JPS6199264A - マイクロ波放電光源装置 - Google Patents
マイクロ波放電光源装置Info
- Publication number
- JPS6199264A JPS6199264A JP59219926A JP21992684A JPS6199264A JP S6199264 A JPS6199264 A JP S6199264A JP 59219926 A JP59219926 A JP 59219926A JP 21992684 A JP21992684 A JP 21992684A JP S6199264 A JPS6199264 A JP S6199264A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- waveguide
- microwave
- light source
- light
- discharge light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J65/00—Lamps without any electrode inside the vessel; Lamps with at least one main electrode outside the vessel
- H01J65/04—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels
- H01J65/042—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field
- H01J65/044—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field the field being produced by a separate microwave unit
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01P—WAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
- H01P7/00—Resonators of the waveguide type
- H01P7/06—Cavity resonators
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Circuit Arrangements For Discharge Lamps (AREA)
- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は発生する光を好ましく・状態で使用できるよ
うに改良されたマイクロ波放電光源装置に関するもので
ある。
うに改良されたマイクロ波放電光源装置に関するもので
ある。
マイクロ波放電を利用した光源装置として１例えば第５
図のような特願昭５９−３９９８０号で提案されている
ものがある。図において、（１）はマイクロ波発振器で
あるマグネトロン、（２）はマグネトロンアンテナ、（
３）は端部にこのマイクロ波発振器を装着した導波管、
（５ｊはマイクロ波共振空胴で、導波管（３）の他端部
に接続された空胴壁（６）と円筒の金属メツシュよりな
る光透過性部材（力とから構成される。（８）は空胴壁
（６）に設けられた給電口で、導波管（３１よりマイク
ロ波共振空胴（５）内にマイクロ波を給電するものであ
る。（９１ハマイクロ波共振空胴（５）内に配設された
球形のランプで中に希ガスや水銀等か封入され１石英ガ
ラスのような透光体でできている。のυはランプ（９）
の外壁から伸びたランプ支持部で５Ｆはり石英カラスの
ような誘電体であり。
図のような特願昭５９−３９９８０号で提案されている
ものがある。図において、（１）はマイクロ波発振器で
あるマグネトロン、（２）はマグネトロンアンテナ、（
３）は端部にこのマイクロ波発振器を装着した導波管、
（５ｊはマイクロ波共振空胴で、導波管（３）の他端部
に接続された空胴壁（６）と円筒の金属メツシュよりな
る光透過性部材（力とから構成される。（８）は空胴壁
（６）に設けられた給電口で、導波管（３１よりマイク
ロ波共振空胴（５）内にマイクロ波を給電するものであ
る。（９１ハマイクロ波共振空胴（５）内に配設された
球形のランプで中に希ガスや水銀等か封入され１石英ガ
ラスのような透光体でできている。のυはランプ（９）
の外壁から伸びたランプ支持部で５Ｆはり石英カラスの
ような誘電体であり。
ランプ止めネジ０１でランプ（９）を空胴壁（６）に固
定してし・る。０υはマイクロ波共振空胴（５）から放
射された光を反射する光反射板、ａｚはマグネトロン（
１）やランプ（９）を冷却する冷却ファンで、（４）は
冷却風を導波管内へ導ひく通風口、 ｉ＋３１は全体を
覆う箱体である。
定してし・る。０υはマイクロ波共振空胴（５）から放
射された光を反射する光反射板、ａｚはマグネトロン（
１）やランプ（９）を冷却する冷却ファンで、（４）は
冷却風を導波管内へ導ひく通風口、 ｉ＋３１は全体を
覆う箱体である。
この装置の動作は次のようである。マグネトロン＋１）
で発振さ１圭だマイクロ波はマグネトロンアンテナ（２
）から導波管（３）へ伝搬モードとして励振される。こ
のマイクロ波は給電口（８）を通じて空胴壁（６）、
と光透過性部材（７）とで囲まれたマイク
ロ波共振空胴（５）へ給電される。このマイクロ波によ
ってランプ（９１中の希ガスが放電し、このエネルギー
でランプ壁が加熱され、封入された水銀等が蒸発、ガス
化して放電は水銀等の金属ガスの放電が主となり。
で発振さ１圭だマイクロ波はマグネトロンアンテナ（２
）から導波管（３）へ伝搬モードとして励振される。こ
のマイクロ波は給電口（８）を通じて空胴壁（６）、
と光透過性部材（７）とで囲まれたマイク
ロ波共振空胴（５）へ給電される。このマイクロ波によ
ってランプ（９１中の希ガスが放電し、このエネルギー
でランプ壁が加熱され、封入された水銀等が蒸発、ガス
化して放電は水銀等の金属ガスの放電が主となり。
ガスの紳類にＬしじたスペクトルで発光する。
光透過性部材（７）はマイクロ波に対しては金属と同様
１反射するように作用し、光はメツンユ開口部から透過
するようになっている。すなわち、マイクロ波には不透
明体として、光には透明体として働く。したがって、ラ
ンプ（９）からの光はマイクロ波共振空胴（５）から外
へ放射され、光反射板０υで反射される０光反射板α０
は光の用途により神々の形状に設計される。
１反射するように作用し、光はメツンユ開口部から透過
するようになっている。すなわち、マイクロ波には不透
明体として、光には透明体として働く。したがって、ラ
ンプ（９）からの光はマイクロ波共振空胴（５）から外
へ放射され、光反射板０υで反射される０光反射板α０
は光の用途により神々の形状に設計される。
上記のような従来のマイクロ波放電光源装置では、導波
管（３）が光の放射方向の後方に伸びており後方に多く
の空間を占有する。したがって、光源と被照射面の距離
が近づき、被照射面の端部ては光線が広がったものとな
り、平行光が要求されるも′は満足′性能が得ら１な゛
問題点がありた・ １この発明はかかる問題点
を解決するためになされたもので、光源と被照射面の距
離が近づかないように装置の奥行きを浅くできるマイク
ロ阪放電光源装置ケ提供することを目的とする。
管（３）が光の放射方向の後方に伸びており後方に多く
の空間を占有する。したがって、光源と被照射面の距離
が近づき、被照射面の端部ては光線が広がったものとな
り、平行光が要求されるも′は満足′性能が得ら１な゛
問題点がありた・ １この発明はかかる問題点
を解決するためになされたもので、光源と被照射面の距
離が近づかないように装置の奥行きを浅くできるマイク
ロ阪放電光源装置ケ提供することを目的とする。
１問題点を解決するだめの手段〕
この発明によるマイクロ波放電光源装置は、マイクロ波
発揚器が装着された側の導波管軸の向きと、給１５口の
而が直交しな（・ように構成したものである。
発揚器が装着された側の導波管軸の向きと、給１５口の
而が直交しな（・ように構成したものである。
この発明におけるマイクロ波放電光源装置は。
導波管がランプを有するマイクロ波共振空胴の後方に伸
びない構成となり、装置の奥行きを浅（する。
びない構成となり、装置の奥行きを浅（する。
以１：′９この発明の一実施例を図についで説明する。
第１図はこの発明の一実施例によるマイクロ汲放′亀光
諒装置を示す要部断１図であり、給電口（８）の面と、
マグネトロン（１）が装着された側の導波管軸の向きは
直交しないように、導波管（３）にコーナ部を設けてい
る。ｃ３１）はこのような導波管のコーナ部を示す。こ
こで、導波管（３）は方形導波管で７第１図は、電界Ｅ
に垂直な断面図であり、コーナ部はＥコーナである。一
方、第２図は第１図に示される導波管、共振空胴中の電
界Ｅ、電磁界の分布を示す断面図である。図において、
実線Ｅは電気力線すなわち電界を示し、小円Ｈｉａ磁力
線すなわち磁界を示す。又、ここで、マイクロ波共振空
胴（５）は円筒形である。導波管（３）中のモードは方
形ＴＩＪＱモードであり、マイクロ波共振望胴（５）中
のモードは円筒のＴＫＩＮモード、すなわち、どの方向
にも電磁界の山が１つあるモードで励振されている。導
波管（３）中のＴＪＱモードはコーナ部ｃ３１）で図の
ように、電界、磁界の向きが共に変えられる。この場合
は、コーナ部Ｌ３１）の角度θを４５°にして、電界、
磁界の向きを直角に変えて（・る。したがって。
諒装置を示す要部断１図であり、給電口（８）の面と、
マグネトロン（１）が装着された側の導波管軸の向きは
直交しないように、導波管（３）にコーナ部を設けてい
る。ｃ３１）はこのような導波管のコーナ部を示す。こ
こで、導波管（３）は方形導波管で７第１図は、電界Ｅ
に垂直な断面図であり、コーナ部はＥコーナである。一
方、第２図は第１図に示される導波管、共振空胴中の電
界Ｅ、電磁界の分布を示す断面図である。図において、
実線Ｅは電気力線すなわち電界を示し、小円Ｈｉａ磁力
線すなわち磁界を示す。又、ここで、マイクロ波共振空
胴（５）は円筒形である。導波管（３）中のモードは方
形ＴＩＪＱモードであり、マイクロ波共振望胴（５）中
のモードは円筒のＴＫＩＮモード、すなわち、どの方向
にも電磁界の山が１つあるモードで励振されている。導
波管（３）中のＴＪＱモードはコーナ部ｃ３１）で図の
ように、電界、磁界の向きが共に変えられる。この場合
は、コーナ部Ｌ３１）の角度θを４５°にして、電界、
磁界の向きを直角に変えて（・る。したがって。
給電口（８）の導波管側の電磁界モードは、第２図で示
すｌＬ／）導波管長さがたとえ７管内波長以下の短いも
のでも＋ＴＥ！１０に非常に近〜・モードになる。よっ
て、第５図の提案例に示す円筒のマイクロ波共振空胴と
則じものが、この発明の構成のマイクロ波共振空胴とし
て使用できる。すなわち、方形導波管の’ｒｘ１０モー
ドから１円筒共振空胴の’ｒＥ１ｊｊモ−ドか第２図の
ように良好に励振てきるのである。
すｌＬ／）導波管長さがたとえ７管内波長以下の短いも
のでも＋ＴＥ！１０に非常に近〜・モードになる。よっ
て、第５図の提案例に示す円筒のマイクロ波共振空胴と
則じものが、この発明の構成のマイクロ波共振空胴とし
て使用できる。すなわち、方形導波管の’ｒｘ１０モー
ドから１円筒共振空胴の’ｒＥ１ｊｊモ−ドか第２図の
ように良好に励振てきるのである。
ただし ｌが小ざい場合は、導波管側のモードがＴＥｌ
ｏと全（同一ではないために、給電口の形状は第５図の
ものと少し変える必賛が生ずる場合もあるか、空胴は同
一のものが使える。
ｏと全（同一ではないために、給電口の形状は第５図の
ものと少し変える必賛が生ずる場合もあるか、空胴は同
一のものが使える。
−例として、特願昭５９−３９９８０号で提案されたと
同じ、導波管（３）の断面形状か９５ｍｍｘ ５４ｍｙ
ｔの方形のもので、マイクロ波共振空胴（５）は直径８
０間、高さ９０ｍｍの円筒空胴で、ランプ（９）は直径
３０ｍｍの球形に、 Ａｒ ６０ ｔｏｒｒ、 Ｈｇ１
００１）１封入したものを用い、導波管のコーナ部とし
て、第２図のθが４５°、ｌが８朋のものを用いた結果
９周波数２４５０ ＭＨ２，電力ｓａａｗのマイクロ波
で励振して定常に達するまで約５秒、導波管とマイクロ
波共振空胴の整合状態は定常時で、マイクロ波の電力反
射係数が０．１以下となった。このようにコーナ、
部を用いて、コーナ部から給電口までが短いも
のでも、さらには上記ｌが０のものでも、良好な特性が
得られる。すなわち、給電口の位置で基本モードのＴｌ
ＩＣ＋ｌＩＣ上−ドが混入して（・ると考えら、１ れる、／か丁管内波長以下の場合でも、良好な特性が得
られることがわかった。
同じ、導波管（３）の断面形状か９５ｍｍｘ ５４ｍｙ
ｔの方形のもので、マイクロ波共振空胴（５）は直径８
０間、高さ９０ｍｍの円筒空胴で、ランプ（９）は直径
３０ｍｍの球形に、 Ａｒ ６０ ｔｏｒｒ、 Ｈｇ１
００１）１封入したものを用い、導波管のコーナ部とし
て、第２図のθが４５°、ｌが８朋のものを用いた結果
９周波数２４５０ ＭＨ２，電力ｓａａｗのマイクロ波
で励振して定常に達するまで約５秒、導波管とマイクロ
波共振空胴の整合状態は定常時で、マイクロ波の電力反
射係数が０．１以下となった。このようにコーナ、
部を用いて、コーナ部から給電口までが短いも
のでも、さらには上記ｌが０のものでも、良好な特性が
得られる。すなわち、給電口の位置で基本モードのＴｌ
ＩＣ＋ｌＩＣ上−ドが混入して（・ると考えら、１ れる、／か丁管内波長以下の場合でも、良好な特性が得
られることがわかった。
以上の構成のマイクロ波放電光源装置ケフイルムの転写
装置の光源として用（・た場合、動作は次のようになる
。第３図がフィルム転写装置の概略構成図であり、枠α
４の中にマイクロ波放電光源装置ｏｎあるいは０秒を設
置する。点線で示すマイクロ波放電光源装置０７Ｉは先
に提案された第５図のそｎを上下逆にしたものであり、
実線で示すマイクロ波放電光源装置０Ｉはこの発明によ
る第１図のそれである。枠Ｉの上面には被転写フィルム
（１９と転写フィルムαｅを重ねて置き、光源装置から
の光により転写フィルムαｆｊが感光され被転写フィル
ムａ９が転写フィルムａ１ｉに転写される。被転写フィ
ルム（１５）は編集のために数枚重ねたものを用いるこ
ともある。このような場合、被転写フィルムに厚みがあ
るため、光線がフィルム面に対して垂直でなければ転写
フィルムαｅへ転写される１＆がボケだものになってし
まう。したがって、光線はできるだけフィルム面に対し
て垂直、すなわち平行光に近いものが要求される。先に
提案されたマイクロ波放電光源装置０７１奮用いた場合
は、光源の位置が高いたぬ、光＆１は点線の矢印線で示
されるように広がり。
装置の光源として用（・た場合、動作は次のようになる
。第３図がフィルム転写装置の概略構成図であり、枠α
４の中にマイクロ波放電光源装置ｏｎあるいは０秒を設
置する。点線で示すマイクロ波放電光源装置０７Ｉは先
に提案された第５図のそｎを上下逆にしたものであり、
実線で示すマイクロ波放電光源装置０Ｉはこの発明によ
る第１図のそれである。枠Ｉの上面には被転写フィルム
（１９と転写フィルムαｅを重ねて置き、光源装置から
の光により転写フィルムαｆｊが感光され被転写フィル
ムａ９が転写フィルムａ１ｉに転写される。被転写フィ
ルム（１５）は編集のために数枚重ねたものを用いるこ
ともある。このような場合、被転写フィルムに厚みがあ
るため、光線がフィルム面に対して垂直でなければ転写
フィルムαｅへ転写される１＆がボケだものになってし
まう。したがって、光線はできるだけフィルム面に対し
て垂直、すなわち平行光に近いものが要求される。先に
提案されたマイクロ波放電光源装置０７１奮用いた場合
は、光源の位置が高いたぬ、光＆１は点線の矢印線で示
されるように広がり。
平行光からはかなりずれた光線となる。一方、この発明
によるマイクロ波放電光源装置舖を用いた場合は、光源
の位置を低くできるため、被照射面に照射される光線は
実線の矢印線で示されるように、より平行光に近い光線
となる。したがって転写される１象のボケも少なく質の
よい転写が可能となる。
によるマイクロ波放電光源装置舖を用いた場合は、光源
の位置を低くできるため、被照射面に照射される光線は
実線の矢印線で示されるように、より平行光に近い光線
となる。したがって転写される１象のボケも少なく質の
よい転写が可能となる。
第４図はこの発明の他の実施例によるマイクロ波放電光
源装置を示す要部断面図である。図において、マイクロ
波共振空胴（５）は光反射板を兼ねる回転対称形の空胴
壁６υと光透過性部材（７）とから構成され、薄形のラ
ンプ（９）は２本の支持棒０υにより両側から支えられ
て（・る。この装置の場合、マイクロ波共振空胴（５）
内に励振される電磁界モードは第１図のものとは異なる
が、やはり導波管のＴＦｉ １゜モードにより励振され
るモードを用い、導波管にコーナ部ｅ１）があっても励
振可能である。よって。
源装置を示す要部断面図である。図において、マイクロ
波共振空胴（５）は光反射板を兼ねる回転対称形の空胴
壁６υと光透過性部材（７）とから構成され、薄形のラ
ンプ（９）は２本の支持棒０υにより両側から支えられ
て（・る。この装置の場合、マイクロ波共振空胴（５）
内に励振される電磁界モードは第１図のものとは異なる
が、やはり導波管のＴＦｉ １゜モードにより励振され
るモードを用い、導波管にコーナ部ｅ１）があっても励
振可能である。よって。
コーナ部を用いることで、光源の光の照射方向に対する
央行きを浅くでき、第１図のものとｌｉＪ様の効果があ
る。
央行きを浅くでき、第１図のものとｌｉＪ様の効果があ
る。
なお、上記二実施例ではコーナ部としてＥコーナを用い
たものを示したが、Ｈコーナを用（・でもよく、上記実
施例と同様の効果を奏する。
たものを示したが、Ｈコーナを用（・でもよく、上記実
施例と同様の効果を奏する。
また上記各実施例ではマイクロ波発振器が装着された側
の導波管軸の向きと給電口の面とが平行となるものを示
したが１両者が直交せず斜めとなるような構成のもので
もよ＜、５！！、行きを浅くさせる効果がある。まだこ
の場合、モードも所定のものを得ることが可能である。
の導波管軸の向きと給電口の面とが平行となるものを示
したが１両者が直交せず斜めとなるような構成のもので
もよ＜、５！！、行きを浅くさせる効果がある。まだこ
の場合、モードも所定のものを得ることが可能である。
この発明は以上説明したように、マイクロ波発振器が装
着された側の導波管軸の向さと、給電口の而が直交しな
いように構成しだので、装置の奥行きが浅（でき、限ら
れた空間で光源と被照射面との距離を離すことができ、
被照射面でより平行光線に近（・ものが得られる効果が
ある。
着された側の導波管軸の向さと、給電口の而が直交しな
いように構成しだので、装置の奥行きが浅（でき、限ら
れた空間で光源と被照射面との距離を離すことができ、
被照射面でより平行光線に近（・ものが得られる効果が
ある。
第１図はこの発明の一実施例によるマイクロ波放電光源
装置を示す費部断面図、第２図はこの発明の一実施例に
係る導波管からマイクロ波共振空胴へのマイクロ波の励
振を示す部分断面図、第３図はこの発明の一実施例によ
るマイクロ波放電光源装置を使用したフィルム転写装置
を示す概略構成図、第４図はこの発明の他の実施例によ
るマイクロ波放電光源装置を示す要部断面図、第５図は
先に提案されたマイクロ波放電光源装置を示す装部断面
図である。 （１＋・・・マグネトロン、（３）・・・導波管、（５
）・・・マイクロ波共振空胴、（７）・・・光透過性部
材、（８）・・・給電口、（９）・・・ランプ、Ｇ１）
・・・コーナ部〇なお１図中、同一符号は同−又は相当
部分を示すＯ
装置を示す費部断面図、第２図はこの発明の一実施例に
係る導波管からマイクロ波共振空胴へのマイクロ波の励
振を示す部分断面図、第３図はこの発明の一実施例によ
るマイクロ波放電光源装置を使用したフィルム転写装置
を示す概略構成図、第４図はこの発明の他の実施例によ
るマイクロ波放電光源装置を示す要部断面図、第５図は
先に提案されたマイクロ波放電光源装置を示す装部断面
図である。 （１＋・・・マグネトロン、（３）・・・導波管、（５
）・・・マイクロ波共振空胴、（７）・・・光透過性部
材、（８）・・・給電口、（９）・・・ランプ、Ｇ１）
・・・コーナ部〇なお１図中、同一符号は同−又は相当
部分を示すＯ
Claims (5)
- （１）端部にマイクロ波発振器が装着された導波管、こ
の導波管の他端部から給電口を通してマイクロ波が給電
され、少なくとも壁面の一部に光透過性部材を有するマ
イクロ波共振空胴、及びこのマイクロ波共振空胴内に配
設されたランプを備えたものにおいて、上記マイクロ波
発振器が装着された側の導波管軸の向きと、上記給電口
の面が直交しないことを特徴とするマイクロ波放電光源
装置。 - （２）導波管にコーナ部を設けたことを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載のマイクロ波放電光源装置。 - （３）導波管のコーナ部はＥコーナであることを特徴と
する特許請求の範囲第２項記載のマイクロ波放電光源装
置。 - （４）導波管のコーナ部はＨコーナであることを特徴と
する特許請求の範囲第２項記載のマイクロ波放電光源装
置。 - （５）コーナ部から給電口までの導波管長さは１／２管
内波長以下であることを特徴とする特許請求の範囲第３
項記載のマイクロ波放電光源装置。
Priority Applications (9)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59219926A JPS6199264A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | マイクロ波放電光源装置 |
| AU39176/85A AU574435B2 (en) | 1984-03-02 | 1985-02-26 | Microwave discharge light source apparatus |
| US06/705,529 US4673846A (en) | 1984-03-02 | 1985-02-26 | Microwave discharge light source apparatus |
| KR1019850001274A KR900000359B1 (ko) | 1984-03-02 | 1985-02-28 | 마이크로파 방전광원장치 |
| DE8585102201T DE3582810D1 (de) | 1984-03-02 | 1985-02-28 | Mikrowellenentladungslichtquelle. |
| EP85102201A EP0153745B1 (en) | 1984-03-02 | 1985-02-28 | Microwave discharge light source apparatus |
| CA000475611A CA1273050A (en) | 1984-03-02 | 1985-03-01 | Microwave discharge light source apparatus |
| SG810/91A SG81091G (en) | 1984-03-02 | 1991-10-05 | Microwave discharge light source apparatus |
| HK815/91A HK81591A (en) | 1984-03-02 | 1991-10-17 | Microwave discharge light source apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59219926A JPS6199264A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | マイクロ波放電光源装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6199264A true JPS6199264A (ja) | 1986-05-17 |
| JPH0527946B2 JPH0527946B2 (ja) | 1993-04-22 |
Family
ID=16743181
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59219926A Granted JPS6199264A (ja) | 1984-03-02 | 1984-10-19 | マイクロ波放電光源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6199264A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011145299A (ja) * | 1998-11-28 | 2011-07-28 | Severn Trent Water Purification Inc | 紫外線光源 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58100353A (ja) * | 1981-12-09 | 1983-06-15 | Mitsubishi Electric Corp | マイクロ波放電光源装置 |
-
1984
- 1984-10-19 JP JP59219926A patent/JPS6199264A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58100353A (ja) * | 1981-12-09 | 1983-06-15 | Mitsubishi Electric Corp | マイクロ波放電光源装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011145299A (ja) * | 1998-11-28 | 2011-07-28 | Severn Trent Water Purification Inc | 紫外線光源 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0527946B2 (ja) | 1993-04-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0450131B1 (en) | Electrodeless microwave-generated radiation apparatus | |
| CA1197549A (en) | Microwave generated plasma light source apparatus | |
| EP1307899B1 (en) | Plasma lamp with dielectric waveguide | |
| US6323601B1 (en) | Reflector for an ultraviolet lamp system | |
| US4990789A (en) | Ultra violet rays generator by means of microwave excitation | |
| US4933602A (en) | Apparatus for generating light by utilizing microwave | |
| US4954755A (en) | Electrodeless lamp having hybrid cavity | |
| EP0457242B1 (en) | Electrodeless HID lamp with microwave power coupler | |
| US6348669B1 (en) | RF/microwave energized plasma light source | |
| JPH036618B2 (ja) | ||
| US4859906A (en) | Deep UV lamp bulb with improved fill | |
| JPS6199264A (ja) | マイクロ波放電光源装置 | |
| JPH09320543A (ja) | マイクロ波無電極放電光源装置 | |
| US4006431A (en) | Optical molecular amplifier | |
| JPS60127697A (ja) | マイクロ波放電光源装置 | |
| JPS6340802Y2 (ja) | ||
| KR900000359B1 (ko) | 마이크로파 방전광원장치 | |
| JPS62163383A (ja) | レ−ザ発振装置 | |
| JP3519116B2 (ja) | マイクロ波励起光源装置 | |
| JPS61104559A (ja) | マイクロ波放電光源装置 | |
| JPH0745875Y2 (ja) | マイクロ波無電極発光装置 | |
| JPS6228045Y2 (ja) | ||
| JPS63237303A (ja) | 無電極放電ランプ | |
| JPS61281452A (ja) | マイクロ波放電光源装置 | |
| JPS6139449A (ja) | マイクロ波放電光源装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |