JPS6190261U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案にかかる光熱検出器の一実施
例を示す平面図、第２図は第１図のＡ―Ａ線断面
図、第３図および第４図はそれぞれ他の実施例の
、Ａ―Ａ線切断相当部位の断面図、第５図はさら
に他の実施例の断面図、第６図はまた他の実施例
を示す平面図、第７図は第６図のＢ―Ｂ線断面図
、第８図はまたさらに他の実施例の平面図、第９
図は第８図のＣ―Ｃ線断面図、第１０図はその他
の実施例のＣ―Ｃ線切断相当部位の断面図である
。 １はシリコン基板、２は電極、３は熱電材料、
５は切欠、７はしや熱膜、Ａはホツトジヤンクシ
ヨン部、Ｂはコールドジヤンクシヨン部。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ＮｉＯまたはＮｉＯを主成分とする薄膜の
   熱電材料をシリコン基板上に設け、この熱電材料
   の両端にホツトジヤンクシヨン部およびコールド
   ジヤンクシヨン部を形成する電極をそれぞれ接続
   したことを特徴とする光熱検出器。 (2) ホツトジヤンクシヨン部付近のシリコン基
   板に切欠が設けられたことを特徴とする実用新案
   登録請求の範囲第１項記載の光熱検出器。 (3) コールドジヤンクシヨン部上面にはしや熱
   膜が被覆されたことを特徴とする実用新案登録請
   求の範囲第１項記載の光熱検出器。 (4) ホツトジヤンクシヨン部が略円形に配列さ
   れかつこの円の中心部付近に集中して配置された
   ことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項
   記載の光熱検出器。 (5) 導電材料および電極が微小形成され、これ
   らの多数が交互に連続的に接続されてなることを
   特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の
   光熱検出器。 (6) 熱電材料と電極とがシリコン基板に対して
   垂直方向に配設されたことを特徴とする実用新案
   登録請求の範囲第１項記載の光熱検出器。