JPH0270954U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0270954U JPH0270954U JP15100488U JP15100488U JPH0270954U JP H0270954 U JPH0270954 U JP H0270954U JP 15100488 U JP15100488 U JP 15100488U JP 15100488 U JP15100488 U JP 15100488U JP H0270954 U JPH0270954 U JP H0270954U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- angle
- transfer arm
- arm
- rotates
- cam
- Prior art date
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- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Machine Tool Positioning Apparatuses (AREA)
- Automatic Assembly (AREA)
Description
第１図は、本考案による位置出し機構をもつ搬
送アームの実施例を示す斜視図である。第２図は
、本考案による前記位置出し機構をもつ搬送アー
ムが使用される半導体ウエーハの１８０°移送装
置の平面配置図である。 １……回転搬送アーム、２ａ，２ｂ……半導体
ウエーハ吸引溝、３ａ，３ｂ……カム従動ローラ
、５……エアシリンダ、７……溝カム筒、９……
偏心カム、１０……パルスモータ、１１……アー
ム駆動軸、１３……シリンダ軸、１４……カム軸
、１５……カムピン。
送アームの実施例を示す斜視図である。第２図は
、本考案による前記位置出し機構をもつ搬送アー
ムが使用される半導体ウエーハの１８０°移送装
置の平面配置図である。 １……回転搬送アーム、２ａ，２ｂ……半導体
ウエーハ吸引溝、３ａ，３ｂ……カム従動ローラ
、５……エアシリンダ、７……溝カム筒、９……
偏心カム、１０……パルスモータ、１１……アー
ム駆動軸、１３……シリンダ軸、１４……カム軸
、１５……カムピン。
Claims (1)
- 一面が平坦である部品を当初位置から一定の角
度回転搬送する搬送アームにおいて、部品等の保
持部とカム従動部が設けられている回転搬送アー
ムと、前記回転搬送アームを一定の角度よりもわ
ずかに大きく回転駆動するモータと、前記わずか
に大きな角度駆動された前記搬送アームを所定の
位置まで押し戻して退避する偏心カムから構成し
たことを特徴とする位置出し機構をもつ搬送アー
ム。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15100488U JPH0533247Y2 (ja) | 1988-11-18 | 1988-11-18 | |
| US07/421,351 US5052884A (en) | 1988-10-25 | 1989-10-13 | Transferring device for semiconductor wafers |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15100488U JPH0533247Y2 (ja) | 1988-11-18 | 1988-11-18 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0270954U true JPH0270954U (ja) | 1990-05-30 |
| JPH0533247Y2 JPH0533247Y2 (ja) | 1993-08-24 |
Family
ID=31424660
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15100488U Expired - Lifetime JPH0533247Y2 (ja) | 1988-10-25 | 1988-11-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0533247Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-11-18 JP JP15100488U patent/JPH0533247Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0533247Y2 (ja) | 1993-08-24 |