JPS6196684U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6196684U JPS6196684U JP17980084U JP17980084U JPS6196684U JP S6196684 U JPS6196684 U JP S6196684U JP 17980084 U JP17980084 U JP 17980084U JP 17980084 U JP17980084 U JP 17980084U JP S6196684 U JPS6196684 U JP S6196684U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- robot
- hand
- silicon wafers
- claw part
- silicon wafer
- Prior art date
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- Pending
Links
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 6
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 claims description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 3
Description
第１図１は、本考案のシリコン・ウエハー挾持
用ロボツトのハンド部の平面図、第１図２は第１
図のＡ−Ａ線に沿つて切断して示した断面図、第
２図は使用状態を示す平面図、第３図は、本考案
の装置でハンドリングするシリコン・ウエハーの
平面図である。 １…シリコン・ウエハー、１ａ…円弧部、１ｂ
…直線部、１ｃ…側面部、２…ハンド部、３…爪
部、４ａ，４ｂ…挾持部、５…爪、６…吸盤、７
…ネジ、８…長孔。
用ロボツトのハンド部の平面図、第１図２は第１
図のＡ−Ａ線に沿つて切断して示した断面図、第
２図は使用状態を示す平面図、第３図は、本考案
の装置でハンドリングするシリコン・ウエハーの
平面図である。 １…シリコン・ウエハー、１ａ…円弧部、１ｂ
…直線部、１ｃ…側面部、２…ハンド部、３…爪
部、４ａ，４ｂ…挾持部、５…爪、６…吸盤、７
…ネジ、８…長孔。
Claims (1)
- シリコン・ウエハー用ロボツトのハンドリング
装置におけるハンド部において、ハンド部の平面
上にシリコン・ウエハーの上部円弧部に符合する
形状の爪部と左右の挾持部から成る位置決め用爪
部と吸盤とを具備したことを特徴とするシリコン
・ウエハー挾持用ロボツトのハンド部。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17980084U JPS6196684U (ja) | 1984-11-27 | 1984-11-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17980084U JPS6196684U (ja) | 1984-11-27 | 1984-11-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6196684U true JPS6196684U (ja) | 1986-06-21 |
Family
ID=30737365
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17980084U Pending JPS6196684U (ja) | 1984-11-27 | 1984-11-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6196684U (ja) |
-
1984
- 1984-11-27 JP JP17980084U patent/JPS6196684U/ja active Pending