JPS6211243B2 - - Google Patents
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- JPS6211243B2 JPS6211243B2 JP21941882A JP21941882A JPS6211243B2 JP S6211243 B2 JPS6211243 B2 JP S6211243B2 JP 21941882 A JP21941882 A JP 21941882A JP 21941882 A JP21941882 A JP 21941882A JP S6211243 B2 JPS6211243 B2 JP S6211243B2
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- flame
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
- F23D—BURNERS
- F23D14/00—Burners for combustion of a gas, e.g. of a gas stored under pressure as a liquid
- F23D14/02—Premix gas burners, i.e. in which gaseous fuel is mixed with combustion air upstream of the combustion zone
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Gas Burners (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はガス体燃料を燃焼させ熱交換器、その
他を加熱する燃焼器において、送風機で強制予混
合燃焼させるもので、予混合気(1次空気)と拡
散空気(2次空気)を与えるブンゼン方式の火炎
を形成するバーナに関するものである。
他を加熱する燃焼器において、送風機で強制予混
合燃焼させるもので、予混合気(1次空気)と拡
散空気(2次空気)を与えるブンゼン方式の火炎
を形成するバーナに関するものである。
従来例の構成とその問題点
従来このような送風機を用いた燃焼器は十分な
燃焼空気を得るため、ノズルで燃焼用空気を吸引
し、ガスと混合燃焼させるものに比し、コンパク
トで大きな燃焼量を得る効果があつたが、火炎の
安定性を失いやすく、特に予混合気中の空燃比
(燃料と1次空気の比率)の調節がむずかしかつ
た。従つて多くのガス種への対応や燃焼量調節な
どでは電子制御を用いた空燃比制御や適用ガス種
の制限を行い高価で大型化したり、使い勝手の悪
いものとなつていた。
燃焼空気を得るため、ノズルで燃焼用空気を吸引
し、ガスと混合燃焼させるものに比し、コンパク
トで大きな燃焼量を得る効果があつたが、火炎の
安定性を失いやすく、特に予混合気中の空燃比
(燃料と1次空気の比率)の調節がむずかしかつ
た。従つて多くのガス種への対応や燃焼量調節な
どでは電子制御を用いた空燃比制御や適用ガス種
の制限を行い高価で大型化したり、使い勝手の悪
いものとなつていた。
そこで、我々は従来の悪い点を解決するため、
送風機で強制予混合燃焼させるもので、予混合気
と2次空気を与えるブンゼンバーナに関し、1次
空気供給口を2次空気通路に設け、2次空気通路
の出口近傍で通路抵抗を変化させることにより1
次空気供給口より予混合気室へ供給される1次空
気量を制御し、供給される燃料の性質・燃焼量に
マツチした空燃比を任意に設定できる燃焼器を提
案した。以下に提案した燃焼器を第1図〜第3図
に示し、説明する。
送風機で強制予混合燃焼させるもので、予混合気
と2次空気を与えるブンゼンバーナに関し、1次
空気供給口を2次空気通路に設け、2次空気通路
の出口近傍で通路抵抗を変化させることにより1
次空気供給口より予混合気室へ供給される1次空
気量を制御し、供給される燃料の性質・燃焼量に
マツチした空燃比を任意に設定できる燃焼器を提
案した。以下に提案した燃焼器を第1図〜第3図
に示し、説明する。
1はバーナで、2は熱料供給口、3はバーナ1
の中央2次空気孔、4は予混合気室、5は1端を
予混合気室4に面し、複数個設けた炎孔、6はバ
ーナ1の外周空気通路、7は1端を予混合気室4
に面し、他端を外周空気通路6に面した1次空気
供給口、8は炎孔5に形成された火炎、9は炎孔
5と1次空気供給口7間の外周空気通路6中に設
けた仕切り板、10は仕切り板9に開口した2次
空気孔、11は送風機であり以上で燃焼器は構成
されている。
の中央2次空気孔、4は予混合気室、5は1端を
予混合気室4に面し、複数個設けた炎孔、6はバ
ーナ1の外周空気通路、7は1端を予混合気室4
に面し、他端を外周空気通路6に面した1次空気
供給口、8は炎孔5に形成された火炎、9は炎孔
5と1次空気供給口7間の外周空気通路6中に設
けた仕切り板、10は仕切り板9に開口した2次
空気孔、11は送風機であり以上で燃焼器は構成
されている。
この燃焼器の燃焼状態は、燃料供給口2から予
混合気室4内へ燃料(以下ガスという)が供給さ
れて、同時に1次空気供給口7から1次空気が供
給されて、ガスと1次空気は予混合気室4内にて
混合し予混合気となる。その後、予混合気は炎孔
5へ供給されて火炎8を形成して燃焼する。
混合気室4内へ燃料(以下ガスという)が供給さ
れて、同時に1次空気供給口7から1次空気が供
給されて、ガスと1次空気は予混合気室4内にて
混合し予混合気となる。その後、予混合気は炎孔
5へ供給されて火炎8を形成して燃焼する。
以上の状態で燃焼している時、火炎8への2次
空気の供給は中央空気通路3及び2次空気口10
より供給される。この時、2次空気口10より供
給される2次空気の流れは予混合気中の空気量が
ガスの理論空気量に比し非常に少ない時の状態を
第2図、反対に理論空気量と同等程度の状態を第
3図中に2次空気流れA,Bとして模式的に示
す。
空気の供給は中央空気通路3及び2次空気口10
より供給される。この時、2次空気口10より供
給される2次空気の流れは予混合気中の空気量が
ガスの理論空気量に比し非常に少ない時の状態を
第2図、反対に理論空気量と同等程度の状態を第
3図中に2次空気流れA,Bとして模式的に示
す。
予混合気中の空気量が少ない時の火炎8は、燃
焼に必要な空気を主として2次空気との拡散によ
つて供給を受けるため、1次炎は形成されないで
2次炎のみ形成して燃焼する。よつて、火炎8
は、予混合気と2次空気の拡散速度によつて形状
及び形成される位置が定まる。2次空気口10よ
り供給される2次空気は、2次空気口10がノズ
ルの作用をして噴出されるため、ほとんど下流方
向へ直進し、火炎8方向即ち、噴出方向に対し直
角方向へはほとんど流れない。よつて炎孔5より
噴出した予混合気は燃焼に必要な空気量が不足
し、燃焼しないで空気の存在する2次空気流れA
の部分まで予混合気が流れて燃焼する。その時、
予混合気は2次空気口10から空気を供給される
ため、炎孔5から2次空気孔10間に火炎8を形
成する。反対に予混合気中の空気量が多い時の火
炎8は、燃焼に必要な空気がほとんど予混合気中
に供給されているので、炎孔5へ形成される。
焼に必要な空気を主として2次空気との拡散によ
つて供給を受けるため、1次炎は形成されないで
2次炎のみ形成して燃焼する。よつて、火炎8
は、予混合気と2次空気の拡散速度によつて形状
及び形成される位置が定まる。2次空気口10よ
り供給される2次空気は、2次空気口10がノズ
ルの作用をして噴出されるため、ほとんど下流方
向へ直進し、火炎8方向即ち、噴出方向に対し直
角方向へはほとんど流れない。よつて炎孔5より
噴出した予混合気は燃焼に必要な空気量が不足
し、燃焼しないで空気の存在する2次空気流れA
の部分まで予混合気が流れて燃焼する。その時、
予混合気は2次空気口10から空気を供給される
ため、炎孔5から2次空気孔10間に火炎8を形
成する。反対に予混合気中の空気量が多い時の火
炎8は、燃焼に必要な空気がほとんど予混合気中
に供給されているので、炎孔5へ形成される。
一般に送風機を用い強制的に予混合気を作り、
燃焼さす燃焼器において、送風機の吐出圧力と吐
出風量は、2次空気口10、中央空気通路3、1
次空気供給口7を空気が流れる時の抵抗によつて
決まる。また、燃焼器に取り付けられた熱交換器
を燃焼排ガスが流れる時に生じる抵抗にも左右さ
れ、同時に送風機へ加わる電源電圧変動にも同様
である。これらの抵抗にバランスする状態まで送
風機の吐出圧力と吐出風量が変化する。これは、
風産時の1次空気供給口7、2次空気口10、熱
交換器の燃焼排ガス通路の寸法バラツキ及び電源
電圧変動によつて燃焼器個々の吐出圧力と吐出風
量が変化する。よつて、送風機の吐出圧力と吐出
風量が変化することは、外周空気通路6へ作用す
る圧力が変化し、1次空気供給口7及び2次空気
口10より供給される1次空気量及び2次空気量
は変化する。即ち、バーナ1での燃焼は前述した
予混合気中の空気量が少ない時と多い時が存在す
ることになる。よつて、予混合気中の空気量が少
ない時は火炎8が炎孔5から2次空気口10間に
形成されて燃焼を継続するため、仕切り板9が加
熱されて熱変形を生じて、バーナ1と仕切り板間
に間隙部が生じ、外周空気通路6内に作用してい
る圧力が2次空気口10の抵抗が小さくなつたよ
うになつて変化し、低下することによつて1次空
気口7より供給される空気量がさらに減少する。
供給されるガス量は一定であるため、予混合気中
の空気量によつて決まるバーナ1のスス発生限界
の予混合気中の空気量を下回り、初期の設定燃焼
状態であるススの発生しない燃焼から、火炎8中
に黄火が存在し、ススの発生する燃焼状態となつ
て、設定燃焼が得られない欠点を有していた。ま
たこの燃焼状態は、仕切り板9の熱変形が取り除
かれ間隙部がなくならない限り継続する。間隙部
が生じた時は、間隙部を2次空気が流れ、その流
れ量が多くなると、火炎8は2次空気によつて吹
き飛ばされて不完全燃焼を併発する欠点をも有し
ていた。
燃焼さす燃焼器において、送風機の吐出圧力と吐
出風量は、2次空気口10、中央空気通路3、1
次空気供給口7を空気が流れる時の抵抗によつて
決まる。また、燃焼器に取り付けられた熱交換器
を燃焼排ガスが流れる時に生じる抵抗にも左右さ
れ、同時に送風機へ加わる電源電圧変動にも同様
である。これらの抵抗にバランスする状態まで送
風機の吐出圧力と吐出風量が変化する。これは、
風産時の1次空気供給口7、2次空気口10、熱
交換器の燃焼排ガス通路の寸法バラツキ及び電源
電圧変動によつて燃焼器個々の吐出圧力と吐出風
量が変化する。よつて、送風機の吐出圧力と吐出
風量が変化することは、外周空気通路6へ作用す
る圧力が変化し、1次空気供給口7及び2次空気
口10より供給される1次空気量及び2次空気量
は変化する。即ち、バーナ1での燃焼は前述した
予混合気中の空気量が少ない時と多い時が存在す
ることになる。よつて、予混合気中の空気量が少
ない時は火炎8が炎孔5から2次空気口10間に
形成されて燃焼を継続するため、仕切り板9が加
熱されて熱変形を生じて、バーナ1と仕切り板間
に間隙部が生じ、外周空気通路6内に作用してい
る圧力が2次空気口10の抵抗が小さくなつたよ
うになつて変化し、低下することによつて1次空
気口7より供給される空気量がさらに減少する。
供給されるガス量は一定であるため、予混合気中
の空気量によつて決まるバーナ1のスス発生限界
の予混合気中の空気量を下回り、初期の設定燃焼
状態であるススの発生しない燃焼から、火炎8中
に黄火が存在し、ススの発生する燃焼状態となつ
て、設定燃焼が得られない欠点を有していた。ま
たこの燃焼状態は、仕切り板9の熱変形が取り除
かれ間隙部がなくならない限り継続する。間隙部
が生じた時は、間隙部を2次空気が流れ、その流
れ量が多くなると、火炎8は2次空気によつて吹
き飛ばされて不完全燃焼を併発する欠点をも有し
ていた。
発明の目的
本発明はかかる先に提案した燃焼器の欠点を解
消するもので、炎孔へ形成された火炎への2次空
気供給を円滑に且つ火炎全周に均一に供給し、予
混合気中の空気量が変化しても、炎孔のみに火炎
を安定化させて安定燃焼を継続することを目的と
するものである。
消するもので、炎孔へ形成された火炎への2次空
気供給を円滑に且つ火炎全周に均一に供給し、予
混合気中の空気量が変化しても、炎孔のみに火炎
を安定化させて安定燃焼を継続することを目的と
するものである。
発明の構成
この目的を達成するため、本発明は複数の炎孔
と該炎孔に連絡した予混合気室の周囲に予混合気
用の1次空気供給口を設けたバーナと該バーナの
炎孔に燃焼用空気を供給する空気通路と空気通路
に送風する送風機よりなり、バーナ中央部に中央
空気通路、外周部に外周空気通路を形成し、外周
空気通路へ予混合気用の1次空気供給口を開口
し、炎孔と1次空気供給口間の外周空気通路中に
中央にバーナ口を有し、バーナ口に中心方向へ突
出した複数個の凸部を形成させてなる仕切り板を
前記炎孔に近接してを設けてバーナ口の凸部をバ
ーナの外周壁に当接させてバーナを配設し、バー
ナの外周空気通路に面した外周壁との間に間隙を
設け、且つ間隙の外周に、仕切り板に開口した2
次空気孔を構成した。この構成によつて、予混合
気中の空気量が少ない時にも火炎全面に間隙及び
2次空気孔から分割して2次空気を供給すること
によつて、炎孔近傍へ2次空気が供給されて、予
混合気と2次空気の拡散面が炎孔と間隙部に存在
し火炎を炎孔へ安定化させる作用を有する。ま
た、凸部がバーナ外周壁に複数位置で当接するの
で、間隙は全周にわたつて同一量となるので、間
隙より供給される二次空気は全周にわたつて均一
となつて燃焼が安定する作用を有する。
と該炎孔に連絡した予混合気室の周囲に予混合気
用の1次空気供給口を設けたバーナと該バーナの
炎孔に燃焼用空気を供給する空気通路と空気通路
に送風する送風機よりなり、バーナ中央部に中央
空気通路、外周部に外周空気通路を形成し、外周
空気通路へ予混合気用の1次空気供給口を開口
し、炎孔と1次空気供給口間の外周空気通路中に
中央にバーナ口を有し、バーナ口に中心方向へ突
出した複数個の凸部を形成させてなる仕切り板を
前記炎孔に近接してを設けてバーナ口の凸部をバ
ーナの外周壁に当接させてバーナを配設し、バー
ナの外周空気通路に面した外周壁との間に間隙を
設け、且つ間隙の外周に、仕切り板に開口した2
次空気孔を構成した。この構成によつて、予混合
気中の空気量が少ない時にも火炎全面に間隙及び
2次空気孔から分割して2次空気を供給すること
によつて、炎孔近傍へ2次空気が供給されて、予
混合気と2次空気の拡散面が炎孔と間隙部に存在
し火炎を炎孔へ安定化させる作用を有する。ま
た、凸部がバーナ外周壁に複数位置で当接するの
で、間隙は全周にわたつて同一量となるので、間
隙より供給される二次空気は全周にわたつて均一
となつて燃焼が安定する作用を有する。
実施例の説明
以下本発明の実施例を第4図〜第6図を用いて
説明する。なお従来例と同一の作用をする部材に
は同一番号を付し、説明を省略する。
説明する。なお従来例と同一の作用をする部材に
は同一番号を付し、説明を省略する。
第1図につけ加えて、12は仕切り板9の中央
に開口したバーナ口、13はバーナ1の外周空気
通路に面した外周壁、14は仕切り板9の中央に
開口したバーナロ12の中心方向へ突出した凸部
である。凸部14はバーナ口12へバーナ1を配
設した時、外周壁13と当接し、一定量の間隙1
4を構成する。
に開口したバーナ口、13はバーナ1の外周空気
通路に面した外周壁、14は仕切り板9の中央に
開口したバーナロ12の中心方向へ突出した凸部
である。凸部14はバーナ口12へバーナ1を配
設した時、外周壁13と当接し、一定量の間隙1
4を構成する。
上記構成において、燃焼は従来とまつたく同様
で、燃料供給口2から予混合気室4内へガスが供
給されて、同時に1次空気供給口7から1次空気
が供給されて、ガスと1次空気は予混合気室4内
にて混合し予混合気となる。その後、予混合気は
炎孔5へ供給されて火炎8を形成して燃焼する。
で、燃料供給口2から予混合気室4内へガスが供
給されて、同時に1次空気供給口7から1次空気
が供給されて、ガスと1次空気は予混合気室4内
にて混合し予混合気となる。その後、予混合気は
炎孔5へ供給されて火炎8を形成して燃焼する。
以上の状態で燃焼している時、強制的に送風機
を用いて予混合し、燃焼さす燃焼器においては、
予混合気中の空気量が変化し、炎孔5に形成され
る火炎8が変化することを先に提案した燃焼器の
中で説明し、予混合気中の空気量が減少した時に
欠点を有することを説明した。この状態、即ち予
混合気中の空気量が減少した時の本発明の実施例
における燃焼状態を第6図に示す。火炎8への2
次空気の供給は、間隙14から火炎8の根元へ2
次空気流れCをもつて供給し、2次空気口10か
らは、従来通り火炎の先端部分へ2次空気流れA
をもつて供給する。このように2カ所から供給
し、しかも火炎8の根元部分にも2次空気流れを
設けることによつて、炎孔5より噴出した予混合
気と2次空気の拡散面は炎孔5と間隙14間に形
成される。よつて燃焼時の火炎8は炎孔5と間隙
14間に形成されて燃焼を継続する。これは、予
混合気中の空気量が変化しても、間隙14から2
次空気の供給を受けていることによつて、火炎8
は先に提案した燃焼器のように2次空気口10と
炎孔5間にわたつて火炎8が形成されないために
仕切り板9を加熱し、熱変形さすことはない。よ
つて、間隙14の量は燃焼中に変化することなく
一定量が保持されているため、燃焼中に外周空気
通路6内の圧力が低下することがないので、1次
空気供給口7へ作用している圧力も変化せず、1
次空気供給口7より予混合気中へ供給される1次
空気量も変化しない。よつて量産時の寸法ばらつ
き及び電源電圧変動が生じても、設定した燃焼が
継続できる効果を有する。また、間隙14の間隙
量は、火炎8の根元への2次空気供給だけである
ため、非常に小さく、流れる2次空気も少ないの
で、火炎8が吹き飛ばされる現象はない。
を用いて予混合し、燃焼さす燃焼器においては、
予混合気中の空気量が変化し、炎孔5に形成され
る火炎8が変化することを先に提案した燃焼器の
中で説明し、予混合気中の空気量が減少した時に
欠点を有することを説明した。この状態、即ち予
混合気中の空気量が減少した時の本発明の実施例
における燃焼状態を第6図に示す。火炎8への2
次空気の供給は、間隙14から火炎8の根元へ2
次空気流れCをもつて供給し、2次空気口10か
らは、従来通り火炎の先端部分へ2次空気流れA
をもつて供給する。このように2カ所から供給
し、しかも火炎8の根元部分にも2次空気流れを
設けることによつて、炎孔5より噴出した予混合
気と2次空気の拡散面は炎孔5と間隙14間に形
成される。よつて燃焼時の火炎8は炎孔5と間隙
14間に形成されて燃焼を継続する。これは、予
混合気中の空気量が変化しても、間隙14から2
次空気の供給を受けていることによつて、火炎8
は先に提案した燃焼器のように2次空気口10と
炎孔5間にわたつて火炎8が形成されないために
仕切り板9を加熱し、熱変形さすことはない。よ
つて、間隙14の量は燃焼中に変化することなく
一定量が保持されているため、燃焼中に外周空気
通路6内の圧力が低下することがないので、1次
空気供給口7へ作用している圧力も変化せず、1
次空気供給口7より予混合気中へ供給される1次
空気量も変化しない。よつて量産時の寸法ばらつ
き及び電源電圧変動が生じても、設定した燃焼が
継続できる効果を有する。また、間隙14の間隙
量は、火炎8の根元への2次空気供給だけである
ため、非常に小さく、流れる2次空気も少ないの
で、火炎8が吹き飛ばされる現象はない。
また、加工組立て時に、バーナ口12の中心と
バーナ1の中心が一致して、バーナ1の周囲に間
隙量の均一な間隙が構成される。これは、加工組
立て時間隙量の多い部分、少ない部分がバーナ1
の周囲に生じないように注意して作業する必要が
ある。これを容易にするため凸部15を外周壁1
3への当りとすることによつて解決した。
バーナ1の中心が一致して、バーナ1の周囲に間
隙量の均一な間隙が構成される。これは、加工組
立て時間隙量の多い部分、少ない部分がバーナ1
の周囲に生じないように注意して作業する必要が
ある。これを容易にするため凸部15を外周壁1
3への当りとすることによつて解決した。
よつて本実施例の効果は、間隙14を構成する
ために必要な作業時間の短縮化及び間隙14が容
易に得られる効果を有する。
ために必要な作業時間の短縮化及び間隙14が容
易に得られる効果を有する。
発明の効果
以上、説明した本発明によれば、次の効果を有
する。
する。
(1) 燃焼継続中に予混合気中の空気量が変化して
も、火炎は炎孔へ保持されており、仕切り板の
異常加熱及び加熱による変形がないので、燃焼
器の焼損・使用不能等がなくなる。
も、火炎は炎孔へ保持されており、仕切り板の
異常加熱及び加熱による変形がないので、燃焼
器の焼損・使用不能等がなくなる。
(2) 量産時の各部構成寸法のばらつきが大きくて
も燃焼器に影響しないので、量産時の加工精度
の保持に費やすコストが低減できる。
も燃焼器に影響しないので、量産時の加工精度
の保持に費やすコストが低減できる。
(3) 量産時の各部構成寸法のバラツキが大きくて
もよいことは、燃焼時の予混合気中の空気量が
大きく変化することで、これは、燃焼器とし
て、予混合気中の空気量変動が大きくてもよい
ことになり、燃焼器の燃焼範囲が広い。
もよいことは、燃焼時の予混合気中の空気量が
大きく変化することで、これは、燃焼器とし
て、予混合気中の空気量変動が大きくてもよい
ことになり、燃焼器の燃焼範囲が広い。
(4) バーナの外周に設けた間隙が全周にわたつて
均一量が確保されるので、バーナへ外周より火
炎の根元に供給される二次空気は各部均一に供
給され、部分的な空気不足が生じないので、安
定燃焼を得ることができる。
均一量が確保されるので、バーナへ外周より火
炎の根元に供給される二次空気は各部均一に供
給され、部分的な空気不足が生じないので、安
定燃焼を得ることができる。
第1図は従来の燃焼器の断面図、第2図及び第
3図は従来の燃焼器の燃焼状態図、第4図は本発
明の実施例を示す燃焼器の断面図、第5図は同仕
切り板の平面図、第6図は同器の燃焼状態図であ
る。 1……バーナ、3……中央空気通路、4……予
混合気室、5……炎孔、6……外周空気通路、7
……1次空気供給口、9……仕切り板、10……
2次空気口、11……送風機、12……バーナ
口、13……外周壁、14……間隙、15……凸
部。
3図は従来の燃焼器の燃焼状態図、第4図は本発
明の実施例を示す燃焼器の断面図、第5図は同仕
切り板の平面図、第6図は同器の燃焼状態図であ
る。 1……バーナ、3……中央空気通路、4……予
混合気室、5……炎孔、6……外周空気通路、7
……1次空気供給口、9……仕切り板、10……
2次空気口、11……送風機、12……バーナ
口、13……外周壁、14……間隙、15……凸
部。
Claims (1)
- 1 複数個の炎孔と、前記炎孔に連絡した予混合
気室の周囲に予混合気用の1次空気供給口を設け
たバーナと、前記バーナの前記炎孔に燃焼用空気
を供給する空気通路と、前記空気通路に送風する
送風機とを備え、前記バーナ中央部に中央空気通
路、外周部に外周空気通路を形成し、前記外周空
気通路へ前記予混合気用の1次空気供給口を開口
し、前記炎孔と前記1次空気供給口間の前記外周
空気通路中に中央にバーナ口を有し、かつ前記バ
ーナ口に中心方向へ突出した複数個の凸部を形成
した仕切り板を設け前記バーナ口の前記凸部をバ
ーナの外周壁に当接させて前記バーナの外周壁と
の間に前記炎孔の火炎根元に2次空気を送る間隙
を設け、且つ前記間隙の外周の前記仕切り板に開
口した2次空気口を備えた燃焼器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57219418A JPS59109710A (ja) | 1982-12-14 | 1982-12-14 | 燃焼器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57219418A JPS59109710A (ja) | 1982-12-14 | 1982-12-14 | 燃焼器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59109710A JPS59109710A (ja) | 1984-06-25 |
| JPS6211243B2 true JPS6211243B2 (ja) | 1987-03-11 |
Family
ID=16735079
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57219418A Granted JPS59109710A (ja) | 1982-12-14 | 1982-12-14 | 燃焼器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59109710A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7190181B2 (en) | 1997-06-06 | 2007-03-13 | Cascade Microtech, Inc. | Probe station having multiple enclosures |
| US7250626B2 (en) | 2003-10-22 | 2007-07-31 | Cascade Microtech, Inc. | Probe testing structure |
| US7268533B2 (en) | 2001-08-31 | 2007-09-11 | Cascade Microtech, Inc. | Optical testing device |
| US7535247B2 (en) | 2005-01-31 | 2009-05-19 | Cascade Microtech, Inc. | Interface for testing semiconductors |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6252747U (ja) * | 1985-09-19 | 1987-04-02 |
-
1982
- 1982-12-14 JP JP57219418A patent/JPS59109710A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7190181B2 (en) | 1997-06-06 | 2007-03-13 | Cascade Microtech, Inc. | Probe station having multiple enclosures |
| US7268533B2 (en) | 2001-08-31 | 2007-09-11 | Cascade Microtech, Inc. | Optical testing device |
| US7250626B2 (en) | 2003-10-22 | 2007-07-31 | Cascade Microtech, Inc. | Probe testing structure |
| US7535247B2 (en) | 2005-01-31 | 2009-05-19 | Cascade Microtech, Inc. | Interface for testing semiconductors |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59109710A (ja) | 1984-06-25 |
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