JPH0774121A - 石英ガラス製炉芯管 - Google Patents
石英ガラス製炉芯管Info
- Publication number
- JPH0774121A JPH0774121A JP5777494A JP5777494A JPH0774121A JP H0774121 A JPH0774121 A JP H0774121A JP 5777494 A JP5777494 A JP 5777494A JP 5777494 A JP5777494 A JP 5777494A JP H0774121 A JPH0774121 A JP H0774121A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- core tube
- furnace core
- quartz glass
- side end
- tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【構成】 石英ガラス炉芯管１の搬出入側端部２および
尾管側端部９の内側近傍を15〜1000μｍの範囲の大きさ
の微細気泡７を含有する半透明石英ガラス８で構成させ
て成る石英ガラス製炉芯管。 【効果】 本発明の炉芯管は、半導体ウエ−ハ等の熱処
理における熱エネルギ−のロスが少なく、端部に密封状
に取付けられる蓋のシ−ル用ゴムパッキン等の熱劣化が
抑制されるので、ガス洩れが防止でき、炉芯管の寿命が
大幅に延長するので、工業的に極めて有利である。
尾管側端部９の内側近傍を15〜1000μｍの範囲の大きさ
の微細気泡７を含有する半透明石英ガラス８で構成させ
て成る石英ガラス製炉芯管。 【効果】 本発明の炉芯管は、半導体ウエ−ハ等の熱処
理における熱エネルギ−のロスが少なく、端部に密封状
に取付けられる蓋のシ−ル用ゴムパッキン等の熱劣化が
抑制されるので、ガス洩れが防止でき、炉芯管の寿命が
大幅に延長するので、工業的に極めて有利である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエ−ハの熱処
理に用いられる石英ガラス製炉芯管に関し、特に、その
熱処理において高温に加熱される炉芯管の両端部の温度
を低減させた改良炉芯管に関する。
理に用いられる石英ガラス製炉芯管に関し、特に、その
熱処理において高温に加熱される炉芯管の両端部の温度
を低減させた改良炉芯管に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体ウエ−ハの熱処理に使用
される従来の炉芯管１は、説明用図として示した図２に
描かれるように、処理物の搬出入側端部２および尾管側
端部９が熱処理用横型炉３から露出して装着されてい
る。このため、加熱体４で加熱を行うと、石英ガラスは
赤外線の透過性がきわめて高いので、赤外線による輻射
熱の一部が石英ガラスを通して搬出入側端部２および尾
管側端部９に達し、それぞれの端部の温度を上昇させ、
熱エネルギ−を無駄に外部に捨てることになるだけでな
く、それぞれの端部に接続する部材、例えば、搬出入側
端部２と嵌合している蓋５に取付けられるシ−ル用ゴム
パッキン（図示せず）等が劣化して密封性が悪くなり、
また蓋５の排気管６に結合している有機材系の配管（図
示せず）が損傷し易いという不利があるので、これらの
改良が望まれていた。
される従来の炉芯管１は、説明用図として示した図２に
描かれるように、処理物の搬出入側端部２および尾管側
端部９が熱処理用横型炉３から露出して装着されてい
る。このため、加熱体４で加熱を行うと、石英ガラスは
赤外線の透過性がきわめて高いので、赤外線による輻射
熱の一部が石英ガラスを通して搬出入側端部２および尾
管側端部９に達し、それぞれの端部の温度を上昇させ、
熱エネルギ−を無駄に外部に捨てることになるだけでな
く、それぞれの端部に接続する部材、例えば、搬出入側
端部２と嵌合している蓋５に取付けられるシ−ル用ゴム
パッキン（図示せず）等が劣化して密封性が悪くなり、
また蓋５の排気管６に結合している有機材系の配管（図
示せず）が損傷し易いという不利があるので、これらの
改良が望まれていた。
【０００３】この対策として、搬出入側端部の表面をす
りガラスにし、これによって輻射熱の外部への洩れを抑
制する提案があるが、この効果は必ずしも充分ではな
く、しかも端部の温度上昇を抑えることはできない。そ
の上、表面をすりガラスに加工すると、ここには微細な
粉塵が付着し易く、これは洗浄しても完全に除去するこ
とは不可能で、この粉塵が半導体ウエ−ハを汚染すると
いう不利がある。更に、すり合わせ加工によりマイクロ
クラックが多数発生して炉芯管の機械的強度を低下させ
るという不都合がある。
りガラスにし、これによって輻射熱の外部への洩れを抑
制する提案があるが、この効果は必ずしも充分ではな
く、しかも端部の温度上昇を抑えることはできない。そ
の上、表面をすりガラスに加工すると、ここには微細な
粉塵が付着し易く、これは洗浄しても完全に除去するこ
とは不可能で、この粉塵が半導体ウエ−ハを汚染すると
いう不利がある。更に、すり合わせ加工によりマイクロ
クラックが多数発生して炉芯管の機械的強度を低下させ
るという不都合がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記のよう
な従来の炉芯管の欠点を改良することを課題とするもの
である。
な従来の炉芯管の欠点を改良することを課題とするもの
である。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、前記問題
点を検討し、これを解決する手段として本発明を完成し
たものであって、石英ガラス製炉芯管において、炉芯管
本体の搬出入側および尾管側それぞれの端部の内側近傍
を15〜1000μｍの範囲の大きさの微細気泡によって形成
された半透明石英ガラスで構成したことを特徴とする石
英ガラス製炉芯管を要旨とするものである。
点を検討し、これを解決する手段として本発明を完成し
たものであって、石英ガラス製炉芯管において、炉芯管
本体の搬出入側および尾管側それぞれの端部の内側近傍
を15〜1000μｍの範囲の大きさの微細気泡によって形成
された半透明石英ガラスで構成したことを特徴とする石
英ガラス製炉芯管を要旨とするものである。
【０００６】上記のような構成を有する本発明の石英ガ
ラス製炉芯管は、炉芯管本体の搬出入側端部および尾管
側端部のそれぞれの内側近傍が、泡の径が比較的広い特
定の範囲の微細気泡、すなわち15〜1000μｍの範囲の微
細気泡によって半透明に形成され、加熱体によって高温
に加熱される中央部と両端部は透明石英ガラスで構成さ
せた点に技術的特徴がある。このような気泡によって形
成された半透明石英ガラス部は、製造上有利であるばか
りでなく、半導体ウエ−ハ熱処理における両端部に及ぼ
す遮熱効果と高温における炉芯管の望ましい強度が得ら
れるという実用上の利点を有する。
ラス製炉芯管は、炉芯管本体の搬出入側端部および尾管
側端部のそれぞれの内側近傍が、泡の径が比較的広い特
定の範囲の微細気泡、すなわち15〜1000μｍの範囲の微
細気泡によって半透明に形成され、加熱体によって高温
に加熱される中央部と両端部は透明石英ガラスで構成さ
せた点に技術的特徴がある。このような気泡によって形
成された半透明石英ガラス部は、製造上有利であるばか
りでなく、半導体ウエ−ハ熱処理における両端部に及ぼ
す遮熱効果と高温における炉芯管の望ましい強度が得ら
れるという実用上の利点を有する。
【０００７】この半透明石英ガラス部が形成される炉芯
管本体の両端部近傍は、炉芯管本体の両端部に透明な石
英ガラス部を残し、かつ半導体ウエ−ハ熱処理するため
の加熱体の外側の範囲であって、その箇所は特に限定さ
れない。この半透明化させる微細気泡の径が1000μｍを
超えると機械的強度が低下し、また15μｍより小さいと
製造が困難となるので、工業的に著しく不利である。
管本体の両端部近傍は、炉芯管本体の両端部に透明な石
英ガラス部を残し、かつ半導体ウエ−ハ熱処理するため
の加熱体の外側の範囲であって、その箇所は特に限定さ
れない。この半透明化させる微細気泡の径が1000μｍを
超えると機械的強度が低下し、また15μｍより小さいと
製造が困難となるので、工業的に著しく不利である。
【０００８】また、炉芯管の両端部を透明石英ガラスで
構成される本発明の炉芯管本体は、両端部に微細気泡入
り半透明部を構成させたものと同程度の遮熱効果を有す
るだけでなく、その端部に接合部材を気密に取付けるの
に有利である。以下、図面によって本発明を説明する。
構成される本発明の炉芯管本体は、両端部に微細気泡入
り半透明部を構成させたものと同程度の遮熱効果を有す
るだけでなく、その端部に接合部材を気密に取付けるの
に有利である。以下、図面によって本発明を説明する。
【０００９】図１は、本発明の石英ガラス製炉芯管の一
例の模式的正面図である。本発明の石英ガラス炉芯管１
は、図の右端に処理物を出し入れする搬出入側端部２
を、また左端に尾管側端部９を有し、それぞれの端部は
透明な石英ガラスで構成され、その内側と加熱体の外側
部との範囲領域の端部近傍に、15〜1000μｍの大きさの
微細気泡７入り半透明石英ガラス部８が形成されてい
る。ウエ−ハ等を出し入れする搬出入側端部２の端部の
テ−パ−部には、図示されていないが、図２に描かれる
ように、密封用蓋がシ−ル用ゴムパッキンを挾んで嵌合
状に取付けられる。
例の模式的正面図である。本発明の石英ガラス炉芯管１
は、図の右端に処理物を出し入れする搬出入側端部２
を、また左端に尾管側端部９を有し、それぞれの端部は
透明な石英ガラスで構成され、その内側と加熱体の外側
部との範囲領域の端部近傍に、15〜1000μｍの大きさの
微細気泡７入り半透明石英ガラス部８が形成されてい
る。ウエ−ハ等を出し入れする搬出入側端部２の端部の
テ−パ−部には、図示されていないが、図２に描かれる
ように、密封用蓋がシ−ル用ゴムパッキンを挾んで嵌合
状に取付けられる。
【００１０】
【作用】本発明の石英ガラス製炉芯管は、例えば、1000
℃以上の高温での半導体ウエ−ハ熱処理において、その
両端部は、加熱部より温度が低められ、その寿命が大幅
に引き延ばされる。
℃以上の高温での半導体ウエ−ハ熱処理において、その
両端部は、加熱部より温度が低められ、その寿命が大幅
に引き延ばされる。
【００１１】
【実施例】1050℃に加熱した炉長1000mmの半導体ウエ−
ハ熱処理用横型炉内に、長さ2300mmの石英ガラス製炉芯
管を装着した。この時、両端部は各々150mmずつ炉外に
露出していた。４本の各種炉芯管を、それぞれ別個に半
導体ウエ−ハ熱処理用横型炉内で30分加熱した後、各炉
芯管の両端部の温度を測定した。それぞれの測定結果を
下掲第１表に示す。
ハ熱処理用横型炉内に、長さ2300mmの石英ガラス製炉芯
管を装着した。この時、両端部は各々150mmずつ炉外に
露出していた。４本の各種炉芯管を、それぞれ別個に半
導体ウエ−ハ熱処理用横型炉内で30分加熱した後、各炉
芯管の両端部の温度を測定した。それぞれの測定結果を
下掲第１表に示す。
【００１２】各炉芯管において、Ｎo.１は、搬出入側端
部より10cmのみを微細気泡を含む半透明石英ガラスとし
たものであり、Ｎo.２は、第２図に示すような搬出入側
端部および尾管側端部よりそれぞれ約10〜20cmを微細気
泡入り半透明とした本発明の炉芯管である。また、炉芯
管Ｎo.３は、従来提案された搬出入側端部より10cmまで
をすりガラスとし、炉芯管Ｎo.４は、半透明ガラスを全
く用いないで全体を透明石英ガラスで構成させたもので
ある。
部より10cmのみを微細気泡を含む半透明石英ガラスとし
たものであり、Ｎo.２は、第２図に示すような搬出入側
端部および尾管側端部よりそれぞれ約10〜20cmを微細気
泡入り半透明とした本発明の炉芯管である。また、炉芯
管Ｎo.３は、従来提案された搬出入側端部より10cmまで
をすりガラスとし、炉芯管Ｎo.４は、半透明ガラスを全
く用いないで全体を透明石英ガラスで構成させたもので
ある。
【００１３】
【００１４】第１表より、本発明の炉芯管Ｎo.２は、炉
芯管本体の両端部が充分低い昇温速度に保持され、比較
される他の透明石英ガラス製炉芯管Ｎo.４および搬出入
側端部をすりガラスとしたＮo.３に比べて充分低温化さ
れていることが明確に理解される。
芯管本体の両端部が充分低い昇温速度に保持され、比較
される他の透明石英ガラス製炉芯管Ｎo.４および搬出入
側端部をすりガラスとしたＮo.３に比べて充分低温化さ
れていることが明確に理解される。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように、炉芯管本体の両端
部近傍が石英ガラス半透明部にされている本発明の炉芯
管は、半導体ウエ−ハ等の熱処理における熱エネルギ−
のロスが少なく、端部に密封状に取付けられる蓋のシ−
ル用ゴムパッキン等の熱劣化が抑制されるので、ガス洩
れが防止でき、炉芯管の寿命が大幅に延長するので、工
業的に極めて有利である。
部近傍が石英ガラス半透明部にされている本発明の炉芯
管は、半導体ウエ−ハ等の熱処理における熱エネルギ−
のロスが少なく、端部に密封状に取付けられる蓋のシ−
ル用ゴムパッキン等の熱劣化が抑制されるので、ガス洩
れが防止でき、炉芯管の寿命が大幅に延長するので、工
業的に極めて有利である。
【図１】本発明の石英ガラス製炉芯管の一例の模式的正
面図である。
面図である。
【図２】従来の炉芯管を熱処理用横型炉に装着したとき
の説明図である。
の説明図である。
１・・・石英ガラス炉芯管 ２・・・搬出入側端部 ３・・・熱処理用横型炉 ４・・・加熱体 ５・・・蓋 ６・・・排気管 ７・・・微細気泡 ８・・・半透明部 ９・・・尾管側端部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 剣持 克彦 福島県郡山市田村町金屋字川久保88 信越 石英株式会社石英技術研究所内
Claims (1)
- 【請求項１】 石英ガラス製炉芯管において、炉芯管本
体の搬出入側および尾管側それぞれの端部の内側近傍を
15〜1000μｍの範囲の大きさの微細気泡入り半透明石英
ガラスで構成したことを特徴とする石英ガラス製炉芯
管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5777494A JPH0774121A (ja) | 1994-03-28 | 1994-03-28 | 石英ガラス製炉芯管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5777494A JPH0774121A (ja) | 1994-03-28 | 1994-03-28 | 石英ガラス製炉芯管 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61160608A Division JPS6317300A (ja) | 1986-07-08 | 1986-07-08 | 石英ガラス製炉芯管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0774121A true JPH0774121A (ja) | 1995-03-17 |
Family
ID=13065224
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5777494A Pending JPH0774121A (ja) | 1994-03-28 | 1994-03-28 | 石英ガラス製炉芯管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0774121A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5623741A (en) * | 1979-08-06 | 1981-03-06 | Toshiba Ceramics Co Ltd | Quartz glass furnace core tube for manufacturing semiconductor |
| JPS6181648A (ja) * | 1984-08-31 | 1986-04-25 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 石英ガラス製ウエハボ−ト搬送治具 |
-
1994
- 1994-03-28 JP JP5777494A patent/JPH0774121A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5623741A (en) * | 1979-08-06 | 1981-03-06 | Toshiba Ceramics Co Ltd | Quartz glass furnace core tube for manufacturing semiconductor |
| JPS6181648A (ja) * | 1984-08-31 | 1986-04-25 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 石英ガラス製ウエハボ−ト搬送治具 |
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