JPS6194558U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6194558U JPS6194558U JP18062284U JP18062284U JPS6194558U JP S6194558 U JPS6194558 U JP S6194558U JP 18062284 U JP18062284 U JP 18062284U JP 18062284 U JP18062284 U JP 18062284U JP S6194558 U JPS6194558 U JP S6194558U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arms
- attached
- transmission mechanism
- rotate
- arm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図乃至第５図はそれぞれ本考案の一実施例
を示したもので、第１図は平面図、第２図は正面
図、第３図および第４図は載置板のそれぞれ平面
図および縦断面図、第５図は孔部面積比と位置ず
れ発生頻度との関係を示す線図、第６図は従来の
真空処理装置を示す概略構成図である。 １…真空処理室、２…ロードロツク室、３…ガ
ス導入管、４…ガス導入口、５…上部電極、６…
下部電極、７…エアシリンダ、８…プツシヤピン
、９…載置板、１０…搬送装置、１１…ゲートバ
ルブ、１２…セツタ機構、１３…第１アーム、１
４…駆動軸、１５，１９…歯車、１６…支持ベー
ス、１７…第２アーム、１８…回転軸、２０…係
止部、２１…孔部、２２…回転駆動源、２３…ホ
イール、２４…回転ホイール、２５…ベルト。
を示したもので、第１図は平面図、第２図は正面
図、第３図および第４図は載置板のそれぞれ平面
図および縦断面図、第５図は孔部面積比と位置ず
れ発生頻度との関係を示す線図、第６図は従来の
真空処理装置を示す概略構成図である。 １…真空処理室、２…ロードロツク室、３…ガ
ス導入管、４…ガス導入口、５…上部電極、６…
下部電極、７…エアシリンダ、８…プツシヤピン
、９…載置板、１０…搬送装置、１１…ゲートバ
ルブ、１２…セツタ機構、１３…第１アーム、１
４…駆動軸、１５，１９…歯車、１６…支持ベー
ス、１７…第２アーム、１８…回転軸、２０…係
止部、２１…孔部、２２…回転駆動源、２３…ホ
イール、２４…回転ホイール、２５…ベルト。
Claims (1)
- 支持ベース上に歯車伝達機構を介して一端部を
中心として対称的に回転するように取付けられた
２本の第１アームと、これら各第１アームの他端
部に回転自在に取付けられ先端部にそれぞれ歯車
が取付けられた第２アームと、これら各第２アー
ムの先端部を上記各歯車が噛合うように回転自在
に連結する被処理物の載置板とを有し、上記第１
アームの一方を回転させる回転駆動源を設けると
ともに、この一方の第１アームの回転運動を伝達
して該第１アームに取付けられた一方の第２アー
ムを回転させる動力伝達機構を設けてなる搬送装
置において、上記載置板に孔部を形成したことを
特徴とする搬送装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18062284U JPS6194558U (ja) | 1984-11-28 | 1984-11-28 | |
| EP85105298A EP0160305B1 (en) | 1984-05-02 | 1985-05-01 | Carrying device |
| DE8585105298T DE3573899D1 (en) | 1984-05-02 | 1985-05-01 | Carrying device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18062284U JPS6194558U (ja) | 1984-11-28 | 1984-11-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6194558U true JPS6194558U (ja) | 1986-06-18 |
Family
ID=30738175
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18062284U Pending JPS6194558U (ja) | 1984-05-02 | 1984-11-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6194558U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5794338A (en) * | 1980-12-04 | 1982-06-11 | Tdk Corp | Vapor deposition device |
-
1984
- 1984-11-28 JP JP18062284U patent/JPS6194558U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5794338A (en) * | 1980-12-04 | 1982-06-11 | Tdk Corp | Vapor deposition device |