JPH0745875Y2 - マイクロ波無電極発光装置 - Google Patents
マイクロ波無電極発光装置Info
- Publication number
- JPH0745875Y2 JPH0745875Y2 JP1990093230U JP9323090U JPH0745875Y2 JP H0745875 Y2 JPH0745875 Y2 JP H0745875Y2 JP 1990093230 U JP1990093230 U JP 1990093230U JP 9323090 U JP9323090 U JP 9323090U JP H0745875 Y2 JPH0745875 Y2 JP H0745875Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- microwave
- divided
- emitting device
- arc tube
- electrodeless
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
Description
本考案は、水銀等の発光材料が封入された無電極発光管
をマイクロ波で励起させて紫外線を発光させるマイクロ
波無電極発光装置に関する。
をマイクロ波で励起させて紫外線を発光させるマイクロ
波無電極発光装置に関する。
紫外線は、近年では紫外線硬化接着剤やインキ類の硬
化、乾燥、特殊塗料の硬化、その他塗面処理プロセス、
および化学物質の光化学反応等に広く利用されている。 紫外線発生装置として、従来より水銀等の発光材料が封
入された発光管にマイクロ波を照射して、発光材料を励
起させ発光させるマイクロ波無電極発光装置が利用され
ている（例えば、特開昭50-54172号公報等）。 この種のマイクロ波無電極発光装置の概略を第２図、第
３図に示す。第２図は長手方向に切断した横断面図、第
３図は第２図のIII−III線に沿った断面図である。 １は無電極発光管であり、棒状のガラス管とその内部に
封入した水銀等からなる。２はマイクロ波空胴、３は金
属材料で形成されたマイクロ波空胴壁として働く反射壁
であり、無電極放電管１の放射光を照射方向（矢印Ａ方
向）に集光させるよう内面が楕円又は放物線の凹面形状
となっている。４はマイクロ波空胴２にマイクロ波を供
給するための結合手段としてのスロットで、マイクロ波
発生手段としてのマグネトロン５で発生され導波管６で
供給されたマイクロ波電力を通過させるものである。７
はマイクロ波空胴２の一壁を形成すると共に発生した紫
外線を透過させるメッシュである。すなわち、このメッ
シュ７は紫外線は透過させるがマイクロ波に対しては短
絡板として働く。８は無電極発光管１の発光により発生
する熱を冷却するための送風装置であり、反射壁３に設
けた複数の通孔９を通してエアーを送り、無電極発光管
１および反射壁３を冷却する。 この装置では、マグネトロン５を動作させて、マイクロ
波電力をマイクロ波空胴２にスロット４を介して結合さ
せると、そのマイクロ波電力が無電極発光管１に封入し
た水銀等の蒸気を励起し、そこで放電が開始して紫外線
が発生する。 このとき、発生した紫外線は四方に放射されるが、無電
極発光管１を楕円の凹面形状の反射壁３の焦点に予め位
置させておけば、反射壁３の方向に放射した紫外線はそ
こで反射されて、メッシュ７の方向に集光される。当然
ながら、メッシュ７方向に放射した紫外線はそのまま進
行する。 この結果、メッシュ７の前方に被処理物を配置しておけ
ば、乾燥、硬化等の処理が即座に行われる。特に、メッ
シュ７の前面において被処理物をベルトコンベア等で順
次移動させれば、連続的に大量の処理が可能となる。 ところが、上記した無電極発光管１からは、紫外線のみ
ではなく、他の可視光線や赤外線も発生する。このた
め、被処理物が樹脂やプラスチック等のように耐熱性の
低いものにコートされている場合には、無電極発光管１
から出射される光の内の長波長側の可視光線や赤外線
が、空胴壁３で反射して被処理物を照射するので、その
被処理物に変形等の熱的損傷を与えるという問題があっ
た。 そこで、紫外線は反射させるが、赤外線や長波長側の可
視光線は透過させる誘電体ミラー（コールドミラー）が
使用されるようになった。第４図と第５図はこの誘電体
ミラーを使用したマイクロ波無電極発光装置を示す図で
ある。前記した第２図、第３図におけるものと同一機能
のものには同一の符号を付している。 10が誘電体ミラーであり、例えば厚さ2mm程度のパイレ
ックス（商品名）または石英ガラス等の透光基材に金属
酸化物等の誘電物質の蒸着膜を数層乃至数十層にわたり
形成したもので、凹面形状に形成している。誘電層は該
基材の内面に形成される。 ここでは、この誘電体ミラー10が紫外線の反射ミラーと
して機能するので、その外側にマイクロ波空胴２を形成
するための空胴壁11が設けられる。 そして、送風装置８からのエアーを通過させるために、
導波管６、空胴壁11に通孔12、13を形成すると共に、誘
電体ミラー10にも同様な通孔14を形成している。 また、この装置では、導波管６内を送られて来るマイク
ロ波電力を効率的に無電極発光管１に結合するために、
導波管内に同軸導波管変換器を構成し、その内軸をマイ
クロ波空胴内の無電極発光管１の長手方向に近接して波
状に沿うように伸ばし、その先端を空胴壁11に接続し
て、マイクロ波結合手段とする一対のアンテナ15を使用
している。
化、乾燥、特殊塗料の硬化、その他塗面処理プロセス、
および化学物質の光化学反応等に広く利用されている。 紫外線発生装置として、従来より水銀等の発光材料が封
入された発光管にマイクロ波を照射して、発光材料を励
起させ発光させるマイクロ波無電極発光装置が利用され
ている（例えば、特開昭50-54172号公報等）。 この種のマイクロ波無電極発光装置の概略を第２図、第
３図に示す。第２図は長手方向に切断した横断面図、第
３図は第２図のIII−III線に沿った断面図である。 １は無電極発光管であり、棒状のガラス管とその内部に
封入した水銀等からなる。２はマイクロ波空胴、３は金
属材料で形成されたマイクロ波空胴壁として働く反射壁
であり、無電極放電管１の放射光を照射方向（矢印Ａ方
向）に集光させるよう内面が楕円又は放物線の凹面形状
となっている。４はマイクロ波空胴２にマイクロ波を供
給するための結合手段としてのスロットで、マイクロ波
発生手段としてのマグネトロン５で発生され導波管６で
供給されたマイクロ波電力を通過させるものである。７
はマイクロ波空胴２の一壁を形成すると共に発生した紫
外線を透過させるメッシュである。すなわち、このメッ
シュ７は紫外線は透過させるがマイクロ波に対しては短
絡板として働く。８は無電極発光管１の発光により発生
する熱を冷却するための送風装置であり、反射壁３に設
けた複数の通孔９を通してエアーを送り、無電極発光管
１および反射壁３を冷却する。 この装置では、マグネトロン５を動作させて、マイクロ
波電力をマイクロ波空胴２にスロット４を介して結合さ
せると、そのマイクロ波電力が無電極発光管１に封入し
た水銀等の蒸気を励起し、そこで放電が開始して紫外線
が発生する。 このとき、発生した紫外線は四方に放射されるが、無電
極発光管１を楕円の凹面形状の反射壁３の焦点に予め位
置させておけば、反射壁３の方向に放射した紫外線はそ
こで反射されて、メッシュ７の方向に集光される。当然
ながら、メッシュ７方向に放射した紫外線はそのまま進
行する。 この結果、メッシュ７の前方に被処理物を配置しておけ
ば、乾燥、硬化等の処理が即座に行われる。特に、メッ
シュ７の前面において被処理物をベルトコンベア等で順
次移動させれば、連続的に大量の処理が可能となる。 ところが、上記した無電極発光管１からは、紫外線のみ
ではなく、他の可視光線や赤外線も発生する。このた
め、被処理物が樹脂やプラスチック等のように耐熱性の
低いものにコートされている場合には、無電極発光管１
から出射される光の内の長波長側の可視光線や赤外線
が、空胴壁３で反射して被処理物を照射するので、その
被処理物に変形等の熱的損傷を与えるという問題があっ
た。 そこで、紫外線は反射させるが、赤外線や長波長側の可
視光線は透過させる誘電体ミラー（コールドミラー）が
使用されるようになった。第４図と第５図はこの誘電体
ミラーを使用したマイクロ波無電極発光装置を示す図で
ある。前記した第２図、第３図におけるものと同一機能
のものには同一の符号を付している。 10が誘電体ミラーであり、例えば厚さ2mm程度のパイレ
ックス（商品名）または石英ガラス等の透光基材に金属
酸化物等の誘電物質の蒸着膜を数層乃至数十層にわたり
形成したもので、凹面形状に形成している。誘電層は該
基材の内面に形成される。 ここでは、この誘電体ミラー10が紫外線の反射ミラーと
して機能するので、その外側にマイクロ波空胴２を形成
するための空胴壁11が設けられる。 そして、送風装置８からのエアーを通過させるために、
導波管６、空胴壁11に通孔12、13を形成すると共に、誘
電体ミラー10にも同様な通孔14を形成している。 また、この装置では、導波管６内を送られて来るマイク
ロ波電力を効率的に無電極発光管１に結合するために、
導波管内に同軸導波管変換器を構成し、その内軸をマイ
クロ波空胴内の無電極発光管１の長手方向に近接して波
状に沿うように伸ばし、その先端を空胴壁11に接続し
て、マイクロ波結合手段とする一対のアンテナ15を使用
している。
ところで、上記した誘電体ミラー10は、これを大形にす
る場合、金属酸化物を蒸着して作成する関係から、１枚
で『深型』にあるいは『大面積型』に形成することは均
一な蒸着を実現する点から非常に困難である。このた
め、４個に均等分割して、これを突き合わせ組み立てて
いた。 しかし、この突き合わせ組み立ては、組立精度や膨張の
問題等から、突き合わせ部分に微小な間隙を設ける必要
があった。 ところが、この間隙がライン状に揃うと、紫外線を照射
する被処理物の面状にライン状の縞が生じて、処理品質
が劣化するという問題があった。 そこで本考案は、誘電体ミラーの分割に工夫をこらし
て、突き合わせラインが一部のみとなるようにして上記
問題を解決したマイクロ波無電極発光装置を提供せんと
するものである。
る場合、金属酸化物を蒸着して作成する関係から、１枚
で『深型』にあるいは『大面積型』に形成することは均
一な蒸着を実現する点から非常に困難である。このた
め、４個に均等分割して、これを突き合わせ組み立てて
いた。 しかし、この突き合わせ組み立ては、組立精度や膨張の
問題等から、突き合わせ部分に微小な間隙を設ける必要
があった。 ところが、この間隙がライン状に揃うと、紫外線を照射
する被処理物の面状にライン状の縞が生じて、処理品質
が劣化するという問題があった。 そこで本考案は、誘電体ミラーの分割に工夫をこらし
て、突き合わせラインが一部のみとなるようにして上記
問題を解決したマイクロ波無電極発光装置を提供せんと
するものである。
このために本考案は、発光材料が封入された棒状の無電
極発光管と、該無電極発光管が配置されるマイクロ波空
胴を構成する空胴壁と、上記無電極発光管から発生する
紫外線を本来の照射方向に反射させる断面凹形状の誘電
体ミラーと、マイクロ波発生手段と、該マイクロ波発生
手段で発生したマイクロ波を上記無電極発光管に結合す
るマイクロ波結合手段とを具備するマイクロ波無電極発
光装置において、上記誘電体ミラーを、長手方向に沿っ
て２等分割し、更にその分割された各々を一方が他方と
異なった面積となる比率で、短手方向に沿って分割し、
該分割した複数の分割片を横断面凹形状となるよう突き
合わせ、該短手方向の突き合わせラインを、上記凹形状
の一端から他端までは連続させないように構成した。 本考案は、上記長手方向に沿って２等分割された分割片
の一方を分割比A:Bで短手方向に沿って分割し、他方を
分割比B:Aで短手方向に沿って分割し、該分割した複数
の分割片を突き合わせて、横断面凹形状に上記誘電体ミ
ラーを形成できる。 とする実用新案登録請求の範囲第１項記載のマイクロ波
無電極発光装置。
極発光管と、該無電極発光管が配置されるマイクロ波空
胴を構成する空胴壁と、上記無電極発光管から発生する
紫外線を本来の照射方向に反射させる断面凹形状の誘電
体ミラーと、マイクロ波発生手段と、該マイクロ波発生
手段で発生したマイクロ波を上記無電極発光管に結合す
るマイクロ波結合手段とを具備するマイクロ波無電極発
光装置において、上記誘電体ミラーを、長手方向に沿っ
て２等分割し、更にその分割された各々を一方が他方と
異なった面積となる比率で、短手方向に沿って分割し、
該分割した複数の分割片を横断面凹形状となるよう突き
合わせ、該短手方向の突き合わせラインを、上記凹形状
の一端から他端までは連続させないように構成した。 本考案は、上記長手方向に沿って２等分割された分割片
の一方を分割比A:Bで短手方向に沿って分割し、他方を
分割比B:Aで短手方向に沿って分割し、該分割した複数
の分割片を突き合わせて、横断面凹形状に上記誘電体ミ
ラーを形成できる。 とする実用新案登録請求の範囲第１項記載のマイクロ波
無電極発光装置。
本考案では、誘電体ミラーの短手方向に形成された突き
合わせラインが上記凹形状の一端から他端までは連続し
ないので、そのラインの縞が被処理物の処理品質を損な
うようなことは生じない。
合わせラインが上記凹形状の一端から他端までは連続し
ないので、そのラインの縞が被処理物の処理品質を損な
うようなことは生じない。
以下、本考案の実施例について説明する。第１図はその
一実施例のマイクロ波無電極発光装置の誘電体ミラー部
分を示す平面図である。第４図と第５図におけるものと
同一機能のものには同一の符号を付した。 本実施例では、第１図に示すように、誘電体ミラー10
を、その長手方向に沿って２等分割し、つまり１本の分
割ラインが長手方向となるように２等分割して分割片10
A、10Bとし、更にその一方の分割片10Aを短手方向に沿
って不均等に２分割し、つまり１本の分割ラインが短手
方向となるように不均等に２分割して分割片10A1、10A2
とし、また他方の分割片10Bも短手方向に沿って不均等
に２分割して分割片10B1、10B2としている。そして、分
割片10A1と10B2を同一形状に、また分割本10A2と10B1も
同一形状としている。 従って、製造に当たっては、２種の分割片を２個つづ作
成すれば済む。各分割片の材質は、基材としてのパイレ
ックスとその内面（凹面側）にSiO2、TiO2等を多層に蒸
着した多層干渉膜とからなる。 そして、４個の分割片10A1、10A2、10B1、10B2を第１図
に示すように突き合わせて組み立てると、突き合わせラ
インは、中央の長手方向のライン21、そのライン21から
凹形状方向にのびる短手方向のライン22、23の３本とな
る。ライン22、23はミラーの凹形状方向に連続はしな
い。このライン21〜23の太さ、つまり突き合わせ間隙
は、0.5〜1.0mmである。 このとき、長手方向のライン21は無電極発光管１の真後
ろに位置するので、被処理物に対してそのラインが影響
を及ぼす恐れはない。また、短手方向のライン22はその
対面する分割片10B2側に連続するラインがないので、そ
の分割片10B2における反射光および無電極発光管１から
の直接光が作用し、照射される被処理物にそのライン22
の縞が現れることはない。よって、そのライン22により
被処理物の処理品質が劣化することはない。これは、他
方の短手方向のライン23についても、同様である。 なお、上記実施例では、短手方向のライン22、23が長手
方向のライン21から直角となるように分割片の突き合わ
せを行ったが、第１図に仮想線で示すように、斜め方向
にのびるライン32、33となるように突き合わせをおこな
うこともできる。
一実施例のマイクロ波無電極発光装置の誘電体ミラー部
分を示す平面図である。第４図と第５図におけるものと
同一機能のものには同一の符号を付した。 本実施例では、第１図に示すように、誘電体ミラー10
を、その長手方向に沿って２等分割し、つまり１本の分
割ラインが長手方向となるように２等分割して分割片10
A、10Bとし、更にその一方の分割片10Aを短手方向に沿
って不均等に２分割し、つまり１本の分割ラインが短手
方向となるように不均等に２分割して分割片10A1、10A2
とし、また他方の分割片10Bも短手方向に沿って不均等
に２分割して分割片10B1、10B2としている。そして、分
割片10A1と10B2を同一形状に、また分割本10A2と10B1も
同一形状としている。 従って、製造に当たっては、２種の分割片を２個つづ作
成すれば済む。各分割片の材質は、基材としてのパイレ
ックスとその内面（凹面側）にSiO2、TiO2等を多層に蒸
着した多層干渉膜とからなる。 そして、４個の分割片10A1、10A2、10B1、10B2を第１図
に示すように突き合わせて組み立てると、突き合わせラ
インは、中央の長手方向のライン21、そのライン21から
凹形状方向にのびる短手方向のライン22、23の３本とな
る。ライン22、23はミラーの凹形状方向に連続はしな
い。このライン21〜23の太さ、つまり突き合わせ間隙
は、0.5〜1.0mmである。 このとき、長手方向のライン21は無電極発光管１の真後
ろに位置するので、被処理物に対してそのラインが影響
を及ぼす恐れはない。また、短手方向のライン22はその
対面する分割片10B2側に連続するラインがないので、そ
の分割片10B2における反射光および無電極発光管１から
の直接光が作用し、照射される被処理物にそのライン22
の縞が現れることはない。よって、そのライン22により
被処理物の処理品質が劣化することはない。これは、他
方の短手方向のライン23についても、同様である。 なお、上記実施例では、短手方向のライン22、23が長手
方向のライン21から直角となるように分割片の突き合わ
せを行ったが、第１図に仮想線で示すように、斜め方向
にのびるライン32、33となるように突き合わせをおこな
うこともできる。
以上から本考案によれば、誘電体ミラーを製造が容易な
複数の分割片に分割することができ、これを突き合わせ
て組み立てる際には、突き合わせラインが一部のみとな
りミラーの凹形状方向には連続しないので、紫外線を照
射する被処理物の処理品質か劣化するという問題も発生
しないという利点ある。
複数の分割片に分割することができ、これを突き合わせ
て組み立てる際には、突き合わせラインが一部のみとな
りミラーの凹形状方向には連続しないので、紫外線を照
射する被処理物の処理品質か劣化するという問題も発生
しないという利点ある。
第１図は本考案の一実施例のマイクロ波無電極発光装置
の誘電体ミラー部分を示す正面図、第２図は一般的なマ
イクロ波無電極発光装置の概略横断面図、第３図は第２
図のIII−III線に沿った断面図、第４図は誘電体ミラー
およびアンテナを使用したマイクロ波無電極発光装置の
概略横断面図、第５図は第４図のＶ−Ｖに沿った断面図
である。 １……無電極発光管、２……マイクロ波空胴、３……反
射壁、４……スロット、５……マグネトロン、６……導
波管、７……メッシュ、８……送風装置、９……通孔、
10……誘電体ミラー、11……空胴壁、12〜14……エアー
通過用の通孔、15……アンテナ、16、17……アンテナ挿
通用の通孔。 10A、10A1、10A2、10B、10B1、10B2……誘電体ミラーの
分割片。
の誘電体ミラー部分を示す正面図、第２図は一般的なマ
イクロ波無電極発光装置の概略横断面図、第３図は第２
図のIII−III線に沿った断面図、第４図は誘電体ミラー
およびアンテナを使用したマイクロ波無電極発光装置の
概略横断面図、第５図は第４図のＶ−Ｖに沿った断面図
である。 １……無電極発光管、２……マイクロ波空胴、３……反
射壁、４……スロット、５……マグネトロン、６……導
波管、７……メッシュ、８……送風装置、９……通孔、
10……誘電体ミラー、11……空胴壁、12〜14……エアー
通過用の通孔、15……アンテナ、16、17……アンテナ挿
通用の通孔。 10A、10A1、10A2、10B、10B1、10B2……誘電体ミラーの
分割片。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭60−189860（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−189805（ＪＰ，Ａ)
Claims (2)
- 【請求項１】発光材料が封入された棒状の無電極発光管
と、該無電極発光管が配置されるマイクロ波空胴を構成
する空胴壁と、上記無電極発光管から発生する紫外線を
本来の照射方向に反射させる断面凹形状の誘電体ミラー
と、マイクロ波発生手段と、該マイクロ波発生手段で発
生したマイクロ波を上記無電極発光管に結合するマイク
ロ波結合手段とを具備するマイクロ波無電極発光装置に
おいて、 上記誘電体ミラーを、長手方向に沿って２等分割し、更
にその分割された各々を一方が他方と異なった面積とな
る比率で、短手方向に沿って分割し、該分割した複数の
分割片を横断面凹形状となるよう突き合わせ、該短手方
向の突き合わせラインを、上記凹形状の一端から他端ま
では連続させないようにしたことを特徴とするマイクロ
波無電極発光装置。 - 【請求項２】上記長手方向に沿って２等分割された分割
片の一方を分割比A:Bで短手方向に沿って分割し、他方
を分割比B:Aで短手方向に沿って分割し、該分割した複
数の分割片を突き合わせて、横断面凹形状に上記誘電体
ミラーを形成したことを特徴とする実用新案登録請求の
範囲第１項記載のマイクロ波無電極発光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990093230U JPH0745875Y2 (ja) | 1990-09-05 | 1990-09-05 | マイクロ波無電極発光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990093230U JPH0745875Y2 (ja) | 1990-09-05 | 1990-09-05 | マイクロ波無電極発光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0451756U JPH0451756U (ja) | 1992-04-30 |
| JPH0745875Y2 true JPH0745875Y2 (ja) | 1995-10-18 |
Family
ID=31830271
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990093230U Expired - Lifetime JPH0745875Y2 (ja) | 1990-09-05 | 1990-09-05 | マイクロ波無電極発光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0745875Y2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60189860A (ja) * | 1984-03-01 | 1985-09-27 | フユージョン・システムズ・コーポレーション | マイクロ波により発生される無電極光源 |
| JPH02189805A (ja) * | 1989-01-17 | 1990-07-25 | Ushio Inc | マイクロ波励起型無電極発光装置 |
-
1990
- 1990-09-05 JP JP1990093230U patent/JPH0745875Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0451756U (ja) | 1992-04-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6323601B1 (en) | Reflector for an ultraviolet lamp system | |
| DE69021371T2 (de) | Elektrodenloses, durch Mikrowellen erregtes Strahlungsgerät. | |
| JPH0637521Y2 (ja) | マイクロ波励起による紫外線発生装置 | |
| EP2202780B1 (en) | Light source device | |
| JP2707143B2 (ja) | 薄膜ｅｌ端部発光構造体においてピクセル・アレーを画定する方法 | |
| EP1070339B1 (en) | Microwave energised plasma light source | |
| US6133694A (en) | High-pressure lamp bulb having fill containing multiple excimer combinations | |
| JPH036618B2 (ja) | ||
| JPH0621167Y2 (ja) | マイクロ波励起による紫外線発生装置 | |
| JPH0745875Y2 (ja) | マイクロ波無電極発光装置 | |
| JP2561902B2 (ja) | マイクロ波励起型無電極発光管及びその製造方法 | |
| JPH02189805A (ja) | マイクロ波励起型無電極発光装置 | |
| JPH0728697Y2 (ja) | マイクロ波無電極発光装置 | |
| JP2542952Y2 (ja) | マイクロ波無電極発光装置 | |
| JPH072184Y2 (ja) | 紫外線による処理装置 | |
| JP2915181B2 (ja) | マイクロ波無電極発光装置 | |
| JPS61174942A (ja) | 紫外線照射装置 | |
| JP3147592B2 (ja) | 誘電体バリヤ放電ランプとそれを使用した処理方法 | |
| JP3175410B2 (ja) | 紫外線光源 | |
| JPH0531803Y2 (ja) | ||
| JP2025016064A (ja) | エキシマランプ | |
| JPS6199264A (ja) | マイクロ波放電光源装置 | |
| JPH04131853U (ja) | マイクロ波無電極発光装置 | |
| JPH0735358Y2 (ja) | マイクロ波無電極放電管装置 | |
| JPH0461741A (ja) | マイクロ波放電光源装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |