JPS6183069U - - Google Patents

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JPS6183069U
JPS6183069U JP16882284U JP16882284U JPS6183069U JP S6183069 U JPS6183069 U JP S6183069U JP 16882284 U JP16882284 U JP 16882284U JP 16882284 U JP16882284 U JP 16882284U JP S6183069 U JPS6183069 U JP S6183069U
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JP
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main discharge
ionization
electrodes
electrode
circuits
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JP16882284U
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【図面の簡単な説明】
第１図および第２図はそれぞれ本考案の第１及
び第２の実施例の模式的な横断面図、第３図は第
２図の部分斜視図、第４図は従来の主放電回路中
に予備電離用アークギヤツプを含む紫外線自動予
備電離・容量移行型励起回路使用のパルスガスレ
ーザ装置の模式的な横断面図、第５図は従来の主
放電回路中に予備電離用アークギヤツプを含まな
いパルスガスレーザ装置の模式的な横断面図、第
６図は第５図の部分斜視図である。図において、
１……第１の主放電電極、２……第２の主放電電
極、３……ピーキングコンデンサ、４……充電コ
ンデンサ、５……スイツチング回路、６……ＬＲ
回路、７……高電圧電源、８……ストリツプライ
ン、９……予備電離用電極対、１０……予備電離
用アークギヤツプ、１１……主放電空間、１２…
…ガス循環器、１３……熱交換器、１４……レー
ザ管、１５……第１の予備電離用電極、１６……
第２の予備電離用電極、である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ガス封入されたレーザ管内に主放電を得る第１
    および第２の主放電電極と、前記主放電の放電空
    間近傍でこの主放電空間をこの主放電に先立ち予
    め電離する複数の予備電離回路と、一対の前記主
    放電電極と接続されこれらの電極間に放電を励起
    させる容量移行型励起回路とを備えたパルスガス
    レーザ装置において；前記励起回路は、一端が第
    ２の主放電電極と接続され他端に高圧電源の印加
    された充電コンデンサと、この充電コンデンサの
    他端と前記高圧電源とに一端が接続されたスイツ
    チング回路と、このスイツチング回路の他端と前
    記充電コンデンサの他端とを抵抗あるいはインダ
    クタンスで接続する充電回路と、前記第１および
    第２の主放電電極とそれぞれ並列接続された複数
    のピーキングコンデンサとを含み；前記複数の予
    備電離回路は、複数の前記ピーキングコンデンサ
    の前記第２の主放電電極との各接続部の導体部を
    兼ねた複数の第１の予備電離用電極と、これら第
    １の予備電離用電極とそれぞれアークギヤツプを
    形成して対向され前記スイツチ回路の他端にスト
    リツプラインを介してそれぞれ接続された複数の
    第２の予備電離用電極とを含むことを特徴とする
    パルスガスレーザ装置。
JP16882284U 1984-11-07 1984-11-07 Pending JPS6183069U (ja)

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JP16882284U JPS6183069U (ja) 1984-11-07 1984-11-07

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1988000403A1 (fr) * 1986-06-30 1988-01-14 Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho Laser a gaz
JPS63197371U (ja) * 1987-06-08 1988-12-19

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1988000403A1 (fr) * 1986-06-30 1988-01-14 Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho Laser a gaz
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