JPS6210521U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6210521U JPS6210521U JP1985102360U JP10236085U JPS6210521U JP S6210521 U JPS6210521 U JP S6210521U JP 1985102360 U JP1985102360 U JP 1985102360U JP 10236085 U JP10236085 U JP 10236085U JP S6210521 U JPS6210521 U JP S6210521U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- piezoelectric thin
- wave device
- view
- propagation direction
- Prior art date
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- Pending
Links
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Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
第１図は本考案に係る表面波装置のガラス基板
とその上に形成されたインターデイジタル電極お
よび圧電薄膜の部分断面図、第２図は第１図の表
面波装置の圧電薄膜部分の拡大断面図、第３図は
第１図の表面波装置の圧電薄膜の平面図、第４図
は圧電薄膜形成用のマスクの平面図、第５図ａは
第４図のマスクのスパツタリング用のユニツト部
分の拡大図、第５図ｂは第５図ａの―線に沿
う断面図、第６図は圧電薄膜の端部形状の変形例
の平面図、第７図ａおよび第７図ｂは夫々圧電薄
膜の端部の厚みの変化の２つの例を示す説明図、
第８図は従来の表面波装置の平面図、第９図は第
８図の表面波装置の圧電薄膜の拡大断面図である
。 ２１…ガラス基板、２４…圧電薄膜、２５…マ
スク、２６…ステンレス板、２５…ユニツト、２
７ａ…窓、２７ｂ，２７ｃ…段部。
とその上に形成されたインターデイジタル電極お
よび圧電薄膜の部分断面図、第２図は第１図の表
面波装置の圧電薄膜部分の拡大断面図、第３図は
第１図の表面波装置の圧電薄膜の平面図、第４図
は圧電薄膜形成用のマスクの平面図、第５図ａは
第４図のマスクのスパツタリング用のユニツト部
分の拡大図、第５図ｂは第５図ａの―線に沿
う断面図、第６図は圧電薄膜の端部形状の変形例
の平面図、第７図ａおよび第７図ｂは夫々圧電薄
膜の端部の厚みの変化の２つの例を示す説明図、
第８図は従来の表面波装置の平面図、第９図は第
８図の表面波装置の圧電薄膜の拡大断面図である
。 ２１…ガラス基板、２４…圧電薄膜、２５…マ
スク、２６…ステンレス板、２５…ユニツト、２
７ａ…窓、２７ｂ，２７ｃ…段部。
Claims (1)
- 基板上に圧電薄膜が形成されてなる表面波装置
において、上記圧電薄膜はインターデイジタル電
極で発生された表面波の伝播方向の端部の幅およ
び厚さが表面波の伝播方向に漸減されていること
を特徴とする表面波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985102360U JPS6210521U (ja) | 1985-07-03 | 1985-07-03 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985102360U JPS6210521U (ja) | 1985-07-03 | 1985-07-03 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6210521U true JPS6210521U (ja) | 1987-01-22 |
Family
ID=30973939
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985102360U Pending JPS6210521U (ja) | 1985-07-03 | 1985-07-03 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6210521U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01231512A (ja) * | 1988-03-11 | 1989-09-14 | Murata Mfg Co Ltd | 表面波素子の製造方法 |
| JPH01166154U (ja) * | 1988-04-27 | 1989-11-21 | ||
| WO2008114854A1 (ja) * | 2007-03-15 | 2008-09-25 | Olympus Corporation | 攪拌装置及び自動分析装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5452958A (en) * | 1977-10-04 | 1979-04-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Elastic surface wave device |
| JPS56100512A (en) * | 1980-01-17 | 1981-08-12 | Victor Co Of Japan Ltd | Elastic surface wave element and its production |
-
1985
- 1985-07-03 JP JP1985102360U patent/JPS6210521U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5452958A (en) * | 1977-10-04 | 1979-04-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Elastic surface wave device |
| JPS56100512A (en) * | 1980-01-17 | 1981-08-12 | Victor Co Of Japan Ltd | Elastic surface wave element and its production |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01231512A (ja) * | 1988-03-11 | 1989-09-14 | Murata Mfg Co Ltd | 表面波素子の製造方法 |
| JPH01166154U (ja) * | 1988-04-27 | 1989-11-21 | ||
| WO2008114854A1 (ja) * | 2007-03-15 | 2008-09-25 | Olympus Corporation | 攪拌装置及び自動分析装置 |