JPS6190101A - 偏光分離器 - Google Patents
偏光分離器Info
- Publication number
- JPS6190101A JPS6190101A JP21170984A JP21170984A JPS6190101A JP S6190101 A JPS6190101 A JP S6190101A JP 21170984 A JP21170984 A JP 21170984A JP 21170984 A JP21170984 A JP 21170984A JP S6190101 A JPS6190101 A JP S6190101A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- glass substrate
- total reflection
- separation
- dielectric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は平行入射光線の入射面に垂直な偏向成５）（Ｓ
波）を反射させ入射面に平行な成分（Ｐ波）を反射なく
透過させる偏光分離器の改良に関す。
波）を反射させ入射面に平行な成分（Ｐ波）を反射なく
透過させる偏光分離器の改良に関す。
偏光分離器は片面に偏光分離膜を他の片面に全反射膜を
設けたガラス基板を作り、この基板を２個のプリズムの
間に挾み接着する方法で、ｉａされている。
設けたガラス基板を作り、この基板を２個のプリズムの
間に挾み接着する方法で、ｉａされている。
この際ガラス基板上に形成された膜は完成した偏向分離
器の特性を支配するから、製造の途中及び完成後におい
ても安定かつ完全なものであることが必要である。
器の特性を支配するから、製造の途中及び完成後におい
ても安定かつ完全なものであることが必要である。
従来の偏光′ｊ＋離器の一例の副面図を第２図に示す。
ｌはガラス基板で、その片面に屈折率の異なる２つの誘
電体Ｓｉｎ、とＴｉｅ、の交互積層膜をコーティングに
て形成せしめた偏向分離膜２が設けられている。また他
の片面には同様のＭ、を体からなる全反射ｇ３が設けら
れている。このガラス基板１は、２個のプリズム４と５
の間に挾持され接着剤にて２個のプリズムと共に一体化
されている。
電体Ｓｉｎ、とＴｉｅ、の交互積層膜をコーティングに
て形成せしめた偏向分離膜２が設けられている。また他
の片面には同様のＭ、を体からなる全反射ｇ３が設けら
れている。このガラス基板１は、２個のプリズム４と５
の間に挾持され接着剤にて２個のプリズムと共に一体化
されている。
入射光の偏向分離の作用は以下の通りである。
左側からの平行入射光線の垂直偏向成分（Ｓｏ）は偏光
分離膜２にて反射され全反射膜３を通過してほとんど全
部上方へ反射される。一方平行成分（ＰＯ）は偏向分離
膜２を透過して右側方向へ分離方向へ多少漏洩する。
分離膜２にて反射され全反射膜３を通過してほとんど全
部上方へ反射される。一方平行成分（ＰＯ）は偏向分離
膜２を透過して右側方向へ分離方向へ多少漏洩する。
Ｓ波Ｐ波の分離度は波長に関連があり、入射光の波長が
長波長になるに従って良好な分急度を得るために全反射
膜の膜厚を大きくしなくてはならない。
長波長になるに従って良好な分急度を得るために全反射
膜の膜厚を大きくしなくてはならない。
１μ隅以上の長ｅ、長につき分離度３ＱｄＢ以上を得る
には６μ属以上の膜厚が必要となっている。
には６μ属以上の膜厚が必要となっている。
上述のように長波長に用いる全反射膜は膜厚が大きいた
め製造の際に歪を生じ遂にはひゾわれをおこし、膜のは
がれを発生するのが問題である。
め製造の際に歪を生じ遂にはひゾわれをおこし、膜のは
がれを発生するのが問題である。
またこの問題を避けるために誘電体膜の代りにＣｕなど
の金属膜を利用して膜厚を減少させる方法が用いられる
が、形成された全反射膜の表面が弱く、プリズムとの接
着に際し剥がれを起こすことがあり信頼性に欠ける点に
問題がある。
の金属膜を利用して膜厚を減少させる方法が用いられる
が、形成された全反射膜の表面が弱く、プリズムとの接
着に際し剥がれを起こすことがあり信頼性に欠ける点に
問題がある。
上記問題点は又互に積層した誘電体多層膜からなる偏向
分離膜を片面に備え、誘電体保護膜で覆った金属膜から
なる全反射膜を他の片面に設けたガラス基板を２個のプ
リズムの間に接着挾持させてなる本発明による偏光分離
器によって解決されるＯ 〔作 用〕 ガラス基板上に設けられる全反射膜は本発明により、誘
電体積層膜で保該された比較的に薄い金属膜にて構成さ
れるので歪の発生はなく剥離を起すことがない。また表
面の弱い金属膜は保躾層があるので、接着剤を用いてプ
リズムと接着させる際にも安定であり、接着剤との反応
によって剥離する現象が防止される〇 〔実施例〕 本発明の要旨を第１図の実施例について詳細に説明する
。
分離膜を片面に備え、誘電体保護膜で覆った金属膜から
なる全反射膜を他の片面に設けたガラス基板を２個のプ
リズムの間に接着挾持させてなる本発明による偏光分離
器によって解決されるＯ 〔作 用〕 ガラス基板上に設けられる全反射膜は本発明により、誘
電体積層膜で保該された比較的に薄い金属膜にて構成さ
れるので歪の発生はなく剥離を起すことがない。また表
面の弱い金属膜は保躾層があるので、接着剤を用いてプ
リズムと接着させる際にも安定であり、接着剤との反応
によって剥離する現象が防止される〇 〔実施例〕 本発明の要旨を第１図の実施例について詳細に説明する
。
図は偏光分Ｉｌｌ器の側面図を示す。図中従来例と同一
の部分は同一番号同一記号に℃示す０第１図においてガ
ラス基板ｌは全反射ｌｊＸ、３としてＣｕのような金属
膜３を有し、この金属膜は誘電体保護膜８ｉ０ｔ６によ
り℃覆われ保護される。
の部分は同一番号同一記号に℃示す０第１図においてガ
ラス基板ｌは全反射ｌｊＸ、３としてＣｕのような金属
膜３を有し、この金属膜は誘電体保護膜８ｉ０ｔ６によ
り℃覆われ保護される。
金属膜や保護膜は蒸着、スパッタリングの方法を用いて
ガラス基板上へ設ける。
ガラス基板上へ設ける。
偏光分離膜２は従来と同様の誘電体積層膜を使用する。
以上説明せるように本発明による偏光分離器は全反射膜
が比較的薄くつくられかつ、表面の強度が保護されるの
で、製造時及び完成後も安冗かつ完全に機能する全反射
面を得ることができその効果は著しい。
が比較的薄くつくられかつ、表面の強度が保護されるの
で、製造時及び完成後も安冗かつ完全に機能する全反射
面を得ることができその効果は著しい。
図は偏向分離器の側面図であり、第１図は本発明の実施
例で、第２図は公知例を示す。 図において １はガラス基板 ２は偏光分離膜 ３は全反射膜 ４．５はプリズム ６は本発明による誘電体積層膜 Ｐｏ、Ｐは水平偏波光 Ｓｏ、Ｓは垂直偏波光 を示す。 菓１ 因 來２阿
例で、第２図は公知例を示す。 図において １はガラス基板 ２は偏光分離膜 ３は全反射膜 ４．５はプリズム ６は本発明による誘電体積層膜 Ｐｏ、Ｐは水平偏波光 Ｓｏ、Ｓは垂直偏波光 を示す。 菓１ 因 來２阿
Claims (1)
- 交互に積層した誘電体多層膜からなる偏光分離膜を片面
に備え誘電体保護膜で覆われた金属膜からなる全反射膜
を他の片面に設けられたガラス基板が２個のプリズムの
間に接着挾持されてなることを特徴とする偏光分離器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21170984A JPS6190101A (ja) | 1984-10-09 | 1984-10-09 | 偏光分離器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21170984A JPS6190101A (ja) | 1984-10-09 | 1984-10-09 | 偏光分離器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6190101A true JPS6190101A (ja) | 1986-05-08 |
Family
ID=16610292
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21170984A Pending JPS6190101A (ja) | 1984-10-09 | 1984-10-09 | 偏光分離器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6190101A (ja) |
-
1984
- 1984-10-09 JP JP21170984A patent/JPS6190101A/ja active Pending
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