JPS62104131U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62104131U JPS62104131U JP19554685U JP19554685U JPS62104131U JP S62104131 U JPS62104131 U JP S62104131U JP 19554685 U JP19554685 U JP 19554685U JP 19554685 U JP19554685 U JP 19554685U JP S62104131 U JPS62104131 U JP S62104131U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- acoustic wave
- surface acoustic
- wave element
- base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 claims description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims 1
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Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図はこの考案に係る圧力センサの縦断面図
である。 １……ダイヤフラム、２……表面弾性波素子、
４……ベース。
である。 １……ダイヤフラム、２……表面弾性波素子、
４……ベース。
Claims (1)
- 単結晶圧電体基板又は低熱膨張率ガラス板から
なり、その片面または両面に表面弾性波素子が形
成されたダイヤフラムと、このダイヤフラムと同
一材料からなり、ダイヤフラムの一面周囲部を支
持するベースとを含み、表面弾性波素子の発振周
波数の変化によりダイヤフラムに加えられた圧力
を測定するようにした圧力センサにおいて、ダイ
ヤフラムとベースとを光学研磨封着法により直接
接合したことを特徴とする圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19554685U JPS62104131U (ja) | 1985-12-19 | 1985-12-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19554685U JPS62104131U (ja) | 1985-12-19 | 1985-12-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62104131U true JPS62104131U (ja) | 1987-07-02 |
Family
ID=31153533
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19554685U Pending JPS62104131U (ja) | 1985-12-19 | 1985-12-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62104131U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6848316B2 (en) | 2002-05-08 | 2005-02-01 | Rosemount Inc. | Pressure sensor assembly |
| JP2007256287A (ja) * | 2006-03-21 | 2007-10-04 | Radi Medical Systems Ab | 圧力センサ |
| JP2009222589A (ja) * | 2008-03-17 | 2009-10-01 | Nissan Motor Co Ltd | 圧力センサおよびこれを備えた圧力測定装置 |
-
1985
- 1985-12-19 JP JP19554685U patent/JPS62104131U/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6848316B2 (en) | 2002-05-08 | 2005-02-01 | Rosemount Inc. | Pressure sensor assembly |
| JP2007256287A (ja) * | 2006-03-21 | 2007-10-04 | Radi Medical Systems Ab | 圧力センサ |
| JP2009222589A (ja) * | 2008-03-17 | 2009-10-01 | Nissan Motor Co Ltd | 圧力センサおよびこれを備えた圧力測定装置 |