JPS6197840U - - Google Patents
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- JPS6197840U JPS6197840U JP18405284U JP18405284U JPS6197840U JP S6197840 U JPS6197840 U JP S6197840U JP 18405284 U JP18405284 U JP 18405284U JP 18405284 U JP18405284 U JP 18405284U JP S6197840 U JPS6197840 U JP S6197840U
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- JP
- Japan
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- container
- inspected
- wafer
- probe card
- vertical movement
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 5
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 4
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 claims 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims 3
- 239000011324 bead Substances 0.000 claims 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案による研磨装置の一実施例を示
す側面図、第２図はプローブカードの一例の側面
図、第３図および第４図はいずれも従来装置の側
面図、第５図は針の先端部を示す側面図である。 １…プローブカード、３…接触針、６…容器、
７…研磨剤。
す側面図、第２図はプローブカードの一例の側面
図、第３図および第４図はいずれも従来装置の側
面図、第５図は針の先端部を示す側面図である。 １…プローブカード、３…接触針、６…容器、
７…研磨剤。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 研磨材を充填した容器と、 この容器を上下動させる上下動装置と、 を備え、 被検査ウエーハ内の被検査チツプ上の電極に接
触して検査信号および出力信号の授受を行う複数
の接触針が前記容器中の研磨材中に埋没および引
上げを行うように、前記容器上方に前記接触針を
移動させた後前記上下動装置により前記容器の上
下動を行うようにしたプローブカードの接触針研
磨装置。 ２ 上下動装置が被検査ウエーハを載置する検査
ステージと一体であり、かつこの検査ステージの
被検査ウエーハ載置面に隣接して容器が設けられ
た実用新案登録請求の範囲第１項記載のプローブ
カードの接触針研磨装置。 ３ 研磨材が炭化珪素粉末又はガラスビーズであ
る実用新案登録請求の範囲第１項又は第２項記載
のプローブカードの針研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18405284U JPS6197840U (ja) | 1984-12-04 | 1984-12-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18405284U JPS6197840U (ja) | 1984-12-04 | 1984-12-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6197840U true JPS6197840U (ja) | 1986-06-23 |
Family
ID=30741539
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18405284U Pending JPS6197840U (ja) | 1984-12-04 | 1984-12-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6197840U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH022939A (ja) * | 1988-06-13 | 1990-01-08 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置および検査方法 |
-
1984
- 1984-12-04 JP JP18405284U patent/JPS6197840U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH022939A (ja) * | 1988-06-13 | 1990-01-08 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置および検査方法 |
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