JPS6184536A - 水晶式気体圧力計 - Google Patents
水晶式気体圧力計Info
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- JPS6184536A JPS6184536A JP20757784A JP20757784A JPS6184536A JP S6184536 A JPS6184536 A JP S6184536A JP 20757784 A JP20757784 A JP 20757784A JP 20757784 A JP20757784 A JP 20757784A JP S6184536 A JPS6184536 A JP S6184536A
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- JP
- Japan
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- crystal
- voltage
- gas pressure
- pressure
- pll circuit
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0001—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means
- G01L9/0008—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using vibrations
- G01L9/0022—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using vibrations of a piezoelectric element
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔工業上の利用分野〕
本発明は水晶振動子金利用して、その周囲の気体圧力を
測る気体圧力側だ装置に関するものである。
測る気体圧力側だ装置に関するものである。
大気圧から１Ｑ−３）−ル（Ｔｏｒｒ ）迄の気体圧力
を１つのセンサで連続的に、１ＪＩＩ りたいという工
業的要求には根強いものがある。
を１つのセンサで連続的に、１ＪＩＩ りたいという工
業的要求には根強いものがある。
水晶振動子の共振周波数が、その周囲気体の圧力が低く
なるにつれアミ加するという現象を利用し友水晶式気体
圧力耐は、ある程枇前記の工業的要求に答えるものであ
るが、測定下限が１０ト一ル程度であるという大きな欠
点を有している。又、熱伝４型真空討、例えばビラニ真
空計では測定下限が１０−４〜１０− トールであるが
、測定上限が１０ト一ル程度であり、これも前記水晶式
気体圧力計と同様の欠点を有している。
なるにつれアミ加するという現象を利用し友水晶式気体
圧力耐は、ある程枇前記の工業的要求に答えるものであ
るが、測定下限が１０ト一ル程度であるという大きな欠
点を有している。又、熱伝４型真空討、例えばビラニ真
空計では測定下限が１０−４〜１０− トールであるが
、測定上限が１０ト一ル程度であり、これも前記水晶式
気体圧力計と同様の欠点を有している。
一方、水晶振動子の共振抵抗が、その周囲気体の圧力に
広い範囲で依任性を有することが、最近明らかとなり、
それ金利用すれば、大気圧から１Ｑ−３トールまで１つ
のセ／すで連続四に測定可能な気体圧力計が実現できる
ことが明らかとなった。これは、例えば、月刊誌「計装
Ｊ、１９８４年、 Ｖｏｌ、２７ 、Ａ７ 「水晶振動
子を使った超小型真空セ／すの開発」の項に開示されて
いる。
広い範囲で依任性を有することが、最近明らかとなり、
それ金利用すれば、大気圧から１Ｑ−３トールまで１つ
のセ／すで連続四に測定可能な気体圧力計が実現できる
ことが明らかとなった。これは、例えば、月刊誌「計装
Ｊ、１９８４年、 Ｖｏｌ、２７ 、Ａ７ 「水晶振動
子を使った超小型真空セ／すの開発」の項に開示されて
いる。
矢に、水晶振動子の共振抵抗の圧力依存性を利用した気
体出力計の動作原理を図面に工って説明する。
体出力計の動作原理を図面に工って説明する。
第１図は気体圧力と水晶振動子の特性値（共振抵抗値と
共振電流、共撮周彼ｉ）の関係を示す図である。共振周
波数は気体の圧力が１０トールを越えると変化し始める
が、気体の圧力が１０トール未満では気体圧力に対する
感度はほとんど零である。一方、水晶振動子の共振抵抗
は大気圧から１０−３トールまで、気体圧力に対して感
度を肩している。この水晶振動を足砿圧、吏・妨すれば
、同図に２いて１０ で示す工うな共振電流−気体圧
力油４が見られる。それは、前記共感抵抗値と同様に大
気圧から１０−３トール筐で気体圧力に対する感度を有
する。従って、１ｊｌｌｌ冗の容易さの点から、共感抵
抗値を測るエリは共振電流（又は共振電圧）を測る方が
艮い。
共振電流、共撮周彼ｉ）の関係を示す図である。共振周
波数は気体の圧力が１０トールを越えると変化し始める
が、気体の圧力が１０トール未満では気体圧力に対する
感度はほとんど零である。一方、水晶振動子の共振抵抗
は大気圧から１０−３トールまで、気体圧力に対して感
度を肩している。この水晶振動を足砿圧、吏・妨すれば
、同図に２いて１０ で示す工うな共振電流−気体圧
力油４が見られる。それは、前記共感抵抗値と同様に大
気圧から１０−３トール筐で気体圧力に対する感度を有
する。従って、１ｊｌｌｌ冗の容易さの点から、共感抵
抗値を測るエリは共振電流（又は共振電圧）を測る方が
艮い。
第２図は、本発明の対象である水晶式気体圧力計の電子
回路ブロック図である。犬きぐは、ＰＬＬ回路部と、表
示変換回路部と、表示部とから構成される。前記ＰＬＬ
回路部は、電圧又は電流に二って制−される周波数可変
発掘器１．水晶振動子５の共振電流を電圧として増幅す
る瑠幅器２．前記増幅器２の出力信号と前記周波数可変
発振器１の出力信号との位相を比較しその位相差に比例
する１ｇ号を出力する位相比較器５と、前記位相比較器
５のパルス状出力信号を直流電圧に直す囲域Ｆ波器４と
から成る。前記低域Ｗｅ器４の出力電圧は前記周波数可
変発振器１の発振周波数をｔｉ５１Ｊ御する。圧カセ／
すである前記水晶振動子５は、前記周波数可変発掘器゛
１の出力端子と前記増１隔器２の入力端子に接続される
。ＰＬＬ回路の動作原理は既に広く知られているので、
ここでは省略するが前記周波数可変発掘器１の発振周波
数は、前記周波な可変発振器１の出力信号即ち＠記水晶
振動子５の凰勤′岨田と、＠記増幅器２の出力信号即ち
前記水晶振動子５を流れる電流との位相差が零になるよ
うに常に制御されている。即ち、前記水晶振動子５は常
に、それ自身の共振周波数にて駆動されていることであ
り、水晶°式気体圧力計を実用化する上で重壁な意味を
もつ。というのは、第１図に示す二うに、水晶振動子の
共振周波数は気体圧力に裏って変化するからである。仄
に表示変換回路部は、＠記増幅器２の信号を更に増幅す
る主増幅４６．前記主増幅器６の出力信号を直流にする
整流器７．前記整流器７の出力電圧の極性を反転するイ
／バータ８．及び前記インバータ８の出力電圧にバイア
スをかけるためのバッファ９とからＤ’する。＠紀バイ
アス量は可変抵抗器９已に裏って任意に変えることがで
きる。表示部は、気体圧力をデジタル的に、又は、アナ
ログ的に表示する部分で、本しリではメータ１０にニジ
構広されていて前記メータ１０の振れ角から気体圧力ｆ
ｒ、読み収るものであるー 前記水晶薇「幼子の共振電流の圧力特注は第１図に示す
工うに、周囲気体の圧力が低Ｆするに従がって共振電流
が増加するので、電圧として増幅し、直流になおし、そ
のま１メータを゛枢動すると圧力が低下するに従かいメ
ータの振れ角が増加し、常識に反する表示になる。そこ
で、前凸己イノパータ８に工って、前記直流電圧の極性
を反転し、更に前記バッファ９に工ってバイアス′准圧
を加えることに工り、第６図に示す工うなメータ、駆・
助電圧金得ることができる。第５図の例では、大気圧に
おいてメータ罠動電圧が１０Ｖになるように前記バイア
ス量が調至されている。このようにして、大気圧に２い
てメータの針が完全に振れ、低圧になるに従ってメータ
の振れ角が減少する通常の圧力表示を得ることができる
。
回路ブロック図である。犬きぐは、ＰＬＬ回路部と、表
示変換回路部と、表示部とから構成される。前記ＰＬＬ
回路部は、電圧又は電流に二って制−される周波数可変
発掘器１．水晶振動子５の共振電流を電圧として増幅す
る瑠幅器２．前記増幅器２の出力信号と前記周波数可変
発振器１の出力信号との位相を比較しその位相差に比例
する１ｇ号を出力する位相比較器５と、前記位相比較器
５のパルス状出力信号を直流電圧に直す囲域Ｆ波器４と
から成る。前記低域Ｗｅ器４の出力電圧は前記周波数可
変発振器１の発振周波数をｔｉ５１Ｊ御する。圧カセ／
すである前記水晶振動子５は、前記周波数可変発掘器゛
１の出力端子と前記増１隔器２の入力端子に接続される
。ＰＬＬ回路の動作原理は既に広く知られているので、
ここでは省略するが前記周波数可変発掘器１の発振周波
数は、前記周波な可変発振器１の出力信号即ち＠記水晶
振動子５の凰勤′岨田と、＠記増幅器２の出力信号即ち
前記水晶振動子５を流れる電流との位相差が零になるよ
うに常に制御されている。即ち、前記水晶振動子５は常
に、それ自身の共振周波数にて駆動されていることであ
り、水晶°式気体圧力計を実用化する上で重壁な意味を
もつ。というのは、第１図に示す二うに、水晶振動子の
共振周波数は気体圧力に裏って変化するからである。仄
に表示変換回路部は、＠記増幅器２の信号を更に増幅す
る主増幅４６．前記主増幅器６の出力信号を直流にする
整流器７．前記整流器７の出力電圧の極性を反転するイ
／バータ８．及び前記インバータ８の出力電圧にバイア
スをかけるためのバッファ９とからＤ’する。＠紀バイ
アス量は可変抵抗器９已に裏って任意に変えることがで
きる。表示部は、気体圧力をデジタル的に、又は、アナ
ログ的に表示する部分で、本しリではメータ１０にニジ
構広されていて前記メータ１０の振れ角から気体圧力ｆ
ｒ、読み収るものであるー 前記水晶薇「幼子の共振電流の圧力特注は第１図に示す
工うに、周囲気体の圧力が低Ｆするに従がって共振電流
が増加するので、電圧として増幅し、直流になおし、そ
のま１メータを゛枢動すると圧力が低下するに従かいメ
ータの振れ角が増加し、常識に反する表示になる。そこ
で、前凸己イノパータ８に工って、前記直流電圧の極性
を反転し、更に前記バッファ９に工ってバイアス′准圧
を加えることに工り、第６図に示す工うなメータ、駆・
助電圧金得ることができる。第５図の例では、大気圧に
おいてメータ罠動電圧が１０Ｖになるように前記バイア
ス量が調至されている。このようにして、大気圧に２い
てメータの針が完全に振れ、低圧になるに従ってメータ
の振れ角が減少する通常の圧力表示を得ることができる
。
〔本発明が解決しようとする間諷点」
しかしながら、水晶振動子の共振抵抗の圧力依存性を利
用する前述の従来ｌｐｔ ｂｘによる水晶式気体圧力計
においては、前記周波数可変発掘器が前記水晶振動子５
の共振周波恕で規制されていない時、即ち前記ＰＬＬ回
路部が非同期状態にある状態で（は前記整流器７の出力
電圧はほぼ零ボルトになり、＠０αメータ１０の振れ角
はフルスケールを上まわり、あたかも、気体圧力が大気
圧をこえている工うに見える。この工うに、従来４４！
成による水晶式気体圧力計に２いては、ＰＬＬ回路部が
非Ｆ）勘状４標になると、メータの指示が大気圧以上を
示し、誤った指示を観測者に与えてしまうという実用上
重要な欠点があった。
用する前述の従来ｌｐｔ ｂｘによる水晶式気体圧力計
においては、前記周波数可変発掘器が前記水晶振動子５
の共振周波恕で規制されていない時、即ち前記ＰＬＬ回
路部が非同期状態にある状態で（は前記整流器７の出力
電圧はほぼ零ボルトになり、＠０αメータ１０の振れ角
はフルスケールを上まわり、あたかも、気体圧力が大気
圧をこえている工うに見える。この工うに、従来４４！
成による水晶式気体圧力計に２いては、ＰＬＬ回路部が
非Ｆ）勘状４標になると、メータの指示が大気圧以上を
示し、誤った指示を観測者に与えてしまうという実用上
重要な欠点があった。
本発明は上記の事情に鑑み為されたもので、前記整流器
７の出力電圧を検出し前記ＰＬＬ回路部が非同期状態に
あるか、又は同期状態にあるかを表示することに工って
、前述の従来技術の欠点全解決する手段を提供するもの
である。
７の出力電圧を検出し前記ＰＬＬ回路部が非同期状態に
あるか、又は同期状態にあるかを表示することに工って
、前述の従来技術の欠点全解決する手段を提供するもの
である。
以下、本発明全図に１って説明する。第４図は本発明の
実施例を示す図である。前記整流回路７の出力の一部は
コンパレータ１１の正入力端子に印力りされる。比較す
べき基準電圧は抵抗器１２と１５とにエリプラス側寅睡
電圧（＋Ｖ）を分割することに二って得られる。コンデ
ンサ１４１ｄ、前記基準電圧を安定化するためにつけら
れる。具体的には、前記基準電圧は雑音に対する余裕度
を考慮して約６０ミリボルトに設定される。因みに、前
記ＰＬＬ回路部が非同期状態の時、前記整流器７の出力
電圧は約２ｍＶである。又％＠ｎｅＰＬＬ回路部が同期
状態にあり、かつ、水晶振動子５の周囲気体の圧力が大
気圧の時、前記整ａ器７の出力電圧は約４００ミリボル
トである。従って前記コンパレータ１１の基準電圧が約
６０ミリボルトであることは誤動作を起す確率は非常に
小さい。
実施例を示す図である。前記整流回路７の出力の一部は
コンパレータ１１の正入力端子に印力りされる。比較す
べき基準電圧は抵抗器１２と１５とにエリプラス側寅睡
電圧（＋Ｖ）を分割することに二って得られる。コンデ
ンサ１４１ｄ、前記基準電圧を安定化するためにつけら
れる。具体的には、前記基準電圧は雑音に対する余裕度
を考慮して約６０ミリボルトに設定される。因みに、前
記ＰＬＬ回路部が非同期状態の時、前記整流器７の出力
電圧は約２ｍＶである。又％＠ｎｅＰＬＬ回路部が同期
状態にあり、かつ、水晶振動子５の周囲気体の圧力が大
気圧の時、前記整ａ器７の出力電圧は約４００ミリボル
トである。従って前記コンパレータ１１の基準電圧が約
６０ミリボルトであることは誤動作を起す確率は非常に
小さい。
１５．１６．２０は抵抗器で抵抗器１５．１６はトラン
ジスタ１８のペース電流をきめる。又、抵抗器２０はフ
ォト・ダイオード１９に流れる電流を制限する。ダイオ
ード１７は、前記トランジスタ１８０ベースに過大な負
電圧がかからない工うにする保護用ダイオードである。
ジスタ１８のペース電流をきめる。又、抵抗器２０はフ
ォト・ダイオード１９に流れる電流を制限する。ダイオ
ード１７は、前記トランジスタ１８０ベースに過大な負
電圧がかからない工うにする保護用ダイオードである。
仄に、本実＠例の動作を説明する。＠記ＰＬＬ回路部が
同期状態にある時は、＠記整流器の出力電圧は少なくと
も４００ミリボルトあるので、前り己コンパＶ−タ１１
の出力電圧はプラス電源を圧レベルにある。
同期状態にある時は、＠記整流器の出力電圧は少なくと
も４００ミリボルトあるので、前り己コンパＶ−タ１１
の出力電圧はプラス電源を圧レベルにある。
従って、＠記トラノジスタ１８はＯＮ状態にあシ、＠記
７万ト・ダイオードには順方同の電流が流れ点灯する。
７万ト・ダイオードには順方同の電流が流れ点灯する。
この時、ＥｒＪ記メータ１０の針の振れ角はフルスケー
ル上越えないことは苫うまでもない。
ル上越えないことは苫うまでもない。
もしも、前記水晶振動子５の周囲の気体圧力が大気圧を
越／−之些せ、例えは、周囲の気体圧力が２気圧になっ
ても、前記整流器７の出力電圧は１００ミリボルト以上
あるので、前記フォト・ダイオードは点灯状、聾にある
。この時、＠ムピメータ１００針（慨フルスケールを越
えているが、前記フォト・ダイ万一ドが点灯しているの
で、前記水晶振動子５の周囲気体の圧力が大気圧以上で
あるということが分かる。次に、前記ＰＬＬ回路部が何
らかの原因で同期から外れ、非同期状態になっていると
、前記整ｒ、ｔ ？＋ｊ ７の出力電圧は約２ミ１１ボ
ルト程度に１氏下するので、前、尼コノパレータ１１の
出力電圧はマイナス？Ｉｍ源重圧になる。すると、前記
トランジスタ１８はＯＦＦ状態になり前記フォト・ダイ
オード１９は消灯状態になる。この時、＠記メータ１０
０針はフルスケールを越えているが、前記フォト・ダイ
オード１９が消灯しているので、前ｄごメータ１０の針
は何ら気体圧力金子していないことが分かる。この工う
に、前記フォト・ダイオード１９０点灯／消灯に工って
、本水晶式気体圧力討が実際に気体圧力を￥Ｆ測してい
るのか、計測していないのかを、容易に知ることができ
るのである。
越／−之些せ、例えは、周囲の気体圧力が２気圧になっ
ても、前記整流器７の出力電圧は１００ミリボルト以上
あるので、前記フォト・ダイオードは点灯状、聾にある
。この時、＠ムピメータ１００針（慨フルスケールを越
えているが、前記フォト・ダイ万一ドが点灯しているの
で、前記水晶振動子５の周囲気体の圧力が大気圧以上で
あるということが分かる。次に、前記ＰＬＬ回路部が何
らかの原因で同期から外れ、非同期状態になっていると
、前記整ｒ、ｔ ？＋ｊ ７の出力電圧は約２ミ１１ボ
ルト程度に１氏下するので、前、尼コノパレータ１１の
出力電圧はマイナス？Ｉｍ源重圧になる。すると、前記
トランジスタ１８はＯＦＦ状態になり前記フォト・ダイ
オード１９は消灯状態になる。この時、＠記メータ１０
０針はフルスケールを越えているが、前記フォト・ダイ
オード１９が消灯しているので、前ｄごメータ１０の針
は何ら気体圧力金子していないことが分かる。この工う
に、前記フォト・ダイオード１９０点灯／消灯に工って
、本水晶式気体圧力討が実際に気体圧力を￥Ｆ測してい
るのか、計測していないのかを、容易に知ることができ
るのである。
第５図は、本発明の他の実施例である。前記コンパレー
タ１１が前記フォト・ダイオード１９全十分に躯動する
能力があれば、前記抵抗器１５と前記フォトダイオード
１９を重度に前ｒ：［：コンパレータ１１の出力端子に
受Ｗｃすることによって、前記フォト・ダイオード１９
を点灯／消灯することができる。
タ１１が前記フォト・ダイオード１９全十分に躯動する
能力があれば、前記抵抗器１５と前記フォトダイオード
１９を重度に前ｒ：［：コンパレータ１１の出力端子に
受Ｗｃすることによって、前記フォト・ダイオード１９
を点灯／消灯することができる。
又、本発明の実施例には記１．・試しなかったが、前占
己コ／パンータ１１の代わシに、トラフジ２夕などに工
り構成され之他の底圧比１タ器ｆ！：使用しても本発明
の実施ｙＩＪと同等の効果をＭすることは明白である。
己コ／パンータ１１の代わシに、トラフジ２夕などに工
り構成され之他の底圧比１タ器ｆ！：使用しても本発明
の実施ｙＩＪと同等の効果をＭすることは明白である。
又、前記フォト・ダイオード１９の代わりに油密のラン
プを使っても同様の効果を有する。
プを使っても同様の効果を有する。
以上述べてきた工うに、本発明によれば、わずかの素子
ヲ使用することにエリ、水晶式気体圧力測足装ｄが測定
状態にあるか否かが容易に判断がでさｓ １ｆ１４１違
いのない測定をすることができる。又構成要素が少ない
ので、信頼性が高く、製造原価＊；ｆ：れ楊高めない、
などの効果を有する。
ヲ使用することにエリ、水晶式気体圧力測足装ｄが測定
状態にあるか否かが容易に判断がでさｓ １ｆ１４１違
いのない測定をすることができる。又構成要素が少ない
ので、信頼性が高く、製造原価＊；ｆ：れ楊高めない、
などの効果を有する。
第１図は水晶振動子の特性埴（共振抵抗、共振電流、共
振周彼叡）と周ｄ気体圧力との関係を示す図、タ、２図
は本発明の水晶式気体圧力計の１δ子回路ブロック図、
４６図はメータ駆＠砿圧と周囲。 気体圧力との関係を示す図、第４図は本発明の犬権例、
第５図は本発明の他の実施例である。 １・・・周波ｄ ａＪ変発振器 ２・・・増幅器 ６・
・・位相比較器 ４・・・代＄Ｐ波器 ５・・・水晶撮
動子６・・・王増１品器 ７・・・整流器 ８・・・イ
／パータ９・・・バッファ １０・・・メータ １１・
・・コノパレータ １２．１５・１５・１６・２０・・
・抵抗４１４・・・コンデンサ １７・・・ダイオード
１８・・・トランジスタ １９・・・フォト・り゛イ
オード以 上
振周彼叡）と周ｄ気体圧力との関係を示す図、タ、２図
は本発明の水晶式気体圧力計の１δ子回路ブロック図、
４６図はメータ駆＠砿圧と周囲。 気体圧力との関係を示す図、第４図は本発明の犬権例、
第５図は本発明の他の実施例である。 １・・・周波ｄ ａＪ変発振器 ２・・・増幅器 ６・
・・位相比較器 ４・・・代＄Ｐ波器 ５・・・水晶撮
動子６・・・王増１品器 ７・・・整流器 ８・・・イ
／パータ９・・・バッファ １０・・・メータ １１・
・・コノパレータ １２．１５・１５・１６・２０・・
・抵抗４１４・・・コンデンサ １７・・・ダイオード
１８・・・トランジスタ １９・・・フォト・り゛イ
オード以 上
Claims (1)
- 少なくとも、周波数可変発振器、位相比較器、低域通過
ろ波器、増幅器より成るフェーズ・ロックド・ループ回
路（ＰＬＬ回路）部と、前記周波数可変発振器に接続さ
れた水晶振動子と、前記ＰＬＬ回路部に接続された表示
変換回路部と、前記表示変換回路部に接続された表示部
とを有し、前記水晶振動子の共振抵抗値、又は共振電流
値、又は共振電圧値から、前記水晶振動子の周囲気体の
圧力を測定する水晶式気体圧力計において、前記水晶振
動子の共振電流値に対応する電圧値と、他の１つの直流
電圧値とを比較する比較器、および前記比較器の出力電
圧によつて駆動される点灯器とから構成されることを特
徴とする水晶式気体圧力計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20757784A JPS6184536A (ja) | 1984-10-03 | 1984-10-03 | 水晶式気体圧力計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20757784A JPS6184536A (ja) | 1984-10-03 | 1984-10-03 | 水晶式気体圧力計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6184536A true JPS6184536A (ja) | 1986-04-30 |
| JPH0374934B2 JPH0374934B2 (ja) | 1991-11-28 |
Family
ID=16542057
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20757784A Granted JPS6184536A (ja) | 1984-10-03 | 1984-10-03 | 水晶式気体圧力計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6184536A (ja) |
-
1984
- 1984-10-03 JP JP20757784A patent/JPS6184536A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0374934B2 (ja) | 1991-11-28 |
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