JPS6210656Y2 - - Google Patents

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JPS6210656Y2
JPS6210656Y2 JP1980019593U JP1959380U JPS6210656Y2 JP S6210656 Y2 JPS6210656 Y2 JP S6210656Y2 JP 1980019593 U JP1980019593 U JP 1980019593U JP 1959380 U JP1959380 U JP 1959380U JP S6210656 Y2 JPS6210656 Y2 JP S6210656Y2
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JP
Japan
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vacuum pump
flow rate
nozzle
gas flow
chamber
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JP1980019593U
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JPS56122930U (ja
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Description

【考案の詳細な説明】 この考案は音速ノズルを備えたノズルチヤンバ
ー内へ気体流発生源たとえば真空ポンプ内の油、
水などの異物が逆流して、侵入することを未然に
防止できるようにした音速ノズルの保護装置に関
する。
一般に、この種の音速ノズルは、ノズルチヤン
バー内に必要数配設され、その音速ノズルを介し
て前室と後室とに区劃している。そして、コンプ
レツサーまたは真空ポンプにより必要な気体流が
流通する流通ラインを接続して流量計として直接
用いるかあるいはその流通ライン中に被検気体流
量計を介在させて、その被検気体流量計の精度の
補正、較正、試験、検定などの用途に広く利用さ
れてきた。
このような音速ノズルを用いた装置においてノ
ズルチヤンバーの下流側の流通ラインに真空ポン
プのような気体流発生源を配した所謂、サクシヨ
ン方式により気体流を得るような方式では、往々
にして気体流発生源の駆動を停止するとノズルチ
ヤンバー内の圧力が真空ポンプ側より低くなるの
で、この発生源内の油とか水が逆流してノズルチ
ヤンバー内に溜るという不都合があつた。したが
つてノズルチヤンバーと気体流発生源との間の流
通ライン内にチエツキバルブを介在させる方策も
考えられるが、この場合は、作動中、チエツキバ
ルブが往復運動を起し、流れに変動が生じて一様
な気体流が得られないので作動条件が満足できな
いという問題があつた。
この考案は叙上の点に着目して成されたもので
気体流発生源の作動停止に先立ちノズルチヤンバ
ーの後室と気体流発生源に達する間の圧力を大気
と開放して大気圧まで高めるかあるいはさらにノ
ズルチヤンバーの後室にドレン抜き機構を設けて
気体流発生源の作動停止後このドレンのバルブを
開放してノズルチヤンバー内の油、水を排除でき
るようにした音速ノズルの保護装置を提供するに
ある。
この考案の実施例を図面について説明する。
1は一またはそれ以上の同一または異なる大き
さの音速ノズル2を隔壁3により中央に並設した
ノズルチヤンバーで、流入口4を有する前室5
と、流出口6を有する後室7とを形成する。8は
前記した音速ノズル2をバルブ開閉するバルブ機
構、9は前記ノズルチヤンバー1を含む気体の管
構造の流通ライン、10はノズルチヤンバー1の
下流側の流通ライン9に取付けた真空ポンプのよ
うな気体流発生源で、この真空ポンプ10の働き
により流通ライン9には必要な気体流が得られ
る。
また流通ライン9には必要な被検気体流量計を
配置して試験または較正を行うことも可能であ
る。11はノズルチヤンバー1の後室7に設けた
大気開放用管で必要に応じて塵埃除去用のフイル
ターを設ける、12はその中間に設けた自動また
は手動のバルブで、自動バルブの場合は図示のよ
うに操作回路13の操作信号によつて開、閉でき
るようになつている。14はノズルチヤンバー1
の後室7の圧力を検知するための圧力計で、前記
バルブ12が自動の場合は、接点付圧力計または
電気式圧力計の構成を備え、前記操作回路13と
連結してあり、大気圧に近い設定圧に達した時、
真空ポンプ10を停止する信号が発信できる構成
を備えて真空ポンプ10の作動制御ができるよう
になつている。15はノズルチヤンバー1の後室
7の下部に設けたドレンで自動または手動のバル
ブ16を備える。そして自動の場合は、前記操作
回路13と接続され、真空ポンプ10の作動の停
止後バルブ16を開放してドレン開放し、作動開
始の前にバルブ16が閉じるようになつている。
なお、前記大気開放用管11はノズルチヤンバ
ー1の後室7のみならず、ノズルチヤンバー1と
真空ポンプ10との間の流通ライン9に設けても
差支えない。
また、操作回路13は、各種検定回路、あるい
は音速ノズル2の精度補正などの制御回路と組合
わさつたコンピユータ制御も可能である。
叙上の構成に基づいて、この考案の作用を説明
する。
真空ポンプ10の作動により流通ライン9には
ノズルチヤンバー1内の音速ノズル2の作動と共
に所望の気体による気体流が流れている。
そして所望の流量計測、試験、検定などの作業
が終了した時点で真空ポンプ10の停止釦を押
す。この停止信号は操作回路13からバルブ12
に伝えられ、このバルブ12が開放し大気開放用
管11より大気が吸引される。
するとノズルチヤンバー1の後室7内の圧力は
急激に上昇し大気圧近くに達する。この圧力検知
は圧力計14で検知されるので設定した大気圧に
近い圧力に達すると信号が発せられて操作回路1
3に伝えられ、こゝで始めて真空ポンプ10の作
動が停止できる。
この真空ポンプ10の停止時期ではノズルチヤ
ンバー1の後室7と真空ポンプ10間の流通ライ
ン9は大気圧と殆んど等しい程度に圧力が上つて
いるので真空ポンプ10には負圧が作用せず、し
たがつて油とか水が逆流するおそれは全く生じな
い。
そしてこの真空ポンプ10の停止後、再び操作
回路13の働きでドレン15のバルブ16が開放
し、後室7内の水分は完全に除去される。
つぎに、新せて真空ポンプ10を作動させる時
は、操作回路13により、まず、ドレン15のバ
ルブ16が閉じ、かつ同時に大気開放用管11の
バルブ12も閉じ、その後で始めてスイツチが入
つて運転が開始され流通ライン9に必要な気体流
が流れるものである。
以上の説明では、もつぱら自動操作によるバル
ブ12,16の開閉操作を説明したが、同じ操作
を手動により順次と行うことによつて真空ポンプ
10の停止、作動を行わせることができることは
勿論である。
また、以上の実施例ではバルブ12および16
の自動または手動によつて行う場合を示したが、
このバルブ12に代わり、前室5と後室7との間
に配設した音速ノズル2のバルブ機構8を前記し
たと同様に自動的に開放して前室5と後室7との
圧力差をなくして大気圧に近い状態にしたり、あ
るいは音速ノズル2とは別個に隔壁3に設けた前
室5と後室7との連通孔2aのバルブ12′を自
動的に開放して同様に前室5と後室7との圧力差
をなくして大気圧に近い状態にすることもある。
要するに真空ポンプ10の停止前に真空ポンプ1
0とこのポンプ10と通ずる後室7の負圧を開放
できる大気開放機構Aの構成であれば良い。
この考案によればサクシヨン方式で気体流を得
ることができる気体流発生源利用の音速ノズル作
動が、気体流発生源停止に伴う負圧発生、および
この負圧のための気体流発生源内の水とか油など
の異物の逆流という不都合を回避できるので、安
全にしかも音速ノズルの汚れを防ぎ、精度を維持
できると共に構造が簡単であるから製作も容易で
あるなどの効果を有する。
【図面の簡単な説明】
図はこの考案の一実施例を示す音速ノズルの保
護装置のブロツク説明図である。 1……ノズルチヤンバー、2……音速ノズル、
7……後室、9……流通ライン、10……真空ポ
ンプのような気体流発生源、11……大気開放用
管、12……バルブ、13……操作回路、14…
…圧力計、15……バルブ16を有するドレン。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 流量が既知の複数の音速ノズルを選択可能に配
    設した隔壁により区画されるノズルチヤンバの前
    室および後室におのおの流量被検体、真空ポンプ
    を連通接続し、流量被検体の流量を上記選択され
    た音速ノズルを基準とした流量と比較する気体流
    量試験装置において、上記真空ポンプの作動停止
    の直前直後に上記ノズルチヤンバの圧力を大気開
    放する大気開放機構を配設したことを特徴とする
    保護装置。
JP1980019593U 1980-02-20 1980-02-20 Expired JPS6210656Y2 (ja)

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JP1980019593U JPS6210656Y2 (ja) 1980-02-20 1980-02-20

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JPS56122930U JPS56122930U (ja) 1981-09-18
JPS6210656Y2 true JPS6210656Y2 (ja) 1987-03-13

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2002071433A (ja) * 2000-09-05 2002-03-08 Hirai:Kk 流量計校正装置

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