡を１ｃｍ’当り５００（）個以
上含有し、かつＯＨ基含有率が１５０ ｐｐｍ以下の半
透明石英ガラスで形成されている。
が管状であり、その先端部に縦断面形状が円弧状及び直
線状をなす切欠部を設けてウェハボート保持部２が形成
されている。このウェハボート保持部２は直径ｌＯ〜５
０ａｍのほぼ球形の気泡を１ｃｍ’当り５００（）個以
上含有し、かつＯＨ基含有率が１５０ ｐｐｍ以下の半
透明石英ガラスで形成されている。
上記石英ガラス製つェハポート搬送治其の搬送治具本体
ｌの基端部は従来のものと同様であり。
ｌの基端部は従来のものと同様であり。
図示しない搬送装置の所定の位置に固定される。
また、ウェハボート保持部？上に半導体ウェハボートを
ａせて搬送し、炉芯管へ出し入れを行なう。
ａせて搬送し、炉芯管へ出し入れを行なう。
しかして上記石英ガラス製つェハポート搬送治銭によれ
ば、炉芯管に出し入れを行なっても従来のものと比較し
てウェハボート保持部２の折れや曲がりがなく、シかも
ウェハボート保持部２の先端のたわみを減少することが
できる。
ば、炉芯管に出し入れを行なっても従来のものと比較し
てウェハボート保持部２の折れや曲がりがなく、シかも
ウェハボート保持部２の先端のたわみを減少することが
できる。
また、第３図に示すように支持部材３に４１２５１七固
定支持端から先端までの長さが７０ｍｍのも芙ガラス試
料４を支持し、１３５０℃で１時間力α熱した場合の自
重によるたわみ量を３＠の石英ガラスについて試料の肉
厚を変化させて測定した。
定支持端から先端までの長さが７０ｍｍのも芙ガラス試
料４を支持し、１３５０℃で１時間力α熱した場合の自
重によるたわみ量を３＠の石英ガラスについて試料の肉
厚を変化させて測定した。
この結果を第４図に示す、なお、第４図中■（比較例Ｌ
）は製管方向に長く引き延ばされ、短軸が１０〜５０４
ｍの気泡をｌｅａ’当り５ｏｏｏ個以上含有し、ＯＨ基
含有率が約１２０ｐｐ■の不透明石英ガラス、同図中■
（比較例２）は気泡をほとんど含まず、ＯＨ基含有率が
約２００ ｐｐｍ以下の透明石英ガラス、同図中ｍ（実
施例）は直径ｌＯ〜５０ルｍのほぼ球形の気泡を１ｃｍ
’当り５０００個以上含有し、かつＯＨ基含有率が約１
１０ｐｐｍの半透明石英ガラスについての結果をそれぞ
れ示すものである。
）は製管方向に長く引き延ばされ、短軸が１０〜５０４
ｍの気泡をｌｅａ’当り５ｏｏｏ個以上含有し、ＯＨ基
含有率が約１２０ｐｐ■の不透明石英ガラス、同図中■
（比較例２）は気泡をほとんど含まず、ＯＨ基含有率が
約２００ ｐｐｍ以下の透明石英ガラス、同図中ｍ（実
施例）は直径ｌＯ〜５０ルｍのほぼ球形の気泡を１ｃｍ
’当り５０００個以上含有し、かつＯＨ基含有率が約１
１０ｐｐｍの半透明石英ガラスについての結果をそれぞ
れ示すものである。
第４図から明らかなように、比較例１の石英ガラスは含
まれる気泡の形状が球形から大きくはずれているので、
たわみ量が大きい、また、比較例２の石英ガラスは気泡
をほとんど含まず、ＯＨ基の含有率も１５０ｐｐ■を超
えているので、やはりたわみ量が大きい、これに対して
実施例の石英ガラスは比較例のものに比へてたわみ醍が
小さくなっている。
まれる気泡の形状が球形から大きくはずれているので、
たわみ量が大きい、また、比較例２の石英ガラスは気泡
をほとんど含まず、ＯＨ基の含有率も１５０ｐｐ■を超
えているので、やはりたわみ量が大きい、これに対して
実施例の石英ガラスは比較例のものに比へてたわみ醍が
小さくなっている。
なお、本発明の石英ガラス製ウェハボート搬送冶具にお
いて、曲げモーメントはウェハ保持部の縦断面形状が円
弧状及び直線状をなす切欠部の円弧と直線の境界Ａの近
傍で最も大きくなり、先端で最小となるから、第５図及
び：ｉＳＳ図に示すように、前記Ａの近傍を肉厚にし、
先端に向かって肉薄になるようにしてもよい。
いて、曲げモーメントはウェハ保持部の縦断面形状が円
弧状及び直線状をなす切欠部の円弧と直線の境界Ａの近
傍で最も大きくなり、先端で最小となるから、第５図及
び：ｉＳＳ図に示すように、前記Ａの近傍を肉厚にし、
先端に向かって肉薄になるようにしてもよい。
また、搬送治具本体は上記実施例のように管状のものに
限らず、棒状のものでもよい。
限らず、棒状のものでもよい。
更に、搬送治具本体もウェハ保持部と同じ材質としても
よい。
よい。
［発明の効果］ 、
以上詳述した如く本発明の石英ガラス製ウェハボート搬
送治具によれば、ウェハボート保持部の折れや曲がりを
なくし、しかもウェハボート保持部の先端のたわみを減
少することができる等顕著な効果を奏するものである。
送治具によれば、ウェハボート保持部の折れや曲がりを
なくし、しかもウェハボート保持部の先端のたわみを減
少することができる等顕著な効果を奏するものである。
第１図は本発明における石英ガラス製つニノ＼ポート搬
送治具のウェハボート保持部近傍を一部断面で示す側面
図、第２図は同搬送治具の乎面図、第３図はたわみ量の
試験方法を示す説明図。 第４図は実施例及び比較例１．２の石英ガラスについて
の試料の肉厚とたわみ量との関係を示す線図、第５図は
本発明の他の実施例における石英ガラス製ウェハボート
搬送治具のウェハボート保持部近傍を一部断面で示す側
面図、第６図は同搬送治具の平面図である。 ｌ・・・搬送治具本体、２・・・ウェハボート保持部。 ３・・・支持部材２４・・・石英ガラス試料。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦手続補正書 昭和 Ｊ３０・１ρ・３１日 特許庁長官 宇 賀 道 部 殿１、事件の
表示 特願昭５９−１８１８８６号 ２、発明の名称 石英ガラス製ウェハボート搬送治具 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 東芝セラミックス株式会社 ４、代理人 ６、補正の対象 図 面 ７、補正の内容
送治具のウェハボート保持部近傍を一部断面で示す側面
図、第２図は同搬送治具の乎面図、第３図はたわみ量の
試験方法を示す説明図。 第４図は実施例及び比較例１．２の石英ガラスについて
の試料の肉厚とたわみ量との関係を示す線図、第５図は
本発明の他の実施例における石英ガラス製ウェハボート
搬送治具のウェハボート保持部近傍を一部断面で示す側
面図、第６図は同搬送治具の平面図である。 ｌ・・・搬送治具本体、２・・・ウェハボート保持部。 ３・・・支持部材２４・・・石英ガラス試料。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦手続補正書 昭和 Ｊ３０・１ρ・３１日 特許庁長官 宇 賀 道 部 殿１、事件の
表示 特願昭５９−１８１８８６号 ２、発明の名称 石英ガラス製ウェハボート搬送治具 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 東芝セラミックス株式会社 ４、代理人 ６、補正の対象 図 面 ７、補正の内容
Claims (1)
- 一端が固定され、他端に半導体ウェハを載置したウェハ
ボートを保持するウェハボート保持部を形成した石英ガ
ラス製ウェハボート搬送治具において、少なくとも前記
ウェハボート保持部を構成する石英ガラスが直径１０〜
５０μｍのほぼ球形の気泡を１ｃｍ＾３当り５０００個
以上含有し、かつＯＨ基含有率が１５０ｐｐｍ以下であ
ることを特徴とする石英ガラス製ウェハボート搬送治具
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59181886A JPS6181648A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | 石英ガラス製ウエハボ−ト搬送治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59181886A JPS6181648A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | 石英ガラス製ウエハボ−ト搬送治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6181648A true JPS6181648A (ja) | 1986-04-25 |
Family
ID=16108592
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59181886A Pending JPS6181648A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | 石英ガラス製ウエハボ−ト搬送治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6181648A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01197381A (ja) * | 1988-02-03 | 1989-08-09 | Mitsubishi Metal Corp | シリコン単結晶引上げ用石英ルツボ |
| JPH0774122A (ja) * | 1994-03-28 | 1995-03-17 | Shinetsu Quartz Prod Co Ltd | 石英ガラス製の炉芯管 |
| JPH0774121A (ja) * | 1994-03-28 | 1995-03-17 | Shinetsu Quartz Prod Co Ltd | 石英ガラス製炉芯管 |
| WO2020129174A1 (ja) * | 2018-12-19 | 2020-06-25 | 東ソー・クォーツ株式会社 | 不透明石英ガラス及びその製造方法 |
-
1984
- 1984-08-31 JP JP59181886A patent/JPS6181648A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01197381A (ja) * | 1988-02-03 | 1989-08-09 | Mitsubishi Metal Corp | シリコン単結晶引上げ用石英ルツボ |
| JPH0774122A (ja) * | 1994-03-28 | 1995-03-17 | Shinetsu Quartz Prod Co Ltd | 石英ガラス製の炉芯管 |
| JPH0774121A (ja) * | 1994-03-28 | 1995-03-17 | Shinetsu Quartz Prod Co Ltd | 石英ガラス製炉芯管 |
| WO2020129174A1 (ja) * | 2018-12-19 | 2020-06-25 | 東ソー・クォーツ株式会社 | 不透明石英ガラス及びその製造方法 |
| JPWO2020129174A1 (ja) * | 2018-12-19 | 2021-02-15 | 東ソー・クォーツ株式会社 | 不透明石英ガラス及びその製造方法 |
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