JPS6193635A - ボンデイングヘツド - Google Patents
ボンデイングヘツドInfo
- Publication number
- JPS6193635A JPS6193635A JP59208807A JP20880784A JPS6193635A JP S6193635 A JPS6193635 A JP S6193635A JP 59208807 A JP59208807 A JP 59208807A JP 20880784 A JP20880784 A JP 20880784A JP S6193635 A JPS6193635 A JP S6193635A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shaft
- capillary
- horn
- housing
- drive lever
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
- H10W72/07141—Means for applying energy, e.g. ovens or lasers
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体装置の製造に用いられるワイヤボンダ装
置のボンディングヘッドに関するものである。
置のボンディングヘッドに関するものである。
−ｅにワイヤボンダ装置のボンディングヘッドは、機械
的に安定であり、保守が容易であることなどから、キャ
ピラリを備えたものが広く使用されている。
的に安定であり、保守が容易であることなどから、キャ
ピラリを備えたものが広く使用されている。
この種従来のボンディングヘッドは、例えば第２図にそ
の側面図を示すように、先端にキャピラリ１を有するホ
ーン軸２と、カムフォロア３を有しカム４で前記ホーン
軸２を駆動する駆動レバー・５とを備えている。ホーン
軸２は中央部の支持軸６によって揺動自在に支持され、
この支持部より後部にはブロック７を介してプレート８
が取付けられており、他端にはホーン軸２を図中反時計
方向に付勢するばね９が掛止されている。このばね９は
前記キャピラリ１が図示しないワーク上に着地したとき
に、所要なボンディング荷重を与えるように図示しない
調整ねじによってその強さが調整されている。前記駆動
レバー３は支持軸１０で揺動自在に支持され、その前端
部には前記プレート８に当接する鋼球１１が装着された
調整ねじ１２が螺合されている。一方後端部の透孔１３
には駆動レバー５を反時計方向に付勢するばね１４の一
端が掛止されている。このばね１４は前記カムフォロア
３を常時カム４に係接させる強さに設定されている。１
５はカム４のカム軸である。
の側面図を示すように、先端にキャピラリ１を有するホ
ーン軸２と、カムフォロア３を有しカム４で前記ホーン
軸２を駆動する駆動レバー・５とを備えている。ホーン
軸２は中央部の支持軸６によって揺動自在に支持され、
この支持部より後部にはブロック７を介してプレート８
が取付けられており、他端にはホーン軸２を図中反時計
方向に付勢するばね９が掛止されている。このばね９は
前記キャピラリ１が図示しないワーク上に着地したとき
に、所要なボンディング荷重を与えるように図示しない
調整ねじによってその強さが調整されている。前記駆動
レバー３は支持軸１０で揺動自在に支持され、その前端
部には前記プレート８に当接する鋼球１１が装着された
調整ねじ１２が螺合されている。一方後端部の透孔１３
には駆動レバー５を反時計方向に付勢するばね１４の一
端が掛止されている。このばね１４は前記カムフォロア
３を常時カム４に係接させる強さに設定されている。１
５はカム４のカム軸である。
このように構成された従来のボンディングヘッドにおい
ては、カム４が回転運動すると、カムフォロア３を介し
てカム４に接している駆動レバー５は、支持軸１０を支
点として揺動運動を行い、駆動レバ−５前端部の調整ね
じ１２は上下に運動する。このため、駆動レバー５の運
動がプレート８上を摺動する鋼球１１を介してホーン軸
２に伝達され、ホーン軸２は支持軸６を支点として揺動
運動し、キャピラリ１は上下に駆動される。
ては、カム４が回転運動すると、カムフォロア３を介し
てカム４に接している駆動レバー５は、支持軸１０を支
点として揺動運動を行い、駆動レバ−５前端部の調整ね
じ１２は上下に運動する。このため、駆動レバー５の運
動がプレート８上を摺動する鋼球１１を介してホーン軸
２に伝達され、ホーン軸２は支持軸６を支点として揺動
運動し、キャピラリ１は上下に駆動される。
しかしながら、従来のこの種ボンディングヘッドにおい
ては、ボンディングヘッド全体の長さが、キャピラリ１
とホーン軸支点との間の距離ａと、ホーン軸支点と駆動
レバー支点との間の距離すと、駆動レバー支点とカムフ
ォロア３との間の距離Ｃとの合計よりも長くなるため、
大型化し、重量が重くなるという不具合があった。この
ため、このボンディングヘッドを搭載して水平面内の運
動をするＸ−Ｙテーブルの高速化の一つの障害となって
いた。また、駆動レバー５の運動がプレート８上を摺動
する鋼球１１を介してホーン軸２に伝達しているため、
摺動による摩耗が激しく、部品寿命、保守上からも問題
となっていた。
ては、ボンディングヘッド全体の長さが、キャピラリ１
とホーン軸支点との間の距離ａと、ホーン軸支点と駆動
レバー支点との間の距離すと、駆動レバー支点とカムフ
ォロア３との間の距離Ｃとの合計よりも長くなるため、
大型化し、重量が重くなるという不具合があった。この
ため、このボンディングヘッドを搭載して水平面内の運
動をするＸ−Ｙテーブルの高速化の一つの障害となって
いた。また、駆動レバー５の運動がプレート８上を摺動
する鋼球１１を介してホーン軸２に伝達しているため、
摺動による摩耗が激しく、部品寿命、保守上からも問題
となっていた。
本発明はこのような事情に鑑みなされたもので、その目
的は、小型、軽量化ならびに部品の長寿命化がはかれる
ボンディングヘッドを提供するものである。
的は、小型、軽量化ならびに部品の長寿命化がはかれる
ボンディングヘッドを提供するものである。
本発明に係るボンディングヘットは、回動端側にキャピ
ラリを有するホーン軸およびこのホーン軸を駆動する駆
動レバーを同一支持軸上に揺動自在に支持し、前記駆動
レバーにホーン軸に対向したハウジングを設け、このハ
ウジングとホーン軸との間に、キャピラリを押圧する押
圧手段およびキャピラリの上下位置を調整する調整部材
を介装したものである。
ラリを有するホーン軸およびこのホーン軸を駆動する駆
動レバーを同一支持軸上に揺動自在に支持し、前記駆動
レバーにホーン軸に対向したハウジングを設け、このハ
ウジングとホーン軸との間に、キャピラリを押圧する押
圧手段およびキャピラリの上下位置を調整する調整部材
を介装したものである。
本発明においては、ホーン軸および駆動レバーを同一支
持軸に支持することによって両部材を互いに近接させる
とともに、同一支持軸を中心として揺動させることによ
って、両部材の位置関係が相対的にずれるのを防止する
。
持軸に支持することによって両部材を互いに近接させる
とともに、同一支持軸を中心として揺動させることによ
って、両部材の位置関係が相対的にずれるのを防止する
。
以下、本発明の一実施例を図により詳細に説明する。第
１図は本発明に係るボンデ、イングヘッドを示す側面図
で、同図において、符号２０および２１で示すものはボ
ンディングヘッドに備えられたホーン軸および駆動レバ
ーを示す。このホーン軸２０は回動端側にキャピラリｌ
を有し、駆動レバー２１はカム軸１５に軸装されたカム
４に対向する位置にカムフォロア３が回転自在に設けら
れ、後端部の透孔１３には前記カムフォロア３を常時カ
ム４に係接させるばね１４の一端が掛止されている。
１図は本発明に係るボンデ、イングヘッドを示す側面図
で、同図において、符号２０および２１で示すものはボ
ンディングヘッドに備えられたホーン軸および駆動レバ
ーを示す。このホーン軸２０は回動端側にキャピラリｌ
を有し、駆動レバー２１はカム軸１５に軸装されたカム
４に対向する位置にカムフォロア３が回転自在に設けら
れ、後端部の透孔１３には前記カムフォロア３を常時カ
ム４に係接させるばね１４の一端が掛止されている。
２２はホーン軸２０の後端部に設けられたハウジングで
、このハウジング２２は支持軸２３が挿通されるととも
に、ホーン軸２０の上方に間隔をおいて平行な方向に延
在するパー２４が固定されている。２５は駆動レバー２
１の前部に設けられ前記ホーン軸２０に上方から対向す
るハウジングで、このハウジング２５は前記ハウジング
２２を臨ませるように下方向および前方向に開放された
略箱形状に形成され、前記支持軸２３が横貫されている
。すなわち、これらホーン軸２０および駆動レバー２１
は同一の支持軸２３によって揺動自在に支持されている
。
、このハウジング２２は支持軸２３が挿通されるととも
に、ホーン軸２０の上方に間隔をおいて平行な方向に延
在するパー２４が固定されている。２５は駆動レバー２
１の前部に設けられ前記ホーン軸２０に上方から対向す
るハウジングで、このハウジング２５は前記ハウジング
２２を臨ませるように下方向および前方向に開放された
略箱形状に形成され、前記支持軸２３が横貫されている
。すなわち、これらホーン軸２０および駆動レバー２１
は同一の支持軸２３によって揺動自在に支持されている
。
２６はキャピラリ１をボンディング荷重で押圧する押圧
手段としてのばねで、このばね２６は前記バー２４の前
端部に設けられたばね受け２７とハウジング２５の前部
に螺合された調整ねし２８に設りられたばね受け２９と
の間に圧縮変形した状態で介装されている。３０は調整
ねし２８に螺合したロックナツトで、調整ねじ２８をハ
ウジング２５に固定する。− ３１は前記はね２６と同様にハウジング２５とホーン軸
２０との間に介装された調整部材としての調整レバーで
、この調整レバー３１は、ピン３２によりハウジング２
５に対して揺動自在に設けられることにより、ホーン軸
２０に対して進退できるように設けられ、下部にはバー
２４を支承する支承枠３３が突設されている。そして、
前部に挿通されハウジング２５に螺合された調整ねじ３
４とばね３５とにより、ホーン軸２０とハウジング２５
との間隔を調整してキャピラリ１の上下位置を調整する
ように構成されている。
手段としてのばねで、このばね２６は前記バー２４の前
端部に設けられたばね受け２７とハウジング２５の前部
に螺合された調整ねし２８に設りられたばね受け２９と
の間に圧縮変形した状態で介装されている。３０は調整
ねし２８に螺合したロックナツトで、調整ねじ２８をハ
ウジング２５に固定する。− ３１は前記はね２６と同様にハウジング２５とホーン軸
２０との間に介装された調整部材としての調整レバーで
、この調整レバー３１は、ピン３２によりハウジング２
５に対して揺動自在に設けられることにより、ホーン軸
２０に対して進退できるように設けられ、下部にはバー
２４を支承する支承枠３３が突設されている。そして、
前部に挿通されハウジング２５に螺合された調整ねじ３
４とばね３５とにより、ホーン軸２０とハウジング２５
との間隔を調整してキャピラリ１の上下位置を調整する
ように構成されている。
このように構成されたボンディングヘッドにおいては、
カム４が回転運動すると、駆動レバー２１とハウジング
２５は支持軸２３を中心として揺動運動する。この揺動
によりホーン軸２０とハウジング２５との間隔が変化す
るため、ホーン軸２０もばね２６の反撥力により揺動運
動する。ここで、調整ねじ２８の螺合量でばね２６の反
撥力がボンディング荷重に等しくなるように調整されて
いるため、キャピラリ１は図示しないワーク上に着地す
るとワークを適正荷重で押圧することができる。
カム４が回転運動すると、駆動レバー２１とハウジング
２５は支持軸２３を中心として揺動運動する。この揺動
によりホーン軸２０とハウジング２５との間隔が変化す
るため、ホーン軸２０もばね２６の反撥力により揺動運
動する。ここで、調整ねじ２８の螺合量でばね２６の反
撥力がボンディング荷重に等しくなるように調整されて
いるため、キャピラリ１は図示しないワーク上に着地す
るとワークを適正荷重で押圧することができる。
この場合、ハウジング２５がホーン軸２０を下方に押圧
する力はばね２６の力のみであり、ボンディング荷重に
等しい小さな力であるため、ハウジング２５が下向きに
大きな加速度を有している瞬間は、ホーン軸２０はその
慣性のためにハウジング２５の揺動に追従しないことが
ある。このようなときは、電磁力、ソレノイド、ＬＭモ
ータ等の手段により、ハウジング２５が大きな加速度を
有するときのみバー２４を押圧し、キャピラリ１着地前
にこの拘束力を解除してやれば、ハウジング２５に追従
させ着地時にボンディング荷重のみがキャピラリ１から
ワークに作用する。前記キャピラリ１の高さは、ワーク
の形状に対応して、調整ねじ３４を回転させることによ
り調整することができる。すなわち、調整ねじ３４で支
承枠３３を上下に移動させ、ホーン軸２０を揺動させる
ことができるからである。
する力はばね２６の力のみであり、ボンディング荷重に
等しい小さな力であるため、ハウジング２５が下向きに
大きな加速度を有している瞬間は、ホーン軸２０はその
慣性のためにハウジング２５の揺動に追従しないことが
ある。このようなときは、電磁力、ソレノイド、ＬＭモ
ータ等の手段により、ハウジング２５が大きな加速度を
有するときのみバー２４を押圧し、キャピラリ１着地前
にこの拘束力を解除してやれば、ハウジング２５に追従
させ着地時にボンディング荷重のみがキャピラリ１から
ワークに作用する。前記キャピラリ１の高さは、ワーク
の形状に対応して、調整ねじ３４を回転させることによ
り調整することができる。すなわち、調整ねじ３４で支
承枠３３を上下に移動させ、ホーン軸２０を揺動させる
ことができるからである。
また、ホーン軸２０と駆動レバー２１とを同一な支持軸
２３上に支持し揺動させるようにしているから、これら
両部材を近接させることができる。
２３上に支持し揺動させるようにしているから、これら
両部材を近接させることができる。
すなわち、キャピラリ１とカムフォロア３との間隔を、
キャピラリ１とホーン軸支点との間の距離ａと、駆動レ
バー支点とカムフォロア３との間の。
キャピラリ１とホーン軸支点との間の距離ａと、駆動レ
バー支点とカムフォロア３との間の。
距離Ｃとの合計の長さにし、従来に比べて短くすること
ができる。さらに、前記両部材はともに同一な支点まわ
りに揺動し、揺動時に相対的な位置関係がずれるのを防
止することができるから、支承枠３３とバー２４とは摺
動するようなことがなく、部品の摩耗を防止することが
できる。
ができる。さらに、前記両部材はともに同一な支点まわ
りに揺動し、揺動時に相対的な位置関係がずれるのを防
止することができるから、支承枠３３とバー２４とは摺
動するようなことがなく、部品の摩耗を防止することが
できる。
なお、上記実施例においては、キャピラリｌをボンディ
ング荷重で押圧する押圧手段としてばね２６を用いた例
について説明したが、本発明はこれに限定されるもので
はなく、例えばマグネットによる反撥力や、エアの吹き
付けによる反力を利用することもできる。また、キャピ
ラリ１の位置を調整する調整部材としては、調整レバー
３１を揺動自在に設けるほか、ハウジング２５に螺合す
るねじを利用しこのねじに支承枠３３を設けてもよく、
要するにホーン軸２０に対して進退できる部材であれば
よい。
ング荷重で押圧する押圧手段としてばね２６を用いた例
について説明したが、本発明はこれに限定されるもので
はなく、例えばマグネットによる反撥力や、エアの吹き
付けによる反力を利用することもできる。また、キャピ
ラリ１の位置を調整する調整部材としては、調整レバー
３１を揺動自在に設けるほか、ハウジング２５に螺合す
るねじを利用しこのねじに支承枠３３を設けてもよく、
要するにホーン軸２０に対して進退できる部材であれば
よい。
以上説明したように本発明によれば、ホーン軸とこのホ
ーン軸に対向したハウジングを設けた駆動レバーとを同
一支持軸上に揺動自在に支持し、ハウジングとホーン軸
との間に、キャピラリを押圧する押圧手段およびキャピ
ラリの上下位置を調整する調整レバーを介装したから、
ホーン軸と駆動レバーとを互いに近接させるとともに、
これら部材が揺動しても両部材の位置関係が相対的にず
れるのを防止することができる。
ーン軸に対向したハウジングを設けた駆動レバーとを同
一支持軸上に揺動自在に支持し、ハウジングとホーン軸
との間に、キャピラリを押圧する押圧手段およびキャピ
ラリの上下位置を調整する調整レバーを介装したから、
ホーン軸と駆動レバーとを互いに近接させるとともに、
これら部材が揺動しても両部材の位置関係が相対的にず
れるのを防止することができる。
したがって、長さを短くして、小型、軽量化がはかれる
とともに、摺動部がないから部品の長寿命化がはかれる
。
とともに、摺動部がないから部品の長寿命化がはかれる
。
第１図は本発明に係るボンディングヘッドを示す側面図
で、第２図は従来のボンディングヘッドを示す側面図で
ある。 １・・・・キャピラリ、２０・・・・ホーン軸、２１・
・・・駆動レバー、２３・・・・支持軸、２５・・・・
ハウジング、２６・・・・ばね、３１・・・・調整レバ
ー。
で、第２図は従来のボンディングヘッドを示す側面図で
ある。 １・・・・キャピラリ、２０・・・・ホーン軸、２１・
・・・駆動レバー、２３・・・・支持軸、２５・・・・
ハウジング、２６・・・・ばね、３１・・・・調整レバ
ー。
Claims (1)
- 回動端側にキャピラリを有するホーン軸と、カムフォ
ロアを有し前記ホーン軸をカムによって駆動する駆動レ
バーとを備えたボンディングヘッドにおいて、前記ホー
ン軸および駆動レバーを同一支持軸上に揺動自在に支持
し、前記駆動レバーにホーン軸と対向するハウジングを
設けるとともに、このハウジングとホーン軸との間に、
前記キャピラリをボンディング荷重で押圧する押圧手段
およびホーン軸とハウジングとの間隔を調整してキャピ
ラリの上下位置を調整する調整部材を介装したことを特
徴とするボンディングヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59208807A JPS6193635A (ja) | 1984-10-04 | 1984-10-04 | ボンデイングヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59208807A JPS6193635A (ja) | 1984-10-04 | 1984-10-04 | ボンデイングヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6193635A true JPS6193635A (ja) | 1986-05-12 |
Family
ID=16562445
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59208807A Pending JPS6193635A (ja) | 1984-10-04 | 1984-10-04 | ボンデイングヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6193635A (ja) |
-
1984
- 1984-10-04 JP JP59208807A patent/JPS6193635A/ja active Pending
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