JPS6210384B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6210384B2 JPS6210384B2 JP12653280A JP12653280A JPS6210384B2 JP S6210384 B2 JPS6210384 B2 JP S6210384B2 JP 12653280 A JP12653280 A JP 12653280A JP 12653280 A JP12653280 A JP 12653280A JP S6210384 B2 JPS6210384 B2 JP S6210384B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- vibrator
- electrode
- value
- shape
- Prior art date
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- Expired
Links
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 13
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 8
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
- B06B1/0644—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は超音波探傷における探触子に関する。
鋼材等の内部欠陥を非破壊で探傷する方法とし
て超音波を利用した超音波探傷試験法がある。こ
れは、一対の電極間に水晶等の誘電体を挟み、該
電極にパルス電圧を印加することにより誘電体に
固有の振動を発生させ、この振動を被検材に伝搬
せしめ、その欠陥からの反射波を検出することに
より探傷するものである。上記垂直探傷用の探触
子の電極は一般に振動子の円形平面の全面に銀を
蒸着して形成されている。そして、上記通常の垂
直探触子を使用して近距離音場限界距離内の欠陥
を探傷する場合には、単一の実欠陥を複数の欠陥
が存在するかの如くに検出する場合が多く、超音
波探傷法の信頼性を低下させる原因となつてい
る。これは、近距離音場限界距離内において、超
音波の音場が従来の探触子による場合に干渉効果
により複雑な音場分布を形成し、その結果正しい
欠陥検出信号の外に1またはそれ以上の側波信号
を与えることに起因するものと考えられている。
かかる現象は測定技術上錯誤を起す原因となる。
そのため干渉縞を消失させ、音場を単純化する試
みが従来より行なわれて来た。本発明はその一方
法として、振触子における電極形状に工夫を行な
い、振動子に対しガウス分布の振動を行なわせる
ことにより副極を消失させるものである。すなわ
ち、本発明における探触子はそれを構成する電極
の形状を、円形接物面(被検体に接する面)につ
いてそれを4等分するX−Y直交座標軸の各象限
毎にガウス分布曲線で囲まれた面で表わされるも
のとなしたものである。本発明のごとく、電極形
状を変形したものの例として、第1図に示す如く
8枚の花弁状に形成したいわゆる菊型電極による
振動子が提案されたが、このものは試作段階にお
いて優秀な性能を有するものと発表されたが、形
状が複雑なために製作技術上の再現性に問題があ
り、実用化に至らなかつた。このため、現状では
円形平面電極の探触子が実用機として用いられて
いるに過ぎない。
て超音波を利用した超音波探傷試験法がある。こ
れは、一対の電極間に水晶等の誘電体を挟み、該
電極にパルス電圧を印加することにより誘電体に
固有の振動を発生させ、この振動を被検材に伝搬
せしめ、その欠陥からの反射波を検出することに
より探傷するものである。上記垂直探傷用の探触
子の電極は一般に振動子の円形平面の全面に銀を
蒸着して形成されている。そして、上記通常の垂
直探触子を使用して近距離音場限界距離内の欠陥
を探傷する場合には、単一の実欠陥を複数の欠陥
が存在するかの如くに検出する場合が多く、超音
波探傷法の信頼性を低下させる原因となつてい
る。これは、近距離音場限界距離内において、超
音波の音場が従来の探触子による場合に干渉効果
により複雑な音場分布を形成し、その結果正しい
欠陥検出信号の外に1またはそれ以上の側波信号
を与えることに起因するものと考えられている。
かかる現象は測定技術上錯誤を起す原因となる。
そのため干渉縞を消失させ、音場を単純化する試
みが従来より行なわれて来た。本発明はその一方
法として、振触子における電極形状に工夫を行な
い、振動子に対しガウス分布の振動を行なわせる
ことにより副極を消失させるものである。すなわ
ち、本発明における探触子はそれを構成する電極
の形状を、円形接物面(被検体に接する面)につ
いてそれを4等分するX−Y直交座標軸の各象限
毎にガウス分布曲線で囲まれた面で表わされるも
のとなしたものである。本発明のごとく、電極形
状を変形したものの例として、第1図に示す如く
8枚の花弁状に形成したいわゆる菊型電極による
振動子が提案されたが、このものは試作段階にお
いて優秀な性能を有するものと発表されたが、形
状が複雑なために製作技術上の再現性に問題があ
り、実用化に至らなかつた。このため、現状では
円形平面電極の探触子が実用機として用いられて
いるに過ぎない。
本発明は上述の点に鑑みてなされたもので、探
触子の接物面、すなわち、被検材に接する振動子
の面の電極形状を直交座標のX、Y軸について対
称なガウス曲線によつて囲まれた面に形成し、超
音波の相互干渉を防止し、且つ超音波振動方向の
軸上音圧を最大ならしめてピーク信号を得るよう
にした超音波探触子を提供するものである。
触子の接物面、すなわち、被検材に接する振動子
の面の電極形状を直交座標のX、Y軸について対
称なガウス曲線によつて囲まれた面に形成し、超
音波の相互干渉を防止し、且つ超音波振動方向の
軸上音圧を最大ならしめてピーク信号を得るよう
にした超音波探触子を提供するものである。
以下、本発明に係る超音波探触子を添付図面に
示す一実施例に基づいて説明する。
示す一実施例に基づいて説明する。
第2図は本発明に従つて作製された探触子の接
物面における電極形状を示すもので、断面が半径
Rpの円形をなす振動子(たとえば水晶からな
る)の接物面に金属銀を蒸着して得たものであ
る。そして、その形状は、振動子の各部の音圧が
ガウス分布となるようにするために、接物面をX
−Yの直交座標軸で4等分して形成される4つの
象限毎に次式で表わされる曲線(〜)で囲ま
れたものである。
物面における電極形状を示すもので、断面が半径
Rpの円形をなす振動子(たとえば水晶からな
る)の接物面に金属銀を蒸着して得たものであ
る。そして、その形状は、振動子の各部の音圧が
ガウス分布となるようにするために、接物面をX
−Yの直交座標軸で4等分して形成される4つの
象限毎に次式で表わされる曲線(〜)で囲ま
れたものである。
Y=Rpe〓〓 ……(1)
X=Rpe〓〓 ……(2)
ここに、Rpは振動子1の有効半径であり、rp
は、rp≦Rpで且つ、rp≦√(Aは2
〜3の数値)を満足する定数である。さらにlは
被検材の肉厚(mm)であり、また、λは被検材中
の音波長(mm)である。
は、rp≦Rpで且つ、rp≦√(Aは2
〜3の数値)を満足する定数である。さらにlは
被検材の肉厚(mm)であり、また、λは被検材中
の音波長(mm)である。
そして、これらの各曲線〜により囲まれた
略々糸巻き状の平面を電極部2としてガウス振動
子を形成する。振動子1の半径Rpはその大きさ
に理論的制限はないが、これを大きくすると探傷
操作上不便であり、また、余り小さくすると発信
出力が小さくなり探傷能力に制限が加えられる。
このため、実用上は5〜15mm程度が好ましい。こ
のRpの値は超音波の波長λとも関係があり、被
検材の材質、大きさ及び肉厚等をも考慮して適宜
の値に選定する。また、rpは本発明における電
極2の幾何学的形状を決定する因子であり、被検
材の肉厚l及び使用波長λにより決定されるが実
用上は3〜10の値から選ばれる。更に、使用波長
λは被検材の材質例えば炭素鋼、或いはオーステ
ナイト鋼等の材質並びに肉厚、必要探傷深度等に
よつて適宜選択される。
略々糸巻き状の平面を電極部2としてガウス振動
子を形成する。振動子1の半径Rpはその大きさ
に理論的制限はないが、これを大きくすると探傷
操作上不便であり、また、余り小さくすると発信
出力が小さくなり探傷能力に制限が加えられる。
このため、実用上は5〜15mm程度が好ましい。こ
のRpの値は超音波の波長λとも関係があり、被
検材の材質、大きさ及び肉厚等をも考慮して適宜
の値に選定する。また、rpは本発明における電
極2の幾何学的形状を決定する因子であり、被検
材の肉厚l及び使用波長λにより決定されるが実
用上は3〜10の値から選ばれる。更に、使用波長
λは被検材の材質例えば炭素鋼、或いはオーステ
ナイト鋼等の材質並びに肉厚、必要探傷深度等に
よつて適宜選択される。
そこで、一例として上記各値を以下のように設
定した場合の電極の形状を求めてみる。
定した場合の電極の形状を求めてみる。
(1) 振動子の大きさすなわち、有効半径Rpは感
度及び使用性等を考慮してRp=14(mm)とす
る。
度及び使用性等を考慮してRp=14(mm)とす
る。
(2) 振動子の周波数を5(MHz)とする。
(3) 最大探傷距離を100(mm)とする。
(4) 定数Aを2.2とする。
以上によりr0=6(mm)となるので、これを前
記(1)および(2)に代入すると、 Y=14e〓〓 X=14e〓〓 となり、これを座標に描くと電極の形状は第2図
に示すような略々糸巻き状となる。この振動子を
有する探触子をSM42の試験鋼材について近距離
音場内の欠陥検出に適用した場合を第3図に示
す。この欠陥検出に使用した走査図形用試験片5
は第3図に示すように材質SM42、大きさ100×
100×30(mm)に図のように上面5aから深さ25
(mm)となるように底面5bより4(φ)の平底
ドリル穴5Cを明けてこれを模疑欠陥としたもの
である。そして、欠陥直上の位置0点を零とし、
感度を変えることなく左右(矢印A、A′方向)
に探触子1を走査した場合、夫々の距離に対する
エコー高さは第4図に示すようなグラフで表わさ
れる。但し、測定感度は最大エコーが80%となる
ように設定してある。これに対し、従来の円形平
面からなる電極を有する探触子により試験片5を
前述と全く同様に走査した場合の試験結果を第5
図に示す。これらのグラフから明らかなように、
本発明に係る探触子によればピークエコーは只1
つのみであり、しかもその位置は探触子の真下に
ある。これに対して従来の探触子の場合は、明ら
かにピークエコーが複数(2つ)存在しており、
あたかも2つの欠陥が並んで存在しているかの如
くに識別される。しかも、それらの位置は実際の
欠陥の位置から数ミリも離れた位置に見掛上存在
している。
記(1)および(2)に代入すると、 Y=14e〓〓 X=14e〓〓 となり、これを座標に描くと電極の形状は第2図
に示すような略々糸巻き状となる。この振動子を
有する探触子をSM42の試験鋼材について近距離
音場内の欠陥検出に適用した場合を第3図に示
す。この欠陥検出に使用した走査図形用試験片5
は第3図に示すように材質SM42、大きさ100×
100×30(mm)に図のように上面5aから深さ25
(mm)となるように底面5bより4(φ)の平底
ドリル穴5Cを明けてこれを模疑欠陥としたもの
である。そして、欠陥直上の位置0点を零とし、
感度を変えることなく左右(矢印A、A′方向)
に探触子1を走査した場合、夫々の距離に対する
エコー高さは第4図に示すようなグラフで表わさ
れる。但し、測定感度は最大エコーが80%となる
ように設定してある。これに対し、従来の円形平
面からなる電極を有する探触子により試験片5を
前述と全く同様に走査した場合の試験結果を第5
図に示す。これらのグラフから明らかなように、
本発明に係る探触子によればピークエコーは只1
つのみであり、しかもその位置は探触子の真下に
ある。これに対して従来の探触子の場合は、明ら
かにピークエコーが複数(2つ)存在しており、
あたかも2つの欠陥が並んで存在しているかの如
くに識別される。しかも、それらの位置は実際の
欠陥の位置から数ミリも離れた位置に見掛上存在
している。
以上説明したように本発明によれば、走査図形
にピークがただ1つのみ現われ、しかもその位置
が探触子の真下にあり、近距離音場内の欠陥を極
めて高精度に検出することができ、また、エコー
高さの距離依存性が単調であり欠陥寸法評価の解
析が容易である。更に、電極の形状が比較的簡単
であるために探触子の製作が容易である等の優れ
た効果がある。
にピークがただ1つのみ現われ、しかもその位置
が探触子の真下にあり、近距離音場内の欠陥を極
めて高精度に検出することができ、また、エコー
高さの距離依存性が単調であり欠陥寸法評価の解
析が容易である。更に、電極の形状が比較的簡単
であるために探触子の製作が容易である等の優れ
た効果がある。
第1図は従来の超音波探触子の菊型電極の形状
を示す図、第2図は本発明に係る超音波探触子の
電極の形状の一実施例を示す図、第3図は近距離
音場内の欠陥検出の一実施例を示す図、第4図は
本発明に係る超音波探触子による近距離音場内の
欠陥検出信号の一例を示すグラフ、第5図は従来
の超音波探触子による近距離音場内の欠陥検出信
号の一例を示すグラフである。 1…振動子、2…電極、5…試験片。
を示す図、第2図は本発明に係る超音波探触子の
電極の形状の一実施例を示す図、第3図は近距離
音場内の欠陥検出の一実施例を示す図、第4図は
本発明に係る超音波探触子による近距離音場内の
欠陥検出信号の一例を示すグラフ、第5図は従来
の超音波探触子による近距離音場内の欠陥検出信
号の一例を示すグラフである。 1…振動子、2…電極、5…試験片。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 探触子の円形接物面を4等分するX−Y直交
座標軸の各象限毎にY=Rpe〓〓及びX=Rpe
〓〓なる曲線を描き、これらの各曲線により包囲
された略々糸巻形の面積を電極としたことを特徴
とする超音波探触子。 但し、前記値Rpは振動子の半径であり、値rp
は最大探傷距離l及び被検材における超音波の波
長λにより決定され、rp>Rp且つrp≦√
λ/A(Aは2〜3の数値)を満足する値。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12653280A JPS5752299A (en) | 1980-09-11 | 1980-09-11 | Ultrasonic probe |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12653280A JPS5752299A (en) | 1980-09-11 | 1980-09-11 | Ultrasonic probe |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5752299A JPS5752299A (en) | 1982-03-27 |
| JPS6210384B2 true JPS6210384B2 (ja) | 1987-03-05 |
Family
ID=14937527
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12653280A Granted JPS5752299A (en) | 1980-09-11 | 1980-09-11 | Ultrasonic probe |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5752299A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3008860U (ja) * | 1994-06-14 | 1995-03-20 | 杉山金属株式会社 | 電気加熱盤 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2758930B2 (ja) * | 1989-06-27 | 1998-05-28 | 株式会社トキメック | 超音波探触子 |
| JP7627110B2 (ja) * | 2020-12-01 | 2025-02-05 | Tdk株式会社 | 圧電振動体および超音波トランスデューサ |
-
1980
- 1980-09-11 JP JP12653280A patent/JPS5752299A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3008860U (ja) * | 1994-06-14 | 1995-03-20 | 杉山金属株式会社 | 電気加熱盤 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5752299A (en) | 1982-03-27 |
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