JPH0263185B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 (a) 産業上の利用分野 本発明は透光性基板に形成された導電層を有す
るスルホールに生ずるピンホール等の欠陥を検査
する装置に関するものである。

両面プリント板や多層プリント板には、それら
の基板に形成されている表裏プリント配線間や各
層プリント配線間の電気的接続のために、スルホ
ールが電気的或いは化学的メツキ法によりメツキ
されて形成される。

ところが、このスルホールのメツキ層が常に良
好な状態にあるとは限らず、切れ目、ピンホール
等の欠陥が生じ、この欠陥が接続目的を阻害し、
プリント板の信頼性を低下せしめるので、このよ
うな欠陥を予め検査する必要がある。

この検査方法として各種の検査方法が開発され
ており、本発明者も先に、『特願昭57−228672号
（特開昭59−125693号）』で一検査法を提案したが
まだ改良の余地がある。

(b) 従来の技術 第６図は本発明者等が先に『特願昭57−228672
号（特開昭59−125693号）』で提案したスルホー
ルの一検査方法である。

プリント板１は照明光２により照明され左から
右へ一定速度で移動させられる。スルホールがａ
点に達するとレンズ４により光検出器である
CCD５上にスルホール像が結像され、２値化回
路７により２値化されスルホールの位置を知る。

一定時間後、前記スルホールは照明側に遮光マ
スク３が配設されたa′点に達する。この点はレン
ズ４により光検出器であるCCD６上にスルホー
ル像が結像されており、もし、スルホールの内壁
を構成しているメツキ部に欠陥が有ると、プリン
ト板１に照射された照明光２がスルホールメツキ
部の欠陥部よりスルホール内部に入りCCD６か
ら欠陥漏光画像が得られ、２値化回路８により２
値化される。

スルホール画像は遅延回路９によりスルホール
がａ点からa′点に移動する時間遅らされ、AND
回路１１により両画像の論理積が求められ欠陥判
定される。

(c) 発明が解決しようとする問題点 上記構成のスルホール検査装置では、スルホー
ルの画像と漏光画像の単純な論理積を求め欠陥を
判定していた。ところが、ランドの縁にスルホー
ルがある場合、スルホール画像と、プリント板の
基材からの透過漏光画像とが接近してしまい、両
画像の２値化の際の量子化誤差や、位置合わせ誤
差によりスルホール画像と基材部からの透過漏光
画像が一部重なつてしまい、正常であるにもかか
わらず欠陥であると誤判定してしまう問題点が発
生する。

(d) 問題点を解決するための手段 上記の問題点は漏光画像のうち大きな画像の周
辺部を削り、小さな画像はそのまま通すフイルタ
回路を設け、このフイルタ回路を通した漏光画像
とスルホール画像との論理積を求めることにより
解決される。

(e) 作用 即ち、プリント板の基材部の漏光画像は大きな
塊であるのに対し、スルホール部からの漏光画像
は小さい塊であることに着目し、大きな漏光画像
の周辺部を削ることによつてプリント板の基材部
の漏光画像は細くなり、プリント板基材部の漏光
画像とスルホール画像との一部重なりが無くな
り、誤判定がなくなる。

(f) 実施例 以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に
説明する。

第１図は本発明の一実施例のスルホール検査装
置の構成を説明するための図である。

プリント板１は照明光２により照明され図示し
ないが保持台に乗せられ左から右へ一定速度で移
動させられ、スルホールが照明側に遮光するもの
がないａ点に達すると、レンズ４により光検出器
であるCCD５上にスルホール像が結像される。
ここではスルホールに照明光２が直接入り、
CCD５によつて信号が検出され、２値化回路７
により２値化されスルホールの画像位置を知る。

一定時間後、前記スルホールが照明側に遮光マ
スク３が配設されたa′点に達すると、レンズ４に
より光検出器であるCCD６上にスルホール像が
結像される。スルホールの内壁を構成しているメ
ツキ部に欠陥が無ければ、プリント板１に照射さ
れた照明光２は遮光マスク３によつて直接光が遮
られ、またプリント板１内の散乱光はスルホール
メツキ部で遮られ、スルホール内部に入れず
CCD６には信号が検出されない。もし、スルホ
ールメツキ部に欠陥があると、プリント板１に照
射された照明光２がスルホールメツキ部の欠陥部
からスルホール内部に入りCCD６によつて欠陥
信号が検出され、２値化回路８により２値化され
欠陥の有無を知る。

CCD５とCCD６で検出された信号はスルホー
ルがａ点からa′点に移動する時間だけずれるた
め、２値化回路７で２値化されたスルホール位置
信号は遅延回路９によりスルホールがａ点から
a′点に移動する時間遅らされる。

２値化回路８により２値化された信号はフイル
タ回路１０に入れられ、大きな漏光画像の周辺部
を削り、小さな漏光画像はそのまま残す処理が行
われる。

遅延回路９からの出力信号とフイルタ回路１０
からの出力信号は共にAND回路１１に入れられ、
両信号の論理積が求められてスルホールの欠陥が
判定される。

第２図は本発明に使用されるフイルタ回路１０
の一実施例である二次元マトリツクスフイルタ回
路を示す。漏光信号はCCD５およびCCD６と同
じビツトのシフトレジスタ１２に入力され、その
終端の出力信号は次列のシフトレジスタ１３に入
力され、さらにシフトレジスタ１３の終端の出力
信号は次列のシフトレジスタ１４に入力される。
このようにして順次７列のシフトレジスタが接続
されている。

このシフトレジスタの任意の７×７の領域から
信号を取り出しフイルタ処理を行うが、各レジス
タの位置とその信号名称の関係を第３図に示す。
ここで漏光信号有りを１、無しを０としたとき、
0゜方向（横方向）の例として着目点の信号S₀₀を
どのように処理するかを第３図の信号配列を参照
して述べる。

（₁₉＋₄₀）×（S₀₂×S₁₁×S₂₈）＝１の条件が満
たされた時S₀₀の出力を０とする。また（₁₉＋
S₄₀）×（S₀₂×S₁₁×S₂₈）＝０の条件の時S₀₀の出力
をそのまま出力する。但し、＋は論理和、×は論理
積、 は論理否定を示す。

上式が１となる条件はS₁₉、S₄₀がともに０、
S₀₂、S₁₁、S₂₈がともに１であり、換言すれば片
方の漏光が大きく、もう一方では漏光がないとい
う大きな画像の境界であることを意味している。
このような場合はS₀₀は０として出力される。

上記説明は0゜方向について実施したが、他の
45゜、90゜方向等全部で８方向についても同様の処
理を実施し、いずれかの方向で上式が１になれば
S₀₀の出力を０とする。その論理回路は第２図の
下方に示されている。

この処理を行うことにより大きな画像は第４図
のごとく両側の各２ビツトが削られるが、スルホ
ール欠陥のような小さい画像は第５図のごとくそ
のままの状態である。

(g) 発明の効果 以上説明したように本発明によれば、プリント
板に設けられたスルホールの欠陥を検査するに際
し、スルホールの画像とプリント板の透過漏光画
像が明確に分離できるので検査の精度が向上す
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のスルホール検査装置の構成を
説明するための図、第２図は本発明のフイルタ回
路の説明図、第３図は信号配列を示す図、第４図
および第５図は本発明のフイルタ回路を通して処
理された漏光画像を示す図、第６図は従来のスル
ホール検査装置の構成を説明するための図であ
る。 図において、１はプリント板、２は照明光、３
は遮光マスク、４はレンズ、５，６はCCD、７，
８は２値化回路、９は遅延回路、１０はフイルタ
回路、１１は論理積回路、１２，１３，１４はシ
フトレジスタ、をそれぞれ示す。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 導電層の内壁面を有するスルホールを形成し
   た透光性基板の一方の面側に照明手段と、スルホ
   ール部分を遮光する遮光手段を配置し、他方の面
   側に検出手段を配置し、スルホール透過光画像と
   該スルホールを遮光した時の漏光画像との論理積
   を求めて該スルホールの導電層の欠陥の有無を検
   出するスルホール検査装置において、漏光画像画
   素の連続性を判別し、所定画素以上連続した漏光
   画像の周縁部を非漏光画像画素に反転処理する回
   路が具備されていることを特徴とするスルホール
   検査装置。 ２ 上記反転する回路として二次元マトリツクス
   フイルタ回路を用いることを特徴とする特許請求
   の範囲第１項記載のスルホール検査装置。