JPS6192022A - 表面波フイルタ - Google Patents
表面波フイルタInfo
- Publication number
- JPS6192022A JPS6192022A JP59213916A JP21391684A JPS6192022A JP S6192022 A JPS6192022 A JP S6192022A JP 59213916 A JP59213916 A JP 59213916A JP 21391684 A JP21391684 A JP 21391684A JP S6192022 A JPS6192022 A JP S6192022A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- zinc oxide
- glass substrate
- oxide thin
- wave filter
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
- H03H9/02834—Means for compensation or elimination of undesirable effects of temperature influence
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02984—Protection measures against damaging
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は映像機器、通信機器などに使用される表面波フ
ィルタに関する。
ィルタに関する。
従来例の構成とその問題点
従来、この種の表面波フィルタは第６図の如き構成とな
っており、ガラス基板（１）の片方の主平面にアルミの
くし形電極（４）を設け、その上に酸化亜鉛（５）をス
パッタリング等の方法で多結晶の状態で付け、さらにそ
の薄膜状の酸化亜鉛（５）の上に、アルミの対向電極（
６）を蒸着等の方法で設けてなっていた。
っており、ガラス基板（１）の片方の主平面にアルミの
くし形電極（４）を設け、その上に酸化亜鉛（５）をス
パッタリング等の方法で多結晶の状態で付け、さらにそ
の薄膜状の酸化亜鉛（５）の上に、アルミの対向電極（
６）を蒸着等の方法で設けてなっていた。
この方法によると、各種の処理工程（例えばフォトリソ
グラフィーの工程でレジスト液の硬化時１５０℃の乾燥
機に投入したりする）にて、温度サイクルを繰り返す為
、ガラス基板（１）と酸化亜鉛薄膜（５）の膨張係数の
違いに起因して、第７図の如く、反ってしまうという欠
点を有し、スクライブ、又は、ダイシングという切断の
工程においてウニへを真空チャックできないという問題
を有している。
グラフィーの工程でレジスト液の硬化時１５０℃の乾燥
機に投入したりする）にて、温度サイクルを繰り返す為
、ガラス基板（１）と酸化亜鉛薄膜（５）の膨張係数の
違いに起因して、第７図の如く、反ってしまうという欠
点を有し、スクライブ、又は、ダイシングという切断の
工程においてウニへを真空チャックできないという問題
を有している。
発明の目的
本発明は反りがなく、反りによる工程不良、結晶（酸化
亜鉛）の欠陥等を皆無とできる表面波フィルタを提供す
ることを目的とする。
亜鉛）の欠陥等を皆無とできる表面波フィルタを提供す
ることを目的とする。
発明の構成
本発明の表面波フィルタは、ガラス基板の一方の主平面
上にくし形電極と圧電材料および対向電極から成る表面
波フィルタ部を構成すると共に。
上にくし形電極と圧電材料および対向電極から成る表面
波フィルタ部を構成すると共に。
他方の主平面上に前記圧電材料と同一もしくは膨張係数
が前記圧電材料に近い材料を付けて基板の反りを防止し
たことを特徴とする。
が前記圧電材料に近い材料を付けて基板の反りを防止し
たことを特徴とする。
実施例の説明
以下、本発明の一実施例第１図〜第５図に基づいて説明
する。
する。
第１図のガラス基板（１）の片側の主平面に、第２図に
示すように酸化亜鉛薄膜（２）をスパッタリング等の方
法で設け、かつ後のエツチング工程で酸化亜鉛薄膜（２
）がエツチングされない為に第３図のようにＳｕｎ、膜
（３）をスパッタリング等の方法で設ける。これで、裏
側主平面の構成は全てである。次に、表側の主平面にア
ルミを蒸着し、フォトリソグラフィーの手法で第４図の
ようにアルミのくし形電極（４）を設け、その上から第
５図のように酸化亜鉛をスパッタして酸化亜鉛薄ｒＳ（
５）を設け、さらに、酸化亜鉛薄膜（５）の上にアルミ
の対向電極（６）を、蒸着し、フォトリソグラフィーの
手法で作る。最後にくし形電極に接続しているパッド電
極の上にある酸化亜鉛をエツチングで除去し、ウェハを
完成させる。
示すように酸化亜鉛薄膜（２）をスパッタリング等の方
法で設け、かつ後のエツチング工程で酸化亜鉛薄膜（２
）がエツチングされない為に第３図のようにＳｕｎ、膜
（３）をスパッタリング等の方法で設ける。これで、裏
側主平面の構成は全てである。次に、表側の主平面にア
ルミを蒸着し、フォトリソグラフィーの手法で第４図の
ようにアルミのくし形電極（４）を設け、その上から第
５図のように酸化亜鉛をスパッタして酸化亜鉛薄ｒＳ（
５）を設け、さらに、酸化亜鉛薄膜（５）の上にアルミ
の対向電極（６）を、蒸着し、フォトリソグラフィーの
手法で作る。最後にくし形電極に接続しているパッド電
極の上にある酸化亜鉛をエツチングで除去し、ウェハを
完成させる。
このようにガラス基板（１）の両面に酸化亜鉛薄１ｉＡ
（２）（５）をつけた為、まず温度変化による膨張の差
が発生しにくくなり、ガラス基板（ウェハ）の反りは無
くなった。
（２）（５）をつけた為、まず温度変化による膨張の差
が発生しにくくなり、ガラス基板（ウェハ）の反りは無
くなった。
上記実施例ではガラス基板の一方の主平面上に表面波フ
ィルタ部を構成し、他方の主平面上には前記表面波フィ
ルタ部に使用した圧電材料としての酸化亜鉛を付けたが
、これは表面波フィルタ部の圧電材料と膨張係数が近い
材料であれば同様の効果が得られる。
ィルタ部を構成し、他方の主平面上には前記表面波フィ
ルタ部に使用した圧電材料としての酸化亜鉛を付けたが
、これは表面波フィルタ部の圧電材料と膨張係数が近い
材料であれば同様の効果が得られる。
発明の詳細
な説明のように本発明の表面波フィルタは、ガラス基板
の一方の主平面上にくし形電極と圧電材料および対向電
極から成る表面波フィルタ部を構成すると共に、他方の
主平面上に前記圧電材料と同一もしくは膨張係数が前記
圧電材料に近い材料を付けたため、ガラス基板の反りが
なくなると共に次のような効果が得られる。
の一方の主平面上にくし形電極と圧電材料および対向電
極から成る表面波フィルタ部を構成すると共に、他方の
主平面上に前記圧電材料と同一もしくは膨張係数が前記
圧電材料に近い材料を付けたため、ガラス基板の反りが
なくなると共に次のような効果が得られる。
■スクライブ、ダイシング工程においてウェハの反りに
よるチップの紛失、破壊が無くなった。
よるチップの紛失、破壊が無くなった。
■露式１程でのマスクの位置合わせがやり易くなり、レ
ジストの″こすり″による傷が無くなった。
ジストの″こすり″による傷が無くなった。
す。
（１）・・・ガラス基板、（２）（５）・・・酸化亜鉛
〔圧電材料〕、（３）・・・Ｓ ｉｏ２、（４）・・・
くし形電極、（５）・・・酸化亜鉛、（６）・・・対向
電極 代理人 森 本 義 仏 書１図 口 ／ 第Ｚ図
〔圧電材料〕、（３）・・・Ｓ ｉｏ２、（４）・・・
くし形電極、（５）・・・酸化亜鉛、（６）・・・対向
電極 代理人 森 本 義 仏 書１図 口 ／ 第Ｚ図
Claims (1)
- １、ガラス基板の一方の主平面上にくし形電極と圧電材
料および対向電極から成る表面波フィルタ部を構成する
と共に、他方の主平面上に前記圧電材料と同一もしくは
膨張係数が前記圧電材料に近い材料を付けた表面波フィ
ルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59213916A JPS6192022A (ja) | 1984-10-11 | 1984-10-11 | 表面波フイルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59213916A JPS6192022A (ja) | 1984-10-11 | 1984-10-11 | 表面波フイルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6192022A true JPS6192022A (ja) | 1986-05-10 |
Family
ID=16647158
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59213916A Pending JPS6192022A (ja) | 1984-10-11 | 1984-10-11 | 表面波フイルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6192022A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6240812A (ja) * | 1985-08-19 | 1987-02-21 | Toshiba Corp | 弾性表面波装置 |
| US5061870A (en) * | 1989-07-06 | 1991-10-29 | Murata Mfg. Co., Ltd. | Surface acoustic wave device |
| US5666091A (en) * | 1995-03-20 | 1997-09-09 | Hitachi Media Electronics Co., Ltd. | Structure of surface acoustic wave filter |
| JP2006222512A (ja) * | 2005-02-08 | 2006-08-24 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波素子 |
-
1984
- 1984-10-11 JP JP59213916A patent/JPS6192022A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6240812A (ja) * | 1985-08-19 | 1987-02-21 | Toshiba Corp | 弾性表面波装置 |
| US5061870A (en) * | 1989-07-06 | 1991-10-29 | Murata Mfg. Co., Ltd. | Surface acoustic wave device |
| US5666091A (en) * | 1995-03-20 | 1997-09-09 | Hitachi Media Electronics Co., Ltd. | Structure of surface acoustic wave filter |
| JP2006222512A (ja) * | 2005-02-08 | 2006-08-24 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波素子 |
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