JPS6185883A - ガス循環型レ−ザ発振装置 - Google Patents
ガス循環型レ−ザ発振装置Info
- Publication number
- JPS6185883A JPS6185883A JP20699384A JP20699384A JPS6185883A JP S6185883 A JPS6185883 A JP S6185883A JP 20699384 A JP20699384 A JP 20699384A JP 20699384 A JP20699384 A JP 20699384A JP S6185883 A JPS6185883 A JP S6185883A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- lubricating oil
- conduit
- closed circuit
- timing gear
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
- H01S3/0346—Protection of windows or mirrors against deleterious effects
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はガス循環型レーザ発振装置に関するものである
。
。
従来のガス循環型レーザ発振装置は第２図に示されてい
る。同図において、円筒状ガラス管等で製作された放電
管（１ンの両端部の近傍にはガス人口（４）とガス出口
（５）とが設けられ、そのガス入口（４）とガス出口（
５）との近くには放電電極である陰極α力と陽極（６）
との間には直流電源（６）による電圧が印加されている
。放電管（１）内にはガスボンベ（９）より供給される
ＣＯｌを含むレーザ媒質ガスがルーツブロア（８） Ｋ
よりガス冷却器（７）及びガス循環経路（７）を介して
閉回路で循環されている。ルーツブロワ（８）ハコンパ
クト化され、放電管（１）内を流れるガスの流速が２０
０ ｃｍ ／ｓｅａ 程度になるようＶＣなっている。
る。同図において、円筒状ガラス管等で製作された放電
管（１ンの両端部の近傍にはガス人口（４）とガス出口
（５）とが設けられ、そのガス入口（４）とガス出口（
５）との近くには放電電極である陰極α力と陽極（６）
との間には直流電源（６）による電圧が印加されている
。放電管（１）内にはガスボンベ（９）より供給される
ＣＯｌを含むレーザ媒質ガスがルーツブロア（８） Ｋ
よりガス冷却器（７）及びガス循環経路（７）を介して
閉回路で循環されている。ルーツブロワ（８）ハコンパ
クト化され、放電管（１）内を流れるガスの流速が２０
０ ｃｍ ／ｓｅａ 程度になるようＶＣなっている。
ルーツブロワ（８）Ｈ２つのまゆ形のロータを互いに同
期して反回転させるだめのタイミングギアを有し、この
タイミングギアはタイミングギア室内に配設され、タイ
ミングギア室には潤滑油が封入されている。なお、ｒｔ
ｎＨｙ空ポンプで、運転初期に不純ガスを閉回路より排
気するものである。
期して反回転させるだめのタイミングギアを有し、この
タイミングギアはタイミングギア室内に配設され、タイ
ミングギア室には潤滑油が封入されている。なお、ｒｔ
ｎＨｙ空ポンプで、運転初期に不純ガスを閉回路より排
気するものである。
次に動作について説明する。
レーザ媒質ガスは放電管（１）内を流通する間に、陰極
αηと陽ｆｊ（ロ）との間で発生する放電により励起さ
れ、レーザ媒質ガスがＣＯ，レーザの場合、ガス分子特
有の１０．６μｍ波長の光をめすように？る。
αηと陽ｆｊ（ロ）との間で発生する放電により励起さ
れ、レーザ媒質ガスがＣＯ，レーザの場合、ガス分子特
有の１０．６μｍ波長の光をめすように？る。
この先は全反射鏡（２）と部分反射鏡（３）とで構成さ
れる光共振器により増巾され、レーザ光として取り出さ
れるようになっている。ルーツブロワ（８）の運転中、
タイミングギア室の潤滑油のミストや蒸気、あるいに微
粒子はガスの循環する閉回路中に洩れるようになってい
る。
れる光共振器により増巾され、レーザ光として取り出さ
れるようになっている。ルーツブロワ（８）の運転中、
タイミングギア室の潤滑油のミストや蒸気、あるいに微
粒子はガスの循環する閉回路中に洩れるようになってい
る。
従来のガス循環型レーザ発振動作ハ、ルーツブロワ（８
）の運転中にタイミングギア室の潤滑油のミストや蒸気
、あるいは微粒子がガスの循環する閉回路中に洩れるの
で、レーザ媒質ガスが汚染し、ガス寿命が短くなり、レ
ーザ出力が低下すると共に、微粒子等が光共振器の全反
射鏡（２）と部分反射鏡（３）とに付着し、レーザ光を
受けて、全反射＊ （２）と部分反射鏡（３）とが損傷
する等の問題点を有していた。
）の運転中にタイミングギア室の潤滑油のミストや蒸気
、あるいは微粒子がガスの循環する閉回路中に洩れるの
で、レーザ媒質ガスが汚染し、ガス寿命が短くなり、レ
ーザ出力が低下すると共に、微粒子等が光共振器の全反
射鏡（２）と部分反射鏡（３）とに付着し、レーザ光を
受けて、全反射＊ （２）と部分反射鏡（３）とが損傷
する等の問題点を有していた。
本発叫は前記のような従来のもののもつ問題点を解決し
て、潤滑油のミストや蒸気、あるいは微粒子がガスの循
環する閉回路中に洩れ出さないようにすることにより、
ガス寿命を延長し、レーザ出力の安定を図ると共に、全
反射鏡と部分反射鏡との損傷を防止できるガス循環型レ
ーザ発振装置を提供することを目的とするものである。
て、潤滑油のミストや蒸気、あるいは微粒子がガスの循
環する閉回路中に洩れ出さないようにすることにより、
ガス寿命を延長し、レーザ出力の安定を図ると共に、全
反射鏡と部分反射鏡との損傷を防止できるガス循環型レ
ーザ発振装置を提供することを目的とするものである。
本発明は、前記のような構成をしたガス循環型レーザ発
振４！置において、ルーツブロワのタイミングギアを配
設した夕づミングギア室と閉回路中のルーツブロワの吸
込口近傍と５ｃ ４ 管で接続すると共に、導管の途中
にフィルタを設けたものである。
振４！置において、ルーツブロワのタイミングギアを配
設した夕づミングギア室と閉回路中のルーツブロワの吸
込口近傍と５ｃ ４ 管で接続すると共に、導管の途中
にフィルタを設けたものである。
本発明においては、ルーツブロワの運転中はルーツブロ
ワの吸込口近傍が最も低圧になるため、タイミングギア
室の潤滑油のミストや蒸気、あるいは微粒子は導’Ｉｆ
Ｋ流れるが、＃！ｌ滑油のミストや蒸気あるいは微粒子
はフィルタにより全て捕獲されるようになろう 〔実施例〕 以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。第１
図は本発明の実施例を示しており、ルーツブロワ（８）
ハ吸込ロ翰と吐出口（６）とを有し、１ゆ形のロータＱ
ｌがシャフト（ハ）に固着され、シャフト（ハ）はカッ
プリング（２）を介してモータ（２）に連結されている
。シャフト（社）のモータ（至）と反対側にはタイミン
グギア住◆が取付けられ、タイミングギア負４はタイミ
ングギア室（２）内に配設されている。タイミングギア
室（至）内には潤滑油（ロ）が封入され、タイミングギ
アα４を冷却している。αＱはシャツｒに）全支承する
ベアリングで、ｕ７）ｒｉａ滑油（２）等がガス循環の
閉回路中に流入するのを防止する第１ルシールでるる。
ワの吸込口近傍が最も低圧になるため、タイミングギア
室の潤滑油のミストや蒸気、あるいは微粒子は導’Ｉｆ
Ｋ流れるが、＃！ｌ滑油のミストや蒸気あるいは微粒子
はフィルタにより全て捕獲されるようになろう 〔実施例〕 以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。第１
図は本発明の実施例を示しており、ルーツブロワ（８）
ハ吸込ロ翰と吐出口（６）とを有し、１ゆ形のロータＱ
ｌがシャフト（ハ）に固着され、シャフト（ハ）はカッ
プリング（２）を介してモータ（２）に連結されている
。シャフト（社）のモータ（至）と反対側にはタイミン
グギア住◆が取付けられ、タイミングギア負４はタイミ
ングギア室（２）内に配設されている。タイミングギア
室（至）内には潤滑油（ロ）が封入され、タイミングギ
アα４を冷却している。αＱはシャツｒに）全支承する
ベアリングで、ｕ７）ｒｉａ滑油（２）等がガス循環の
閉回路中に流入するのを防止する第１ルシールでるる。
（至）はタイミングギア室（２）と閉回路中のルーツブ
ロワ（８）の吸込口（１）近傍とを接続する導管である
。導管（イ）の途中Ｋｆｌ潤滑油（６）のミストや蒸気
、あるいは微粒子を除去するフィルタ（０，０１μ程度
）（ホ）が設けられている。（ハ）は電磁弁である。
ロワ（８）の吸込口（１）近傍とを接続する導管である
。導管（イ）の途中Ｋｆｌ潤滑油（６）のミストや蒸気
、あるいは微粒子を除去するフィルタ（０，０１μ程度
）（ホ）が設けられている。（ハ）は電磁弁である。
なお、図中、第２図と同符号のものは同−又は相当部分
を示しているので説明を省略する。
を示しているので説明を省略する。
次に、動作について説明する。
まず、運転初期ＶＣは電磁弁（ハ）を閉じ、真空ポンプ
α０よりガスの循環する閉回路及びタイミングギア室α
１のガスをＱ、 Ｑ ｉ Ｔｏｒｒ程度まで排気する１
次に、ポンプ元弁勾と電磁弁（ハ）とを開さ、ガスボン
ベ（９）よりガスの循環する閉回路及びタイミングギア
室（至）にレーザ媒質ガスを５０〜ｉ Ｑ Ｑ Ｔｏｒ
ｒまで封入する。
α０よりガスの循環する閉回路及びタイミングギア室α
１のガスをＱ、 Ｑ ｉ Ｔｏｒｒ程度まで排気する１
次に、ポンプ元弁勾と電磁弁（ハ）とを開さ、ガスボン
ベ（９）よりガスの循環する閉回路及びタイミングギア
室（至）にレーザ媒質ガスを５０〜ｉ Ｑ Ｑ Ｔｏｒ
ｒまで封入する。
その後、ポンプ元弁（財）と電磁弁（財）とを閉じ、モ
ータ（２）を回転し、レーザ媒質ガスを循環きせ、レー
ザ発振動作を行う。
ータ（２）を回転し、レーザ媒質ガスを循環きせ、レー
ザ発振動作を行う。
オイルシール倶ηはルーツブロワ（８）の停止中は潤滑
油のミストや蒸気あるいは微粒子の洩れは全くない。運
転中はルーツブロワの吸込口近傍が最も低圧になるため
、タイミングギア室の潤滑油のミストや蒸気、あるいは
微粒子は導管＠の方にレーザ媒質ガスと共に流れるよう
ＶＣなる。導管（ハ）に尚れた潤滑油のミストや蒸気、
ろるいは微粒子にフィルタ四により全て捕獲され、清浄
なレーザ媒質ガスのみが閉回路中を循環するようになる
。
油のミストや蒸気あるいは微粒子の洩れは全くない。運
転中はルーツブロワの吸込口近傍が最も低圧になるため
、タイミングギア室の潤滑油のミストや蒸気、あるいは
微粒子は導管＠の方にレーザ媒質ガスと共に流れるよう
ＶＣなる。導管（ハ）に尚れた潤滑油のミストや蒸気、
ろるいは微粒子にフィルタ四により全て捕獲され、清浄
なレーザ媒質ガスのみが閉回路中を循環するようになる
。
本発明は、ルーツブロワの運転中はルーツブロワの吸込
口近傍が最も低圧になるため、タイミングギア室の潤滑
油のミストや蒸気、あるいは微粒子はηｒＪ ’ｌ／
［流れ、フィルタにより全て捕獲ぜれるので、潤滑油の
ミストや蒸気あるいは微粒子が閉回路中に洩れ出さなく
なり、ガス寿命が延長され、レーザ出力の安定が図れる
と共に、全反射鏡と部分反射鏡との損傷が防止できる等
の効果を有している。
口近傍が最も低圧になるため、タイミングギア室の潤滑
油のミストや蒸気、あるいは微粒子はηｒＪ ’ｌ／
［流れ、フィルタにより全て捕獲ぜれるので、潤滑油の
ミストや蒸気あるいは微粒子が閉回路中に洩れ出さなく
なり、ガス寿命が延長され、レーザ出力の安定が図れる
と共に、全反射鏡と部分反射鏡との損傷が防止できる等
の効果を有している。
第１図は本発明の実施例を示す説明図、第２図は従来の
ガス循環型レーザ発振装置を示す説明図である。 １・・・放電管、８・・・ルーツブロワ、１３・・・タ
イミングギア室、１４・・・タイミングギア、２ろ・・
・フィルタ、２６・・・導管。 図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人 弁理士 木 村 三 朗 第 １ 図
ガス循環型レーザ発振装置を示す説明図である。 １・・・放電管、８・・・ルーツブロワ、１３・・・タ
イミングギア室、１４・・・タイミングギア、２ろ・・
・フィルタ、２６・・・導管。 図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人 弁理士 木 村 三 朗 第 １ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ルーツブロワによりレーザ媒質ガスを閉回路で放電管に
循環するガス循環型レーザ発振装置において、 前記ルーツブロワのタイミングギアを配設したタイミン
グギア室と前記閉回路中のルーツブロワの吸込口近傍と
を導管で接続すると共に、導管の途中にフィルタを設け
たことを特徴とするガス循環型レーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20699384A JPS6185883A (ja) | 1984-10-04 | 1984-10-04 | ガス循環型レ−ザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20699384A JPS6185883A (ja) | 1984-10-04 | 1984-10-04 | ガス循環型レ−ザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6185883A true JPS6185883A (ja) | 1986-05-01 |
Family
ID=16532406
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20699384A Pending JPS6185883A (ja) | 1984-10-04 | 1984-10-04 | ガス循環型レ−ザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6185883A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4935937A (en) * | 1987-03-19 | 1990-06-19 | Fanuc Ltd. | Abnormality detection device for laser oscillator piping system |
| CN111934167A (zh) * | 2020-08-19 | 2020-11-13 | 京东方科技集团股份有限公司 | 准分子激光退火系统 |
-
1984
- 1984-10-04 JP JP20699384A patent/JPS6185883A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4935937A (en) * | 1987-03-19 | 1990-06-19 | Fanuc Ltd. | Abnormality detection device for laser oscillator piping system |
| CN111934167A (zh) * | 2020-08-19 | 2020-11-13 | 京东方科技集团股份有限公司 | 准分子激光退火系统 |
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