JPS6186604A

JPS6186604A - 光学的位置読取り装置

Info

Publication number: JPS6186604A
Application number: JP60213625A
Authority: JP
Inventors: マイクル　クロラツク; マイクル　アール．ビシエ
Original assignee: FUREKUSHIBURU Manufacturing SYST Inc
Current assignee: FUREKUSHIBURU Manufacturing SYST Inc
Priority date: 1984-09-27
Filing date: 1985-09-26
Publication date: 1986-05-02
Also published as: US4615615A; DE3569066D1; EP0177835B1; EP0177835A1

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】イ、産業上の利用分野本発明は一般的には位置を読取るための装置に関し、特
に取り付は固定された構体に関づる移動構体の位置と近
接角とを解明するための光学システムに関する。

ロ、先行技術の説明封じ込められた環境内の点から点へ自動的に輸送するこ
とは多数の工業上の設定において望ましい。これ等の中
の最も顕署なものはチップ製造プラントの清浄室内の殿
械からＩ械へのシリコンウエファースの輸送を含んでい
る。チップの引き続いての処理、たとえば、チップのカ
プセル封入、ちまた清浄室内で且つ（あるいは）半自動
状態の下で行われるであろう。商業上、工業上あるいは
研究条件の下における生物学的に危険なあるいは放）１
性の材料の輸送もまた酋通である。これ等の材料が発見
されまた利用される環境は代表的には制限された状態の
下に維持される単一の大部屋、たとえば清浄室あるいは
離隔室を構成づる。人間による繰作は安全、清浄、積極
的取り汲いおよび人件費の理由で禁忌される。

これ等の環境は物体を送り込まれまた送り出されねばな
らない多数の機械を室内の固定位置に有することができ
る。チップ製造プロセスを例とすれば、ウエファースを
詰込まれたカセットを数台の互いに異なる処理機へ送り
込み且つ送り出すことがしばしば必要である。製造され
ているチップの型式次第で、用いられる機械の台数と順
序とが変わるであろう。かくして固定された輸送システ
ム、たとえば、連続したベルトシステムは実施不能であ
る。さらにその上に固定されたシステムは作業場所を不
当に込み合わせ、この設備への接近を困難にするであろ
う。

したがって、製造用清浄室内での好ましい且つのウエフ
ァース輸送七−ドはウエファースを詰込まれたカセット
を必要にＧＵで機械の相互間にて単独に移送することの
できる移動性の輸送ユニットである。この種のユニット
は製造区域内のいかなる機会にし供給することを可能な
らしめるように自刃で推進され且つコンピュータで導か
れるであろう。ロボット腕が上記機械および輸送ユニッ
トへウエファースカセットを送り込み且つ送り出づ手段
を提供するであろう。この秤のカセットを移送するのに
必要とされる操作が高度の位置制御を必要とするので、
主コンピユータとは独立しており且つ）幾緘とのこの移
動ユニットの「ドツキング」を導くことのできる位置読
取り装置をこの移動輸送ユニットに提供することは有利
である。

ハ１本弁明の要約したがって、固定された物体に関する移動構体の位置と
近接角とを精密に解明するための位置読取りＩＦＦを提
供することが本発明の一目的である。

コンパクトで軽量である位置読取り装置を提供すること
が本発明のさらに他の目的である。

事実上任意の環境で作動することのできる位置読取りＷ
Ａ同を提供することが本発明のさらに伯の目的である。

移動構体と固定された構体との間に機械的な連結あるい
は物理的な接触を必要としない位置読取り装置を提供す
ることが本発明のさらに他の目的である。

略言すれば、本発明の好ましい一実施例は完備した移動
輸送ユニット上に装架するための光学的位置読取り装置
から成っている。この装置は水平方向に配向されたレー
ザー光源と、このビームを集束し且つ導くための光学器
械椛成部分とを含んでいる。このビームｔよ４５度をな
して装架された固定された鏡上に衝突して、同様に４５
度をなして前記固定された鏡とｊｌＬ行にｇｉ架されて
いるビーム分割器に向（プ上向きに導かれる。このビー
ム分割器はビームを互いに垂直をなす２つの成分に分割
しまた回転ハウジング内に装架されている。上記回転ハ
ウジングは円弧のほぼ２４０度だけ回転されるようにな
っている。

前記の固定鏡からの光は前記ビーム分割器により一部を
透過されまた一部を前記回転ハウジングに設けられてい
る窓を通して外部へ９０度の角度で反射される。上記回
転ハウジングは光学的符号器に連結されていて、このハ
ウジングの角位置が精密に確かめられるようにされてい
る。前記回転ハウジングはまた前記分割器の背後に反射
されたビーム成分に垂直をなすように装架された分割検
出器をも含んでいる。前記移動ユニットが「結合」しＣ
いご）前記固定された物体は前記ビームと同じ高さであ
るよ〕に取付けられた反射構体を含んでいる。その反射
表面し３つの反射表面、すなわち中央表面と、この中央
表面に手直をなし且つ互いに平行をなした２つの端縁表
面、と１５・ら成っている。

シー＋１−光源からの光は前記の固定された鏡から前記
ビーム分割器を通り扱けるがこのビーム分割器において
上記ビームの一部分が通され且残りの光がＬ記回転ハウ
ジングから反射表面に向は外方に導かれる。前記反則表
面上に衝突した光は同じ角度で反射されるであろう。大
部分の環境において、光はその光源から反射されるが３
つの例にａ３いて、光は反射で直接光源へ戻される。こ
れ等は反９４表面が光源に垂直であり、また光源が反射
表面の交さにより形成される隅部に衝突する状況である
。各々の場合に光はビーム分割器本通して分割検出器へ
反射で戻され、上記分割検出器はマイクロプロセッサに
信号する。各々のこのような個所において、前記回転符
号器がビームの精確な角位置を与えるサンプルを抽出さ
れる。これ等の測定値から前記移動ユニットの位置と近
接角とを生ずる三角ｘｍがなされる。

位置と近接角との精密な測定をなすことができることが
本発明の一利点である。

装置がコンパクトであり且つ軽量であることが本発明の
他の利点である。

移動ユニットと固定ユニットとの間に継手を必要としな
いことが本発明の他の利点である。

固定ユニットが光学的反射表面を容易に取り付けられる
ことが本発明の他の利点である。

装置が各種の環境で作動することが本発明の他の利点で
ある。

本発明の上記ならびにその他の目的および利点は各種の
図面の図に例示されている好ましい実施例についての以
下の詳ｉな説明を読んだ後には酋通の熟練度の当業者に
は疑いもなく明白となるであろう。

第１図には、全体を符号１０で示されている、本発明の
光学的位置決め装置が例示されている。

装置１０は移動構体１１と固定された光学的構体１２と
から成っている。移＃ｌＪ構体１１は全体的に水平な矩
形状の装架板１４を含み、この装架板１４に各種の成分
が固定されるようにされている。

次いで、この数１４は移動輸送ユニット１５の１１部に
位置決めされることができる。またその代りに諸成分が
移動ユニット１５に直接取付けられることができる。

レーザー光源１６が１対の締具１８により扱１４に固定
的に取付けられている。振動または衝撃がレーザー１６
の整列不良を生ぜしめないようにレーザー１６かきわめ
て剛固に取付けられていることが重要である。各様のレ
ーザー光源が用いられることができるが装置１０におい
てはレーザー１６はメルスーグリオット社で製造されて
いるヘリウム−ネオンレーザ−である。レーザー１６に
より生成された光のビーム２ｏはビーム２ｏの大きさと
強さとをそれぞれ減するビームレデュウサ２２とビーム
アテニュエータ２４とに導き通されることができる。利
用されているレー＋ｆ−１６の型式次第で、レデュウサ
２２とアテニュエータ２４とは除かれてよい。次にビー
ム２０は、ベース１４に取付けられている固定された鏡
２６へ導かれるがこの固定された鏡はビーム２０と同一
線状にある中心を有するように位置決めされ且つビーム
２０を上向きに導くように４５度の角度をなして取付け
られている。この固定された鏡２６は各側に配列された
１対の垂直ブラケット２８により支持されている。鏡２
６は１対のピン３０によりブラケット２８′上に枢動自
在に装架されているが゛上記ピン３０は鏡２６の対向両
側面から延びて各々のブラケット２８内の細長い穴３２
内に戎っている。腕３４は鏡２６に固定され且つ鏡２６
から水平方向後方に延びている。腕３４の遠方端部に設
けられている開口３８を貫通してねじ３６が挿入される
。ねり３６はねし山を切られた基底部４０にねじ込めら
れ、またレバー３４と基底部４０との間でねじ３６の周
りに位置決めされている。ねじ３６を回転して、腕３４
をピン３０の周りにＩ１８肋させることｒ、１１２６の
角度が微調節される。装置１１においては、基底部４０
とブラケット２８は単一の単片体から成っているがこれ
等の成分は別個に製造されて各々が板１４または移動ユ
ニット１５に取付けられることができる。

固定された鏡２６からのビーム２０は、同様に垂直線に
対し４５度の角度をなし且つ中心をビーム２０の垂直成
分と同軸をなして位置決めされているビーム分割器５０
へ上向きに導かれる。

ビーム分割器５０は中空の円筒状の回転自在なハウジン
グ５２内に装架され、また上記回転自在４１ハウジング
５２は！ｆ１２６の直ぐ上方に位置決めされ且つその回
転中心軸線Ａをビーム２０の垂直成分と同軸になしてい
る。ハウジング５２は１対の支持リング５４および５６
の周りに装架され、また上記リングは（）形状の直立フ
レーム５８により支持されている。

フレーム５８（よ移０Ｊ」ニット１５の中心長手軸線Ｂ
に垂直をなして支持板１４に装架され且つ第２図に同様
に図示されているように、レーザー１６と鏡２６どの中
間に位置決めされている。複数の軸受６ｏが円筒状のハ
ウジング５２と支持リング５４および５６との間に介在
されて相互間の摩擦係合を減するようにされている。

支持リング５４の頂部に位置決めされた電動伐６２によ
り往復回転運動がハウジング５２に供給される。歯車６
４が電８機６２に取付けられ且つハウジング５２に取付
けられている環状の歯車６６に係合している。同様に増
分回転符号器７０が環状歯中６６と係合されている。符
号器７０は電動機６２と同様に支持リング５４の頂部に
装架され且つ環状歯中６６に係合する歯巾７１を含んで
いる。符号器７０は光学型の符号器であるが他の型式の
符号器が同様に用いられることができる。

符号器７０は角位置のデータをマイクロプロセッサ７２
に供給する。装置１０においてはデータを解読し且つ処
理するのにマイクロプロセッサ７２が用いられているが
より簡＋１ｉな専用の回路構成要索または中央制御ユニ
ットを含む、この技術の分野で知られている任意の装置
が用いられてよいことは？土日されてよい。さらにその
上に、データを解読し１且つ処理づるのに同一の装置が
用いられることは必り゛しし必要ではなく別個な機能の
ため複合成分が使用されることができる。

電動機６２はハウジング５２に、かくしてその内部に装
架されたビーム分割器５０に回転運動を！与える。ビー
ム分割３５０は回転軸線への上方に中心を位置決めされ
るように装架され、且つ１対の側方ブラケット７３に枢
動自在に取付けられている。ビーム分割器５０の下方端
縁は腕７４を含んでいるがこの腕は前記ビーム分割器に
対し４５度の角度をなし且つハウジング５２の底部と平
行をなして外方に突出している。腕７４に設けられてい
る開口を通してねじ７６が挿入され且つハウジング５２
の底部に設けられている口腔７８にねじ込められる。腕
７４と口腔７８との間でねじ７６の周りに圧縮ばね８０
が位置決めされ且つ張力をねじ７６に与えている。ねじ
７６はビーム分割器５０の角度を調節するようにねじ３
６に似た作用をする。

円形の開口８２が中心の回転軸線Ａと同軸をな１ように
ハウジング５２の底部に設けられている。

この開口８２はビーム２０を固定された鎮２６から分割
器５ｏへ導く通路を形成する。窓８４がビーム分割器５
０の前方にて回転軸線へに平行となるようにハウジング
５２の垂直壁に位置決めされている。レーザー１６から
の光は鏡２６とビーム分割器５０とにより窓８４を通し
て固定された光学構体１２へ導かれる。以下に述べられ
る３つの例において、固定された光学構体１２から戻っ
た光は同じ通路を通って、窓８４を通しビーム分割器５
０へ達する。さらにまたハウジング５２は戻り光線ビー
ム２ｏと同一直線上にある中央焦点を有するようにビー
ム分割器５０の背後に装架された２軸分割検出器９０（
同様に第３図に示されている）を含んでいる。分割検出
器９０は感光装置であって、隙間９２に隣接した１対の
電気的に絶縁された「Ｄ形体」９１ａおよび９１ｂから
成っている。各々のＤ形体９１ａおよび９１ｂは表面に
衝突した光の伯に比例して変化する電流を生成づること
が可能である。分割検出器９０は、隙間９２が窓８４に
向かい合い且つ精密に整列されて、隙間９２がビーム分
割器５０を離れた光のビーム２０と同一直線上にあるよ
うに、位置決めされている。第３図に実線の円で示され
ているように、戻りビーム２０が検出器９ｏ上にて精密
に中心に位置決めされた場合に、各々のＤ形体９１ａお
よび９１ｂがマイクロプロセッサ７２により検出される
互いに相等しい出力を生成する。光のビーム２０が第３
図の破線の円で示されているようにわずかに中心を外し
て反射で検出器９０へ戻された場合、ｎいに相等しから
ざる信号がマイクロプロセッサ７２に送られるであろう
。かくして、分割検出器９０は、反射光の角度が精密に
測定されることを、確実にする。ある適用に関しては、
第３Ａ図に例示され且つ個々の検出器分割部分９１ａ、
９１ｂ、９１ｃおよび９１ｄを有する４軸分割検出器９
０が使用されることができる。この検出器は反射ビーム
２０の水平位向のみでなく垂直位置を検出するのに用い
られる。さもな（ブれば、精度を余り必要としない応用
例においてはこの分割検出器は普通の光検出器と、ビー
ムの大きさを縮小するためのピンホールマスクとから成
ってもよい。

レーザー１６から生じた光の一部分はビーム分割器５ｏ
により固定された光学構体に向けて導かれないでビーム
分割器を通し且つハウジング５２の頂部に設けられてい
る開口９６を通して透過される。所望ならば、反則装置
（図示されていない）または吸収装置（図示されていな
い）が、透過されたビーム２０が検出器９０で妨げられ
ないことを確実にするため、透過されたビーム２０の通
路内に配置されてもよい。

第１図、第２図および第４図に例示されている第１の表
面１００が移動構体１１の円筒状のハウジング５２の回
転軸線Ａにほぼ平行であるように位置決めされている。

第２の表面１０２および第３の表面１０４が第１の表面
１００の各々の側端縁に取り付けられている。表面１０
２および１０４の各々は表面１００と精確な９０度の角
度を形成する。構体１２は移動構体１１の開口８４の高
さにほぼ等しい高さで設備の固定されに部ハに取イ１け
られている。

装置１０の作動は次のとおりである。レーザーからの光
のビーム２０は固定された！１２６により回転ハウジン
グ５２内のビーム分？、１１器５０へ反射される。ビー
ム２０の−・部分はビーム分割器５０により透過され且
つ消散される。ビーム２０の残りの部分はビーム分割器
５０により固定された光学構体１２に向けて反射される
。同時に、ハウジング５２がほぼ２４０麿の円弧をなし
て動かされる。第４図に例示されているように、ビーム
２０が反射で直接光源に戻される３つの点が構体１２［
に存在する。ビーム２０が表面１ｏＯど垂直である場合
、およびビーム２０が表面１００どの表面１０２および
１０４の交線に導かれた場合に、符号Ｃ，Ｄお上びＥで
示されているこれ等の点が現われる。各々の位置におい
て、ビーム２ｏは直接反射によりビーム分割器５０を通
し且つ分割検出器９０内へ戻される。このビームが正確
に中心に位置決めされた場合にマイクロプロセッサ７２
に信号する。それと同時に、回転符号器７０が連続した
角位置データをマイクロプロセッサ７２に提供している
。代表的には符号器７０は回転度の１００分の１ごとに
且つのパルスを供給し、したがってきわめて高精度の測
定値が得られるであろう。

光線ＤＡにより形成される光線は常に表面１００に対し
直角をなずであろう。角度α１およびα２が点りからそ
れぞれ点ＣおよびＥまでの角距離として符号器７０によ
り容易に測定される。

反射器１００の寸法は知られており、したがって以下の
計算で表面１００からの移動ユニット１５の距離が得ら
れる。

Ｙ＝ｄ　　ｔａｎα２Ｚ＝ｄ　　ｔａｎα１Ｘ＝ｄ　（ｔａｎ　ａ２＋ｔａｎ　ａｌ）Ｙ＝ｄ　　ｔ
ａｎ　ａ２：およびＺ＝ｄ　　ｔａｎα１表面１００に関する移動ユニト１５の中心軸線Ｂの角度
θは符号器７０を軸１１１Ｂに対ししるしをつけること
により、また上記しるしから点りまでの角度を測定する
ことにより判る。

レーザー光源を利用した装置１０が以上で述べられたが
その他の光源と光学装置の組合わせが用いられることが
できる。主な必要条件は光源が満足な反射信号を検出器
に提供するに足る強さを有していることと、検出器上の
反射された「スポット」が検出器自身よりも小さいよう
に光が合理的に規準されていることとである。さらにそ
の上に本文で用いられている「光」なる述語は電磁スペ
クトルの人間の目に見える部分に制限されないで、付加
的な周波数、特に近紫外線バンドおよび近赤外線バンド
を含むことができる。

代り、！なる本発明の他の実施例が第５図に概略的に例
示され且つ全体を符号２００で示されている。実施例１
０に共通した、実施例２００の要素はプライム符号付き
の同じ符号を有している。装置２００は３点光源２０４
から成る固定された光学構体２０２を含ｌυでいる。３
点光源２０４は固定された設備上に装架され且つレーザ
ー１６Ｊ５よび固定された光学構体１２ととって代って
いる。

光源２０４は固定された設備の周りに別々に離隔され、
且つ所望に応じて等間隔をあるいは不等間隔を離隔され
ることができる。各々の光＋１ｉｉｉ２０４は発光タイ
オード（ＬＥＤ）と、このＬＥＤを４３あい且つ点光源
を生成するためのピンホールとから成っている。さらに
装置２０２は第６図に例示されている移動構体２０６を
含んでいる。構体２０６は本質的には分割検出器９０’
を内側の壁に取付けられ且つ分割検出器９０’に対向し
た壁に位置決めされた窓８４′を有する回転ハウジング
５２′である。電動１１６２’がハウジング５２′を回
転し且つ回転符号器７０′がハウジング５２′の角位置
をマイクロプロセッサ７２′に提供する。ハウジング５
２′は光を検出器９０′上に焦点を合わせるため入射光
ビーム２０の通路内に位置決めされた集光光学要素２０
８を含むことができる。装置２００の作動は装置１０の
ものに類似している。

固定された光学構体２０２への移動ユニット１５′の距
ｌＮ１ｄ’の計算は、光源２０４がこの光源の線に垂直
をなすビームを必ずしも提供しないことにより実施例１
０のものよりもわずかに複雑である。τ、Ｔ弓ｃ’、［
）’およびＥ′で示されている３つのｎいに等間隔を離
隔された光源の各々は距離ｐだけないに分離されている
。分離器９０′により走査された場合に、３つの角度が
測定される。これ等の角度は移動ユニット１５′上のイ
ンデックス点く通常中心軸線Ｂ’）から点Ｅ′にお１ノ
る光源２０４までの測度でＣ３である。角度α２μ点Ｅ
′お・よびＤ′からの角度の測定でありまた角度α１は
点Ｄ′からＣ′への速度である。

三角形の内角の和、すなわち、（α１＋α２＋α４＋α
４）が１８０度であることは知られている。したがって
α４＝１８０−Ｃ１−Ｃ２−Ｃ５正弦の法則から、 °；５ｉｎ（１８０−ｘ）−ｓｉｎ（ｘ）ｓｉｎ（八”
Ｂ）＝　Ｓｉｎ八−Ｃ０５Ｂ−１−Ｃ０３Ａ　−５ｉｎ
Ｐ）ｓｉｎ　　ｄ　　’ ｃｏｓ、　、　　＝　ｔａｎ　ｄ　’ 故に方程式■は次のようになる・・・■ したがって、Ｃ５は方程式■から得られまたＣ４は（α
　＋α　＋α５）を１８０度から減することて１ｑられ
る。

構体２０２に関する構体２０６の位置ｄ’、ｙ’は下記
の式から得られる。

２Ｌ−ｄ　　’　　ｔａｎ（９０−Ｃ４）＋、ｄ　　’
　　ｊａｎ（９０−Ｃ５）またｙ　’　＝ｄ　’　ｘｔ
ａｎ　　（９０−ｃｘ４）最後に、移動ユニット１５′
の配向角はθ′−α３　ト９０−α５本発明ｌ）＼現在好ましい実施例に関して述べら桟でい
るがこの開示が制限として解釈されるべきでないことは
Ｉ！ｌ解されるべきである。各種の代りと４する１段お
よび変更が以上の開示を読んだ後の当業名には疑いらな
く明らかとなるであろう。したがって、添付の特Ｈｒ（
請求の範囲は本発明の真の精神と範囲内に入る全ての代
りの手段Ｊ３よび変更を包含していると解釈されるべき
である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明を組込んだ５Ａ置の一部断面による側面
図；第２図は２−２線に沿い矢印方向に見た頂部平面図
；第３図は分割検出器の詳細図：第３Ａ図は代りとなる
他の分割検出器の詳細図；第１，４図は反射表面からの
光の通路の幾何学図形；第５図は本発明の代りとなる他
の実施例の装置の、一部断面による、側面図；第６図は
第５図の代りと／さる他の実施例の固定された構体と九
の通路どの側面図である。１０・・・本発明の装置：１１・・・移す」構体；１２
・・・固定された光学構体：１４・・・装架板；１５・
・・移動輸送ユニット；１６・・・レーザー光源；１８
・・・締具；２０・・・光のビーム；２２・・・ビーム
レデュウサ；２４・・・ビームアテニュエータ：２６・
・・固定された鏡；２８・・・垂直ブラケット；３０・
・・ピン；３２・・・みぞ孔；３４・・・腕；３６・・
・ねじ：３８・・・開口；４０・・・ねじ山を切られた
基底部；４２・・・圧縮ばね；５０・・・ビーム分割器
；５２・・・回転自在なハウジング：５４．５６・・・
支持リング；５８・・・フレーム：６２・・・電８磯；
６４・・・歯車：６６・・・環状歯車；７０・・・符号
器；７１・・・歯車；７２・・・マイクロブＤセツザ；
７３・・・側部ブラケット；７４・・・腕；７６・・・
ねじニア８・・・口腔；８０・・・圧縮ばね；８２・・
・円形開口；８４・・・窓：９０・・・２軸分割検出器
：９１ａ、９１ｂ・・・電気的に絶縁されたＤ形体；９
２・・・隙間；１００・・・第１の表面；１０２・・・
第２の表面：１０４・・・第３の表面；２００・・・装
置；２０２・・・固定された光学構体；２０４・・・３
点光源；２０６・・・移動構体；２０８・・・集光光学
要素。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）光学的位置読取り装置において、２つの位置の相
互間にて往復動するようにされた移動ユニットの周りに
装架するための移動構体と；前記移動ユニットが往復動
する作業場所の周りに装架するための固定された構体と
；少なくとも３つの互いに別個な、離隔された光のビー
ムを前記移動構体に提供するための光源装置と；前記移
動構体の中心軸線に関する前記光のビームの各々の角位
置を検出するための、前記移動構体上に装架された光検
出装置と；前記移動構体の中心軸線に関する円弧の周り
に前記光検出装置をさつと動かすため前記光検出装置に
機械的に連結された回転装置で、前記移動構体の中心軸
線に関する前記光検出装置の角位置を読取るための符号
器を連結されて含んでいる回転装置と；前記光検出装置
と前記符号器とにこれ等からのデータを受領するための
電気的に連結され、上記データを解読するようにされた
電子回路装置とを含んで成る装置。
（２）特許請求の範囲第１項記載の装置において、前記
光源装置が前記移動構体の周りに装架され且つ単一のレ
ーザー光源と、前記の固定された構体にビームを導くた
めの光学器械構成部分とを含み、前記光学器械構成部分
が前記回転装置の中心回転軸線と同軸をなすように前記
移動構体装置の周りに装架され；また前記の固定された
構体が第１と、第２と、第３の反射性表面を含み、前記
第１の反射性表面は前記回転装置の回転軸線にほぼ、平
行をなし且つ前記光学器械の構成部分および光検出装置
とほぼ同じ高さをなして作業場所の周りに位置決めされ
、前記第２と前記第３の反射性表面は１対の隅部反射器
を形成するように前記第１の反射性表面にその各々の側
端縁で且つこれに垂直をなして取付けられて成る装置。
（３）特許請求の範囲第１項記載の装置において、前記
光源装置が前記の固定された構体の周りに装架され且つ
３つの互いに分離離隔された局部光源を含んで成る装置
。
（４）特許請求の範囲第１項記載の装置において、前記
電子回路装置がマイクロプロセッサを含んで成る装置。
（５）光学的位置読取り装置において、特定の環境内に
ある複数の作業場所の相互間に往復動するようにされた
移動輸送ユニットの周りに装架するための支持骨組を含
んだ移動構体と；前記移動構体から遠方に位置決めされ
且つ作業場所の周りに装架するための固定された光学的
反射器構体と；前記移動構体の前記支持骨組に取付けら
れ且つ細く、強い光のビームを生成するようにされた光
源装置と；前記光のビームを前記の固定された光学的反
射器へ導くための、前記支持骨組に取付けられた光学的
連結装置で、前記移動構体の中心軸線に関する円弧内で
前記ビームをさつと動かすための回転装置と、前記回転
装置の角位置を読取るための、前記回転装置に連結され
た符号器と、前記の固定された光学的反射器により反射
された光のビームを検出するための、前記回転装置に連
結された光検出装置と；データを受領するため符号器装
置と光検出装置とに電気的に連結されて、前記データを
解読するようにされた電子的回路装置とを含んで成る装
置。
（６）特許請求の範囲第５項記載の装置において、前記
光源装置がレーザーを含んで成る装置。
（７）特許請求の範囲第６項記載の装置において、前記
光学的連続装置が光のビームを前記レーザーからビーム
分割器へ導くための固定された鏡を含み、この固定され
た鏡とビーム分割器との各々は垂直線に対し４５度の角
度をなして配列され、上記ビーム分割器はビームの第１
の部分を前記固定された光学構体に向けて導き、また上
記ビームの残部分をビームの第１の部分に垂直に導くよ
うにされ；また前記回転装置が前記光源装置に対し遠方
に回転自在に装架されたハウジングを含み、上記ハウジ
ングが少なくとも１つの垂直壁を有し、前記壁が１つの
開口を含み、この開口を前記ビーム分割器からの前記ビ
ームが通り抜けるようにされ前記ハウジングが回転運動
を供給するように連結された駆動モーターを含んで成る
装置。
（８）特許請求の範囲第７項記載の装置において、前記
ビーム分割装置が部分的に反射性の鏡を含んで成る装置
。
（９）光学的位置読取り装置において、特定の環境内に
ある複数の作業場所の相互間で往復動するようにされた
移動輸送ユニットの周りに装架するための支持骨組を含
んだ移動構体と；細い凝集性の光のビームを生成するた
めのレーザー光源であつて、前記移動構体の中心軸線と
同一線形順序に並ぶように前記支持骨組の周りに水平に
配向されたレーザー光源と；前記骨組に固定され且つ前
記レーザーから発出した光のビームに関して中心に位置
されて取付け固定された鏡であつて、上記ビームを垂直
上方に導くように４５度の角度をなして位置決めされ、
また上記ビームを精密に整列するための調節装置を形成
されて含んで成る鏡と；上記骨組上に回転自在に装架さ
れ且つその中心の回転軸線を前記固定された鏡の直ぐ上
方に位置決めされた回転ハウジングであつて、このハウ
ジングが少なくとも１８０度の円弧内を前後に回転され
るようにこのハウジングに連結され且つ前記支持骨組上
に装架されたモーターと歯車列により往復動するように
回転自在に駆動され、また前記支持骨組の周りに装架さ
れ、前記回転ハウジングに連結されて前記移動構体の中
心軸線に関する前記ハウジングの角位置を読取り且つ信
号する回転符号器を前記ハウジングが含み、前記ハウジ
ングはさらに中心開口を設けられた円板形状の頂部と、
中心開口を設けられた円板形状の底部と、前記ハウジン
グの前記回転軸線に垂直をなした光の透過を許すための
側方の窓とをさらに含んで成る回転ハウジングと；前記
ハウジングの回転軸線の上方に中心を位置決めされるよ
うに前記ハウジング内に装架された部分的反射性の鏡を
含んだビーム分割器にあつて、垂直線から４５度の角度
をなし前記窓に直接向けて装架され、それにより前記の
取付け固定された鏡からの光が前記ビーム分割器上に衝
突しその一部を前記窓を通して外方に水平方向に導かれ
、上記光の残部分がこのビーム分割器およびその頂部中
心開口を通して垂直方向に透過されるようにされ、この
ビーム分割器がその精密な角度の調節のための調節装置
をさらに形成されて含んで成るビーム分割器と；前記回
転ハウジングの垂直の壁の周りにて前記ハウジング内に
装架された分割検出器であつて、前記窓の側方軸線に平
行に且つ前記ビーム分割器の背後に位置決めされ且つ前
記窓を通して進入した光のビームが前記ビーム分割器を
通り抜けて前記分割検出器に衝突するように前記ビーム
分割器の中心と同一線形順序に並んだ中心点を有し、光
のビームが精密に中心に位置決めされていることとを表
示した信号を生成するようにされた分割検出器と；前記
光源から発出した、３つの反射された光のビームの前記
移動構体の中心軸線に関する角度を測定することで前記
移動構体の近接角と位置とを計算するため前記回転符号
器と分割検出器とに電気的に連結されたマイクロプロセ
ッサと；前記移動構体から遠方に且つこの構体に隣接し
ないように位置決めされた、固定された光学構体であつ
て、この固定された光学構体が第１の反射性表面と、各
々が上記第１の反射性表面の側端縁にこれに垂直をなし
て取り付けられた、第２と第３の反射性表面とを含み、
前記固定された光学構体が前記ハウジングの前記回転軸
線にほぼ平行をなし且つ前記回転構体の前記開口と高さ
を相等しくされ、それにより前記移動構体の窓を源とす
る光が前記光学構体上に衝突し且つもとの前記移動構体
の分割検出器へ反射されるようにされた固定された光学
構体とを含んで成る装置。
（１０）特許請求の範囲第９項記載の装置において、前
記分割検出器が、互いに同一平面上にあつて互いに密接
して位置決めされてはいるが互いに接触しない、感光性
の材料から成る第１の半体と第２の半体とから成り、ま
た光のビームが両方の半体に互いに相等しく打当つた場
合に互いに相等しい電流が生成されるように、各々の半
体がその半体に打当る光の量に比例して変化する電流を
生成するようにされて成る装置。