JPS6197845A - ウエハ位置検出装置 - Google Patents
ウエハ位置検出装置Info
- Publication number
- JPS6197845A JPS6197845A JP59219087A JP21908784A JPS6197845A JP S6197845 A JPS6197845 A JP S6197845A JP 59219087 A JP59219087 A JP 59219087A JP 21908784 A JP21908784 A JP 21908784A JP S6197845 A JPS6197845 A JP S6197845A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- finger
- handler
- photosensor
- laser beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/06—Apparatus for monitoring, sorting, marking, testing or measuring
- H10P72/0606—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
- H10P72/0608—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection of substrates stored in a container, a magazine, a carrier, a boat or the like
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/50—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for positioning, orientation or alignment
Landscapes
- Controlling Sheets Or Webs (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
従来キャリヤからウェハを搬出又は搬入するためにベル
トコンベア式の搬送装置およびハンド式の搬送装置が利
用されている。第１図は今までに知られているパンタグ
ラフ式のハンドラーを概略的に示した図である。このハ
ンドラーは、一端に設けられた＠ｌ＋３を中心として回
動自在なハンドアーム１と、ハンドアーム１の他端に軸
４を介して同じく回動自在に一端に連結されたハンドア
ーム２と、ハンドアーム２の他端に同じく枢動自在に連
結されたウェハー支持用フィンガー５とから構成されて
いる。なおハンドラ〜は、ハンドアーム１およびハンド
アーム２をそれぞれ対をなすように２木ずつ有している
。
トコンベア式の搬送装置およびハンド式の搬送装置が利
用されている。第１図は今までに知られているパンタグ
ラフ式のハンドラーを概略的に示した図である。このハ
ンドラーは、一端に設けられた＠ｌ＋３を中心として回
動自在なハンドアーム１と、ハンドアーム１の他端に軸
４を介して同じく回動自在に一端に連結されたハンドア
ーム２と、ハンドアーム２の他端に同じく枢動自在に連
結されたウェハー支持用フィンガー５とから構成されて
いる。なおハンドラ〜は、ハンドアーム１およびハンド
アーム２をそれぞれ対をなすように２木ずつ有している
。
第１図は、ハンドアーム１およびハンドアーム２を一直
線状に延ばし、ウェハーカセット６内に収納されたウェ
ハ７の裏側にフィンガー５を位置させた状態で示したも
のである。これに対し第２図は軸３の位置を固定点とし
て軸３に向ってフィンガー５を引込め、ウェハーカセッ
ト６からウェハー７を取り出した状態で示した図である
。ここでハンドアーム２は、軸３を中心としたアーム１
の回転に従って軸４を中心として折れ曲がるように回転
し、一方このときハンドアーム２の他端も同じく軸８を
中心としてフィンガー５に対して回転する。最終的にハ
ンドアーム１とハンドアーム２とが重なり合い、対をな
すアーム同士が直線状に向かい合うような位置まで移動
する。
線状に延ばし、ウェハーカセット６内に収納されたウェ
ハ７の裏側にフィンガー５を位置させた状態で示したも
のである。これに対し第２図は軸３の位置を固定点とし
て軸３に向ってフィンガー５を引込め、ウェハーカセッ
ト６からウェハー７を取り出した状態で示した図である
。ここでハンドアーム２は、軸３を中心としたアーム１
の回転に従って軸４を中心として折れ曲がるように回転
し、一方このときハンドアーム２の他端も同じく軸８を
中心としてフィンガー５に対して回転する。最終的にハ
ンドアーム１とハンドアーム２とが重なり合い、対をな
すアーム同士が直線状に向かい合うような位置まで移動
する。
上述したハンドラーの構成に依れば、ハンドアームはウ
ェハーの所定の移動距離の半分の長さを有する必要があ
る。更にキャリヤから取り出したウェハを装置本体へ送
り込む等の理由によりウェハを回転させる場合、ハンド
アーム１とハンドアーム２とが重なり合い、対をなすア
ーム同士が直線状に向かい合った状態で回転し、フィン
ガー面上に載置されたウェハの位置を変える必要がある
。このためハンドラーの作動に必要とされる占有面積が
広くなってしまう。
ェハーの所定の移動距離の半分の長さを有する必要があ
る。更にキャリヤから取り出したウェハを装置本体へ送
り込む等の理由によりウェハを回転させる場合、ハンド
アーム１とハンドアーム２とが重なり合い、対をなすア
ーム同士が直線状に向かい合った状態で回転し、フィン
ガー面上に載置されたウェハの位置を変える必要がある
。このためハンドラーの作動に必要とされる占有面積が
広くなってしまう。
これに加えて従来のハンドラーにおいてはハンドアーム
ｌおよびハンドアーム２がフィンガーに対して同じ角度
で傾斜するような機構を備えていなければならない。
ｌおよびハンドアーム２がフィンガーに対して同じ角度
で傾斜するような機構を備えていなければならない。
更に通常キャリヤ内には複数枚のウェハが収納されてい
るが、フィンガーを搬出すべき所望のウェハと隣接する
ウェハとの間に挿入するために、ウェハの位置を正確に
検知する必要がある。そこでウェハハンドラーにウェハ
位置検知機構を組み込んで使用するのが好ましい。
るが、フィンガーを搬出すべき所望のウェハと隣接する
ウェハとの間に挿入するために、ウェハの位置を正確に
検知する必要がある。そこでウェハハンドラーにウェハ
位置検知機構を組み込んで使用するのが好ましい。
それ放水発明の目的は、ウェハ搬送装置に都合良く使用
されるウェハ位置検知機構を提供することにある。
されるウェハ位置検知機構を提供することにある。
本発明のウェハ位置検出？装置が都合良く組み込まれる
ウェハ搬送装置のハンドラーは、一端に設けられた軸９
を中心として回動自在なハンドアーム１０と、ハンドア
ーム１０の他端に軸１１を介して同じく回動自在に一端
を連結されたハンドアーム１２と、ハンドアーム１２の
他端に同じく枢動自在に連結されたウェハー支持用フィ
ンガー５とから構成されている。なおハンドラーは、ハ
ンドアーム１０およびハンドアーム１２をそれぞれ対を
なすようｉこ２木ずつ有している。
ウェハ搬送装置のハンドラーは、一端に設けられた軸９
を中心として回動自在なハンドアーム１０と、ハンドア
ーム１０の他端に軸１１を介して同じく回動自在に一端
を連結されたハンドアーム１２と、ハンドアーム１２の
他端に同じく枢動自在に連結されたウェハー支持用フィ
ンガー５とから構成されている。なおハンドラーは、ハ
ンドアーム１０およびハンドアーム１２をそれぞれ対を
なすようｉこ２木ずつ有している。
第３図は、ハンドアーム１０およびハンドアーム１２を
一直線状に延ばし、ウェハーカセット６内に収容された
ウェハ７の裏側にフィンガー５を位置させた状態で示し
たものである。これに対し １第４図は軸９の位置
を固定点として軸９に向かってフィンガー５を引込め、
ウェハーカセット６からウェハー７を取り出した状態で
示した図である。ここでハンドアーム１２は、軸９を中
心としたアーム１０の回転に従って軸１１を中心として
折れ曲がるように回転し、一方このときハンドアーム１
２の他端も同じく軸１３を中心としてフィンガー５に対
して回転する。途中アーム１０とアーム１２とが重なり
合い、対をなすアーム同士が直線状に向かい合うような
位置（第２図参照）まで移動する。
一直線状に延ばし、ウェハーカセット６内に収容された
ウェハ７の裏側にフィンガー５を位置させた状態で示し
たものである。これに対し １第４図は軸９の位置
を固定点として軸９に向かってフィンガー５を引込め、
ウェハーカセット６からウェハー７を取り出した状態で
示した図である。ここでハンドアーム１２は、軸９を中
心としたアーム１０の回転に従って軸１１を中心として
折れ曲がるように回転し、一方このときハンドアーム１
２の他端も同じく軸１３を中心としてフィンガー５に対
して回転する。途中アーム１０とアーム１２とが重なり
合い、対をなすアーム同士が直線状に向かい合うような
位置（第２図参照）まで移動する。
このウェハ搬送装置のハンドラーにおいては、ハンドア
ーム１２は第２図に示されるような位置からウェハカセ
ット６と離れる方向へ軸１１を中心として回動する。最
終的にハンドアーム１０とハンドアーム１２は第３図の
状態と逆の方向に一直線状に延び、フィンガー５はハン
ドアーム１０および１２の上方に重なり合うように位置
する。
ーム１２は第２図に示されるような位置からウェハカセ
ット６と離れる方向へ軸１１を中心として回動する。最
終的にハンドアーム１０とハンドアーム１２は第３図の
状態と逆の方向に一直線状に延び、フィンガー５はハン
ドアーム１０および１２の上方に重なり合うように位置
する。
従ってこのハンドラーの場合、第１図に示された従来の
ハンドラーと比べてハンドアームの長さはウェハの所定
の移動距離の４分の１で良く極めてコンパクトなものと
なる。又第４図に示されるようにアーム１０および１２
ｆｔその大部分がフィンガー５面上に載置されたウェハ
７の真下に位置するため、ウェハ７を所望の方向に移動
させるためハンドラーを回転させるとき必要とされる占
有面積は極めて少なくなる。
ハンドラーと比べてハンドアームの長さはウェハの所定
の移動距離の４分の１で良く極めてコンパクトなものと
なる。又第４図に示されるようにアーム１０および１２
ｆｔその大部分がフィンガー５面上に載置されたウェハ
７の真下に位置するため、ウェハ７を所望の方向に移動
させるためハンドラーを回転させるとき必要とされる占
有面積は極めて少なくなる。
ここで上述したようなハンドアーム１０および１２の作
動を可能とする機構について第５図を参照して説明する
。
動を可能とする機構について第５図を参照して説明する
。
軸９はアーム１０と一体的に構成さ−れ、軸９の内部に
はプーリー１４が組み込まれている。一方軸１１はアー
ム１２と一体であるプーリーから構成され、プーリー１
４とプーリー１１との間にはタイミングベル）１５が掛
は渡されている。従ってプーリー１４を回転駆動させる
とタイミングベルト１５を介してプーリー１１に駆動力
が伝達される。
はプーリー１４が組み込まれている。一方軸１１はアー
ム１２と一体であるプーリーから構成され、プーリー１
４とプーリー１１との間にはタイミングベル）１５が掛
は渡されている。従ってプーリー１４を回転駆動させる
とタイミングベルト１５を介してプーリー１１に駆動力
が伝達される。
ここでフィンガー５を軸９に向かう方向へ引き寄せる際
直線的に移動させるためには、アーム１０の傾斜角度と
アーム１０とアーム１２とのなる開き角度とが１：２の
関係を常に維持するようにプーリー１４の駆動力を定め
なければならな、１６図および第７図はそれぞれ１本発
明のウェハハンドラーにウェハ位置検知機構を組み込ん
だ実施例の側面図および平面図である。前述のとおりカ
セット６内には複数枚のウェハ７が収納されているが、
フィンガー５を搬出すべき所望のウェハ７と隣接するウ
ェハ７との間に挿入するためには、ウェハの位置を正確
に検知する必要がある。
直線的に移動させるためには、アーム１０の傾斜角度と
アーム１０とアーム１２とのなる開き角度とが１：２の
関係を常に維持するようにプーリー１４の駆動力を定め
なければならな、１６図および第７図はそれぞれ１本発
明のウェハハンドラーにウェハ位置検知機構を組み込ん
だ実施例の側面図および平面図である。前述のとおりカ
セット６内には複数枚のウェハ７が収納されているが、
フィンガー５を搬出すべき所望のウェハ７と隣接するウ
ェハ７との間に挿入するためには、ウェハの位置を正確
に検知する必要がある。
そこでウェハハンドラーにウェハ位置検知機構を組み込
んで使用するのが好ましい。本発明のウェハ位置検知機
構の基本的な構成は、レーザー源１６と、カセット６の
裏側に配置され、レーザー源１６から出たレーザー２０
をカセットに格納されたウェハの断面方向゛に射出する
ためのミラー１７と、該レーザー光２０を検出する為の
ホトセンサ１９を有する。そして該ホトセンサ１９の高
さ方向位置は、フィンガー５といつも同じ高さになるよ
うに、フィンガー５を駆動する昇降機構２３と同期して
動くように構成されている。すなわちネジ２４を回転す
るモータ２５と、昇降装置２３とは指令装置２６から同
時に指令信号をもらうようになっている。本発明例では
モータ２５でホトセンサ１９を上下しているが、昇降装
置からベルト等で結合し、上下を行っても良いことは明
らかである。
んで使用するのが好ましい。本発明のウェハ位置検知機
構の基本的な構成は、レーザー源１６と、カセット６の
裏側に配置され、レーザー源１６から出たレーザー２０
をカセットに格納されたウェハの断面方向゛に射出する
ためのミラー１７と、該レーザー光２０を検出する為の
ホトセンサ１９を有する。そして該ホトセンサ１９の高
さ方向位置は、フィンガー５といつも同じ高さになるよ
うに、フィンガー５を駆動する昇降機構２３と同期して
動くように構成されている。すなわちネジ２４を回転す
るモータ２５と、昇降装置２３とは指令装置２６から同
時に指令信号をもらうようになっている。本発明例では
モータ２５でホトセンサ１９を上下しているが、昇降装
置からベルト等で結合し、上下を行っても良いことは明
らかである。
フィンガー５とレーザー光路とのレベルの差による位置
補正の必要をなくすために、フィンガー５とレーザー光
路とのレベルを極めて近接させるのが好ましい。なお、
光源として、レーザーを用いる理由はレーザーは直進性
がすぐれているため直線形状の物体の位置検知に適して
いるからである０以上の構成でウェハハンドラー（フィ
ンガー５）が仮に上方から下方へ移動する時、その間に
ウェハが存在すればレーザー光２０はウェハによりさえ
ぎられ、ホトセンサ１９の入射光は減少し、反対にウェ
ハが有れば入射光は増え、ウェハの有無を知ることが出
来る。この関係を第８図に示す。光源としてレーザー以
外の例えばＬＥＤ等を用いた場合には光源からの光はあ
る程度の広がりをもつため、この広がった光で位置を検
知したい所望のウェハが光路を遮断することを検出する
ことは極めて困難である。
補正の必要をなくすために、フィンガー５とレーザー光
路とのレベルを極めて近接させるのが好ましい。なお、
光源として、レーザーを用いる理由はレーザーは直進性
がすぐれているため直線形状の物体の位置検知に適して
いるからである０以上の構成でウェハハンドラー（フィ
ンガー５）が仮に上方から下方へ移動する時、その間に
ウェハが存在すればレーザー光２０はウェハによりさえ
ぎられ、ホトセンサ１９の入射光は減少し、反対にウェ
ハが有れば入射光は増え、ウェハの有無を知ることが出
来る。この関係を第８図に示す。光源としてレーザー以
外の例えばＬＥＤ等を用いた場合には光源からの光はあ
る程度の広がりをもつため、この広がった光で位置を検
知したい所望のウェハが光路を遮断することを検出する
ことは極めて困難である。
これ以外にＴＶ右カメラでウェハの断面をみる方法も考
えられるが、ＴＶ右カメラ用いる場合はカメラレンズの
焦点合わせが必要となる。ところかカセット内に収容さ
れたウェハはウェハの出し入れ方向においてかなり位置
のバラツキが大きいため正しい焦点合わせができず、精
密な位置検知には適さない。加うるにＴＶ右カメラ高価
で大きく複雑である。
えられるが、ＴＶ右カメラ用いる場合はカメラレンズの
焦点合わせが必要となる。ところかカセット内に収容さ
れたウェハはウェハの出し入れ方向においてかなり位置
のバラツキが大きいため正しい焦点合わせができず、精
密な位置検知には適さない。加うるにＴＶ右カメラ高価
で大きく複雑である。
要するにレーザーを用いたウェハの位置検知法は、光路
が直線的であるために上下の隣接するウェハによる影響
がないばかりか、焦点合わせも不要であるため収容され
たウェハの出し入れ方向に沿った位置のバラツキによる
検知精度の低下もない。
が直線的であるために上下の隣接するウェハによる影響
がないばかりか、焦点合わせも不要であるため収容され
たウェハの出し入れ方向に沿った位置のバラツキによる
検知精度の低下もない。
ここで参照番号２１は、フィンガー５をカセット６から
抜き出すためにハンドアーム１０および１２を折り曲げ
るためのハンドアーム伸縮用駆動部である一宸ロａ禾会
９７１士フィン引゛−６而１−１７ ；並置されたウェ
ハ７の向きを変えるためにハンドラーを回転させるとき
使用されるハンドラ一回転田七−タである。
抜き出すためにハンドアーム１０および１２を折り曲げ
るためのハンドアーム伸縮用駆動部である一宸ロａ禾会
９７１士フィン引゛−６而１−１７ ；並置されたウェ
ハ７の向きを変えるためにハンドラーを回転させるとき
使用されるハンドラ一回転田七−タである。
更に参照番号２３はハンドラー昇降機構であり、カセッ
ト６内に収容された任意の位置のウェハ７を取り出すた
めにフィンガー５の高さを所望のレベルに変えることが
できる。
ト６内に収容された任意の位置のウェハ７を取り出すた
めにフィンガー５の高さを所望のレベルに変えることが
できる。
第１図は従来のハンドラーを延ばした状態で示した図。
第２図は第１図のハンドラーを折り曲げた状態で示した
図、 第３図は搬送装置のハンドラーを延ばした状態で示した
図。 第４図は第３図のハンドラーを折り曲げた状態で示した
図、 第５図は第３図に示されたハンドラーのアームの駆動機
構を示した図、 第６図および第７図はそれぞれ、ハンドラーに本発明の
ウェハ位置検知機構を組み込んだ実施例の側面図および
平面図、 第８図はウニ／＼位置とホトセンサの検出光強度との関
係を示した図である。 ５−一一一フィンガー ９−一一一軸１０．１２−一
−−ハンドアーム １１．１４−−−−プーリー １５−−−一タイミングベルト
図、 第３図は搬送装置のハンドラーを延ばした状態で示した
図。 第４図は第３図のハンドラーを折り曲げた状態で示した
図、 第５図は第３図に示されたハンドラーのアームの駆動機
構を示した図、 第６図および第７図はそれぞれ、ハンドラーに本発明の
ウェハ位置検知機構を組み込んだ実施例の側面図および
平面図、 第８図はウニ／＼位置とホトセンサの検出光強度との関
係を示した図である。 ５−一一一フィンガー ９−一一一軸１０．１２−一
−−ハンドアーム １１．１４−−−−プーリー １５−−−一タイミングベルト
Claims (2)
- （１）レーザー源と、レーザー源から出たレーザー光を
隣接するウェハ間へ向け射出するためのミラーと、ミラ
ーによって反射されたレーザー光を検出するためのホト
センサとを有するウェハ位置検出装置。 - （２）前記ホトセンサとミラーは同期的に移動可能であ
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のウェハ
位置検出装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59219087A JPS6197845A (ja) | 1984-10-18 | 1984-10-18 | ウエハ位置検出装置 |
| US07/094,076 US4806773A (en) | 1984-10-18 | 1987-09-04 | Wafer position detecting method and apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59219087A JPS6197845A (ja) | 1984-10-18 | 1984-10-18 | ウエハ位置検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6197845A true JPS6197845A (ja) | 1986-05-16 |
Family
ID=16730054
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59219087A Pending JPS6197845A (ja) | 1984-10-18 | 1984-10-18 | ウエハ位置検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6197845A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01144647A (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-06 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体ウエハ計数装置 |
| CN102554924A (zh) * | 2010-12-15 | 2012-07-11 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 机械手定位装置及传送系统 |
-
1984
- 1984-10-18 JP JP59219087A patent/JPS6197845A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01144647A (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-06 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体ウエハ計数装置 |
| CN102554924A (zh) * | 2010-12-15 | 2012-07-11 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 机械手定位装置及传送系统 |
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