JPS6185056U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6185056U JPS6185056U JP16920484U JP16920484U JPS6185056U JP S6185056 U JPS6185056 U JP S6185056U JP 16920484 U JP16920484 U JP 16920484U JP 16920484 U JP16920484 U JP 16920484U JP S6185056 U JPS6185056 U JP S6185056U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- stage
- cylindrical body
- side entry
- tilting
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
第１図は本案の１実施例の断面図、第２図は第
１図のＡ−Ａ断面図である。 １…支持棒、２…押えネジ、３…コンタミ絞り
、４…上部対物レンズ、５…下部対物レンズ、６
…押え、７…試料、８…試料押え、９…試料ステ
ージ、１０…押え、１１…Ｏリング、１２…筒体
、１３…ガイドピン、１４…押しバネ、１５…Ｏ
リング、１７…取付ネジ、サイドエントリー試料
傾斜装置、１８…摘子、１９…ピポツト、２０…
鏡体、２１…電子線通路、２２…試料ホールダ、
２３…承、２４…溝。
１図のＡ−Ａ断面図である。 １…支持棒、２…押えネジ、３…コンタミ絞り
、４…上部対物レンズ、５…下部対物レンズ、６
…押え、７…試料、８…試料押え、９…試料ステ
ージ、１０…押え、１１…Ｏリング、１２…筒体
、１３…ガイドピン、１４…押しバネ、１５…Ｏ
リング、１７…取付ネジ、サイドエントリー試料
傾斜装置、１８…摘子、１９…ピポツト、２０…
鏡体、２１…電子線通路、２２…試料ホールダ、
２３…承、２４…溝。
Claims (1)
- 移動傾斜可能な筒体と前記筒体の先端に着脱可
能に取付けられ、試料を収納し得る傾斜面の試料
ステージとからなる試料ホールダを試料移動及び
傾斜出段を備えたサイドエントリー試料傾斜装置
に挿入して試料ステージ傾斜面の角度とサイドエ
ントリー試料傾斜装置の傾斜角の組合せによつて
広範囲な試料の傾斜選択を可能にしたことを特徴
とする電子顕微鏡の試料ホールダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16920484U JPS6185056U (ja) | 1984-11-09 | 1984-11-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16920484U JPS6185056U (ja) | 1984-11-09 | 1984-11-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6185056U true JPS6185056U (ja) | 1986-06-04 |
Family
ID=30726951
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16920484U Pending JPS6185056U (ja) | 1984-11-09 | 1984-11-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6185056U (ja) |
-
1984
- 1984-11-09 JP JP16920484U patent/JPS6185056U/ja active Pending
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