JPS6197877A - 電歪効果素子 - Google Patents
電歪効果素子Info
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- JPS6197877A JPS6197877A JP59219006A JP21900684A JPS6197877A JP S6197877 A JPS6197877 A JP S6197877A JP 59219006 A JP59219006 A JP 59219006A JP 21900684 A JP21900684 A JP 21900684A JP S6197877 A JPS6197877 A JP S6197877A
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- Japan
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- layers
- electrostrictive
- internal electrode
- layer
- powder
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
Landscapes
- Laminated Bodies (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は電歪効果素子に係わり、特に電歪材と内部電極
材とが層状に複数枚一体化形成された積層型の電歪効果
素子に関するものである。
材とが層状に複数枚一体化形成された積層型の電歪効果
素子に関するものである。
従来、第２図に示すように電歪材層１と内部電極層２と
を複数枚積み重ねて熱圧着一体化した後、焼結して形成
された電歪効果素子３では電歪材層１と内部電極層２と
の間の接着力を大きくするために内部電極材料に銀粉末
とパラジウム粉末と白金粉末などの金属粉の焼結体と複
合ペロブスカイト化合物からなる電歪材とを一定の比率
で混合して用いている。これは、内部電極材料に金属と
電歪材との混合物を用いることによジ電歪材層１と内部
電極層２との間の接着力が大幅に増加する現象を利用す
るためである。
を複数枚積み重ねて熱圧着一体化した後、焼結して形成
された電歪効果素子３では電歪材層１と内部電極層２と
の間の接着力を大きくするために内部電極材料に銀粉末
とパラジウム粉末と白金粉末などの金属粉の焼結体と複
合ペロブスカイト化合物からなる電歪材とを一定の比率
で混合して用いている。これは、内部電極材料に金属と
電歪材との混合物を用いることによジ電歪材層１と内部
電極層２との間の接着力が大幅に増加する現象を利用す
るためである。
金属粉としては、白金粉末、パラジウム粉末。
など貴金属の粉が使用できるが、電歪効果素子の値段を
安くするために、銀粉末とパラジウム粉末との金属粉の
焼結体が通常使用されている。
安くするために、銀粉末とパラジウム粉末との金属粉の
焼結体が通常使用されている。
しかし、内部電極層２を構成する金属に銀粉末。
パラジウム粉末の混合粉末を用いた電歪効果素子３では
電歪材層１と内部電極Ｎ２との間の接着力に層毎のバラ
ンをがあジ、かつ接着力が大幅に減少することが起こる
。この接着力のバラツキの傾向は電歪効果素子３の最外
ｊ脅の内部電極層２と最外層の電歪材層１との間の接着
力が最も小さく、中間層の内部電極層２と中間層の電歪
材層１との間の接着力が最も大きい。この傾向を示す原
因としては、セラミックスの熱伝導が焼結時に、内部電
極層２の温度上昇に影響を与えるため、最外層の電歪材
層１はど焼結時に高温にさらされている時間が長くなる
。そのため、電歪材と内部電極材料の金属成分である銀
が化学反応し、このため内部′成極層２と電歪材層１と
の接着力が低下する。
電歪材層１と内部電極Ｎ２との間の接着力に層毎のバラ
ンをがあジ、かつ接着力が大幅に減少することが起こる
。この接着力のバラツキの傾向は電歪効果素子３の最外
ｊ脅の内部電極層２と最外層の電歪材層１との間の接着
力が最も小さく、中間層の内部電極層２と中間層の電歪
材層１との間の接着力が最も大きい。この傾向を示す原
因としては、セラミックスの熱伝導が焼結時に、内部電
極層２の温度上昇に影響を与えるため、最外層の電歪材
層１はど焼結時に高温にさらされている時間が長くなる
。そのため、電歪材と内部電極材料の金属成分である銀
が化学反応し、このため内部′成極層２と電歪材層１と
の接着力が低下する。
内部電極ＷＩ２の金属として銀粉末、パラジウム粉末を
用いた従来の電歪効果素子３では最外層の電歪材層１と
最外層の内部電極層２との間の接着力が特に弱くなり、
電歪効果素子３の駆ｆｉＪＪを行うと内部電極層２にク
ラックが入るという欠点がある０ 〔問題点を解決するための手段〕 本発明の目的はこのような従来の欠点を解消した電歪効
果素子を提供することにある。
用いた従来の電歪効果素子３では最外層の電歪材層１と
最外層の内部電極層２との間の接着力が特に弱くなり、
電歪効果素子３の駆ｆｉＪＪを行うと内部電極層２にク
ラックが入るという欠点がある０ 〔問題点を解決するための手段〕 本発明の目的はこのような従来の欠点を解消した電歪効
果素子を提供することにある。
本発明によれば銀を含有する合金材と電歪材とからなる
第１の内部電極層全内部の積層体側に配設し、銀を含有
しない金属または合金材と電歪材からなる第２の内部電
極層を外部の積層体側に配設させて電歪材層とが層状に
複数枚積層させたこと全特徴とする電歪効果素子が得ら
れる。
第１の内部電極層全内部の積層体側に配設し、銀を含有
しない金属または合金材と電歪材からなる第２の内部電
極層を外部の積層体側に配設させて電歪材層とが層状に
複数枚積層させたこと全特徴とする電歪効果素子が得ら
れる。
以下、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例の斜視図である。
本実施例で用いた電歪材は複合ペロプスカイト化合物で
あるニッケル・ニオブ酸ジルコン酸チタ／ｒＲ鉛であり
、化学式で表現するとＰｂ（（Ｎｉｔ７３Ｎｂｚ／３）
ｏ、５Ｚｒｏ、ａｓ Ｔｉｏ、ｔｓ ）０３でおる０こ
の電歪材は温度１１２０℃で２時間〃口熱することによ
り焼結できる。
あるニッケル・ニオブ酸ジルコン酸チタ／ｒＲ鉛であり
、化学式で表現するとＰｂ（（Ｎｉｔ７３Ｎｂｚ／３）
ｏ、５Ｚｒｏ、ａｓ Ｔｉｏ、ｔｓ ）０３でおる０こ
の電歪材は温度１１２０℃で２時間〃口熱することによ
り焼結できる。
内部電極材の金属として銀粉末とパラジウム粉末ｆＶ型
混合器などで混合し、それにビヒクルを添）Ｊｕ して
ペースト化したものを使用しである。前述のペーストに
電歪材を重量比８５対１５になる ５ように添
加したもの全周いた。
混合器などで混合し、それにビヒクルを添）Ｊｕ して
ペースト化したものを使用しである。前述のペーストに
電歪材を重量比８５対１５になる ５ように添
加したもの全周いた。
上述の電歪材と内部電極材とを用いて第１図に示す積層
構造の電歪効果素子（以後素子と略称）３３を作った。
構造の電歪効果素子（以後素子と略称）３３を作った。
この素子３３の寸法は２ ｍｓ Ｘ ３ ｍ×９−であ
る。
る。
次に素子３３の構造について説明する。
素子３３は９醜の縦方向に内部電極層２２と電歪材層１
１とを積み重さねた構造であり、Ａ面およびＢ面が素子
３３の作用面である。
１とを積み重さねた構造であり、Ａ面およびＢ面が素子
３３の作用面である。
本実施例では５０層の厚さ約５μｍの前述の銀粉末とパ
ラジウム粉末との焼結体からなる内部電極材のＲを有し
ており、その間に厚さ約１１５μｍの電歪材層１１がは
さまっている。また内部電極層２２の最上層と最下層の
外側に電歪材層１１からなる保獲層１１Ａ、ＩＩＢかめ
る。
ラジウム粉末との焼結体からなる内部電極材のＲを有し
ており、その間に厚さ約１１５μｍの電歪材層１１がは
さまっている。また内部電極層２２の最上層と最下層の
外側に電歪材層１１からなる保獲層１１Ａ、ＩＩＢかめ
る。
ここで内部電極Ｎ２２を上層かり整数番号を付けて呼称
する。従来１番目と５００番目内部電極層２２と保ａ！
１１５ｔＩＡおよびＩＩＢとの間の接着力が最も小さく
なることから、本実施例では１番目、２番目、４９番目
、５０番目の内部電極層２２の金属を銀粉末とパラジウ
ム粉末との焼結体から白金に置換したものを用いた。白
金ペーストに電歪材を重量比で８５対１５になるように
添加して使用した。
する。従来１番目と５００番目内部電極層２２と保ａ！
１１５ｔＩＡおよびＩＩＢとの間の接着力が最も小さく
なることから、本実施例では１番目、２番目、４９番目
、５０番目の内部電極層２２の金属を銀粉末とパラジウ
ム粉末との焼結体から白金に置換したものを用いた。白
金ペーストに電歪材を重量比で８５対１５になるように
添加して使用した。
本実施例では上述したように上下共に２層分の内部電極
層２２を置換したが、置換する層数および個所は素子３
３に要求される性能から決められる。また白金は高価で
あるので素子３３の値段からも決められる。
層２２を置換したが、置換する層数および個所は素子３
３に要求される性能から決められる。また白金は高価で
あるので素子３３の値段からも決められる。
これをＪ Ｉ ５−Ｒ−１６０１（ファインセラミック
スの曲げ試験方法）にもとずいて２ ｍ Ｘ ３ ｔａ
ｎ Ｘ９間の素子を２個直列にエボキン樹脂接着剤で接
続したサンプルの曲げ強度試験を実施した０その結果全
従来例と対比して第１表に示す０第１表 従来例の素子では最外層から割れるが、本実施例の素子
ではほぼランダムな個所で割れた０なお本実施例では内
部電極層２２に銀粉末とパラジウム粉末との焼結体と白
金粉末の焼結体とを用いたが、白金粉末のかわりにパラ
ジウム粉末・白金粉末・金粉末などの貴金属粉末を用い
ることによっても充分な効果が得られることは勿論であ
る０ 〔発明の効果〕 以上、説明し友ように本発明は、２種類以上の導電材を
内部電極として用いることにより、内部電極層と電歪材
層との接着力が均一になる効果がある。
スの曲げ試験方法）にもとずいて２ ｍ Ｘ ３ ｔａ
ｎ Ｘ９間の素子を２個直列にエボキン樹脂接着剤で接
続したサンプルの曲げ強度試験を実施した０その結果全
従来例と対比して第１表に示す０第１表 従来例の素子では最外層から割れるが、本実施例の素子
ではほぼランダムな個所で割れた０なお本実施例では内
部電極層２２に銀粉末とパラジウム粉末との焼結体と白
金粉末の焼結体とを用いたが、白金粉末のかわりにパラ
ジウム粉末・白金粉末・金粉末などの貴金属粉末を用い
ることによっても充分な効果が得られることは勿論であ
る０ 〔発明の効果〕 以上、説明し友ように本発明は、２種類以上の導電材を
内部電極として用いることにより、内部電極層と電歪材
層との接着力が均一になる効果がある。
第１図は本発明一実施例の電歪効果素子の斜視図０
第２図は従来の電歪効果素子の斜視図。
１．１１・・・・・・電歪材層、ＩＩＡ、ＩＩＢ・・・
・・・保護層、２，２２・・・・・・内部″ＯＬ極層、
３，３３・・・・・・電歪効果素子。 千 ２ 面 春 り
・・・保護層、２，２２・・・・・・内部″ＯＬ極層、
３，３３・・・・・・電歪効果素子。 千 ２ 面 春 り
Claims (1)
- 銀を含有する合金材と電歪材とからなる第１の内部電
極層を内部の積層体側に配設し、銀を含有しない金属ま
たは合金材と電歪材とからなる第２の内部電極層を外部
の積層体側に配設させて、電歪材層を介して、層状に複
数枚積層させたことを特徴とする電歪効果素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59219006A JPS6197877A (ja) | 1984-10-18 | 1984-10-18 | 電歪効果素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59219006A JPS6197877A (ja) | 1984-10-18 | 1984-10-18 | 電歪効果素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6197877A true JPS6197877A (ja) | 1986-05-16 |
Family
ID=16728782
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59219006A Pending JPS6197877A (ja) | 1984-10-18 | 1984-10-18 | 電歪効果素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6197877A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4961806A (en) * | 1986-12-10 | 1990-10-09 | Sanders Associates, Inc. | Method of making a printed circuit |
| US5097390A (en) * | 1986-12-10 | 1992-03-17 | Interflex Corporation | Printed circuit and fabrication of same |
| US5214571A (en) * | 1986-12-10 | 1993-05-25 | Miraco, Inc. | Multilayer printed circuit and associated multilayer material |
| US5245734A (en) * | 1989-11-14 | 1993-09-21 | Battelle Memorial Institute | Multilayer piezoelectric actuator stack and method for its manufacture |
-
1984
- 1984-10-18 JP JP59219006A patent/JPS6197877A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4961806A (en) * | 1986-12-10 | 1990-10-09 | Sanders Associates, Inc. | Method of making a printed circuit |
| US5097390A (en) * | 1986-12-10 | 1992-03-17 | Interflex Corporation | Printed circuit and fabrication of same |
| US5214571A (en) * | 1986-12-10 | 1993-05-25 | Miraco, Inc. | Multilayer printed circuit and associated multilayer material |
| US5245734A (en) * | 1989-11-14 | 1993-09-21 | Battelle Memorial Institute | Multilayer piezoelectric actuator stack and method for its manufacture |
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