JPS619772A - スルホ−ル検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （ａ）産業上の利用分野 本発明は透光性基板に形成された導電層を有するスルホ
ールに生ずるピンホール等の欠陥を検査する装置に関す
るものである。

両面プリント板や多層プリント板には、それらの基板に
形成されている表裏プリント配線間や各層プリント配線
間の電気的接続のために、スルホールが電気的或いは化
学的メッキ法によりメッキされて形成される。

ところが、このスルホールのメッキ層が常に良好な状態
にあるとは限らず、切れ目、ピンホール等の欠陥が生じ
、この欠陥が接続目的を阻害し、プリント板の信頼性を
低下せしめるので、このような欠陥を予め検査する必要
がある。

この検査方法として各種の検査方法が開発されており、
本発明者等も先にｒ特５７−２２８６７２スルホール検
査法」で−検査法を提案したがまだ改良の余地がある。

（ｂｌ従来の技術 第６図は本発明者等が先に「特５７−２２８６７２スル
ホール検査法」で提案したスルホールの一検査方法であ
る。

プリント板１は照明光２により照明され左から右へ一定
速度で移動させられる。スルホールがａ点に達するとレ
ンズ４により光検出器であるＣＣＤ５上にスルホール像
が結像され、２値化回路７により２値化されスルホール
の位置を知る。

一定時間後、前記スルホールは照明側に遮光マスク３が
配設されたａ′点に達する。この点はレンズ４により光
検出器であるＣＣＤ６上にスルホール像が結像されてお
り、もし、スルホールの内壁を構成しているメッキ部に
欠陥が有ると、プリント板１に照射された照明光２がス
ルホールメッキ部の欠陥部よりスルホール内部に入りＣ
ＣＤ６から欠陥信号が得られ、２値化回路８により２値
化される。

スルホール位置信号は遅延回路９によりスルホールがａ
点からａ′点に移動する時間遅らされ、ＡＮＤ回路１１
により両信号の論理積が求められ欠陥判定される。

（Ｃ１発明が解決しようとする問題点 上記構成のスルホール検査装置では、スルホールの位置
信号と漏光信号の単純な論理積を求め欠陥を判定してい
た。ところが、プリント板の基材部でも光が漏れるため
、プリント板にパターンのない部分も欠陥と同じ状態と
なる。スルホールがランドの中心からずれランドの隅に
ある場合、量子化誤差や両信号の位置合わせ誤差により
スルホール位置信号と基材部パターンが重なりスルホー
ル欠陥とプリント板の透光部が区別できず誤動作すると
いう問題が生ずる。

（ｄ）問題点を解決するための手段。

上記の問題点は漏光パターンのうち大きなパターンの周
辺部を削り、小さなパターンはそのまま通すフィルタ回
路を設け、このフィルタ回路を通した漏光パターンとス
ルホール位置信号との論理積を求めることにより解決さ
れる。

（ｅ）作用 即ち、プリント板の基材部の４漏光パターンは大きな塊
であるのに対し、スルホール部の漏光パターンは小さい
塊であることに着目し、大きな漏光パターンの周辺部を
削ることによってプリント板の基材部の漏光パターンは
細くなり、プリント板基祠部の透光部とスルホール部と
が分離され区別できる。

ｉｆ）実施例 以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する
。

第１図は本発明の一実施例のスルホール検査装置の構成
を説明するための図である。

プリント板１は照明光２により照明され図示しないが保
持台に乗せられ左から右へ一定速度で移動させられ、ス
ルホールが照明側に遮光するものがないａ点に達すると
、レンズ４により光検出器であるＣＣＤ５上にスルホー
ル像が結像される。

ここではスルホールに照明光２が直接入り、ＣＣＤ５に
よって信号が検出され、２値化回路７により２値化され
スルホールの位置を知る。

一定時間後、前記スルホールが照明側に遮光マスク３が
配設されたａ′点に達すると、レンズ４により光検出器
であるＣＣＤ６上にスルホール像が結像される。スルホ
ールの内壁を構成しているメッキ部に欠陥が無ければ、
プリント板１に照射された照明光２は遮光マスク３によ
って直接光が遮られ、またプリント板１内の散乱光はス
ルホールメッキ部で遮られ、スルホール内部に入れずＣ
ＣＤ６には信号が検出されない。もし、スルホールメッ
キ部に欠陥があると、プリント板１に照射された照明光
２がスルホールメッキ部の欠陥部からスルホール内部に
入りＣＣＤ６によって欠陥信号が検出され、２値化回路
８により２値化され欠点の有無を知る。

ＣＣＤ５とＣＣＤ６で検出された信号はスルホールがａ
点からａ′点に移動する時間だけずれるタメ、２値化回
路７で２値化されたスルホール位置信号は遅延回路９に
よりスルホールがａ点からａ′点に移動する時間遅らさ
れる。

２値化回路８により２値化された信号はフィルタ回路１
０に入れられ、大きな漏光パターンの周辺部を削り、小
さな漏光パターンはそのまま残す処理が行われる。

遅延回路９からの出力信号とフィルタ回路１０からの出
力信号は共にＡＮＤ回路１１に入れられ、両信号の論理
積が求められてスルホールの欠陥が判定される。

第２図は本発明に使用されるフィルタ回路１０の一実施
例である二次元マトリックスフィルタ回路を示す。漏光
信号はＣＣＤ５およびＣＣＤ６と同じビットのシフトレ
ジスタ１２に入力され、その終端の出力信号は次列のシ
フトレジスタ１３に入力され、さらにシフトレジスタ１
３の終端の出力信号は次列のシフトレジスタ１４に入力
される。このようにして順次７列のシフトレジスタが接
続されている。

このシフトレジスタの任意の７×７の領域から信号を取
り出しフィルタ処理を行うが、各レジスタの位置とその
信号名称の関係を第３図に示す。

ここで漏光信号有りを１、無しをＯとしたとき、０°方
向（横方向）の例として着目点の信号Ｓ。０をどのよう
に処理するかを第３図の信号配列を参照して述べる。

ＳＩ９＋Ｓ４０　　Ｘ　（ＳＯ２ＸＳＩＩＸＳＺｌｌ）
　＝　１の条件が満たされた時Ｓ。０の出力を０とする
。またＳ’１９＋Ｓ４０　　Ｘ　（ＳＯＺＸＳＩＩＸＳ
２１＋）　＝０の条件が満たされた時Ｓ０゜の出力をそ
のまま出力するつ但し、＋は論理和、×は論理積、　　
　　は論理否定を示す。

上式が１となる条件はＳ＋ｑ、Ｓａ。がともに０１Ｓｏ
ｚ＋　Ｓｌｌ＋　ｓｚｅがともに１であり、換言すれば
片方の漏光が大きく、もう一方では漏光がないという大
きなパターンの境界であることを意味している。このよ
うな領域では出力信号を削除する。

上記説明は０°方向について実施したが、他の４５°、
９０６方向等全部で８方向についても同様の処理を実施
し、いずれかの方向で上式が１になればＳｏ。の出力を
Ｏとする。その論理回路は第２図の下方に示されている
。

この処理を行うことにより大きなパターンは第４図のご
とく両側の各２ピントが削られるが、スルホール欠陥の
ような小さいパターンは第５図のごとくそのままの状態
である。

（ｇ）発明の詳細 な説明したように本発明によれば、プリント板に設けら
れたスルホールの欠陥を検査するに際し、スルホールの
欠点による漏光パターンとプリント板の透過光パターン
が明確に分離できるので検査の精度が向上する。　　　
゛

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のスルホール検査装置の構成を説明する
ための図、 第２図は本発明のフィルタ回路の説明図、第３図は信号
配列を示す図、 第４図および第５図は本発明のフィルタ回路を通して処
理された漏光パターンを示す図、第６図は従来のスルホ
ール検査装置の構成を説明するための図である。 図において、 １はプリント板、　　　２は照明光、 ３は遮光マスク、　　　　４はレンズ・５．６はＣＣＤ
、　　　７，８は２値化回路、９は遅延回路、　　　　
１０はフィルタ回路、１１は論理積回路、 １２、１３．１４はシフトレジスタ、 をそれぞれ示す。 第１− 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）透光性基板に導電層の内壁面を有するスルホール
   を形成した電気部材の照明側に遮光可能な手段と、照明
   側と反対側に配置された検出系によって透光性基板の漏
   光信号を得、該漏光信号を２値化する機能を介してスル
   ホール位置表示信号と欠陥信号を得てこれら両信号の論
   理積を求めて、当該スルホールの導電層の欠陥の有無を
   検出するスルホール検査装置において、漏光パターンの
   大きさを判別し、所定以上連続したパターンの周縁部を
   非パターンに反転する回路が設置されて成ることを特徴
   とするスルホール検査装置。
2. （２）上記漏光パターンの大きさを判別し、所定以上連
   続したパターンの周縁部を非パターンに反転する回路に
   おいて、二次元マトリックスフィルタ回路を用いたこと
   を特徴とするスルホール検査装置。