JPS62113438A - プロ−ブカ−ドの固定機構 - Google Patents
プロ−ブカ−ドの固定機構Info
- Publication number
- JPS62113438A JPS62113438A JP60254297A JP25429785A JPS62113438A JP S62113438 A JPS62113438 A JP S62113438A JP 60254297 A JP60254297 A JP 60254297A JP 25429785 A JP25429785 A JP 25429785A JP S62113438 A JPS62113438 A JP S62113438A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clamper
- probe card
- actuator
- groove
- fixing mechanism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 35
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
- 230000002747 voluntary effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（ａｌｌ開明技術分野
この発明は、ＩＣテスト用のブロー八に取り付けるプロ
ーブカードの固定機構に関するものであり、さらに詳し
くいえばプローブカードを溝つきクランパで固定するよ
うにし、クランパの移動を制御することによりプローブ
カードのｎ脱を自動化できるようにしたものである。
ーブカードの固定機構に関するものであり、さらに詳し
くいえばプローブカードを溝つきクランパで固定するよ
うにし、クランパの移動を制御することによりプローブ
カードのｎ脱を自動化できるようにしたものである。
（ｂ）従来技術と問題点
ＩＣテスタ用のブロー八に取り付けるプローブカードの
固定装置については、例えば特開昭６０−１８４０号公
報にも記載されているが、プローブカードをブロー八に
取り付けるには人手によっているのが実（犬である。し
かし、テスト・するＩＣのピン数が変われば、その度に
プローブカードをブロー八に付は直さなければならない
ので、Ｔ数がかかるという問題がある。
固定装置については、例えば特開昭６０−１８４０号公
報にも記載されているが、プローブカードをブロー八に
取り付けるには人手によっているのが実（犬である。し
かし、テスト・するＩＣのピン数が変われば、その度に
プローブカードをブロー八に付は直さなければならない
ので、Ｔ数がかかるという問題がある。
ｆｃ）発明の目的
この発明は、プローブカードをブローμに着脱する際に
、プローブカードを挟むように形成した２個のクランパ
を使用し、このクランパをアクチュエータで前後進させ
ることにより、プローブカードの着脱を自動化できるよ
うにすることを目的とする。
、プローブカードを挟むように形成した２個のクランパ
を使用し、このクランパをアクチュエータで前後進させ
ることにより、プローブカードの着脱を自動化できるよ
うにすることを目的とする。
（ｄ）発明の実施例
まず、この発明による実施例の構成図を第１図に示す。
第１図の１と２はクランパ、３と４はガイド、５と６は
リンク、７はアクチェエータ、８と９は支持部、１０は
プローブカードである。
リンク、７はアクチェエータ、８と９は支持部、１０は
プローブカードである。
クランパ１とクランパ２には、第２図に示すようにプロ
ーブカード１０を挿入できる１ｌｉｌｌとガイド３．４
を挿入できるガイド穴１２を設けている。
ーブカード１０を挿入できる１ｌｉｌｌとガイド３．４
を挿入できるガイド穴１２を設けている。
ガイド３とガイド４は、クランパ１の満１１とクランパ
２の溝１１を向かい合わせにした状態で、クランパ１の
ガイド穴１２とクランパ２のガイド穴１２に挿入される
。
２の溝１１を向かい合わせにした状態で、クランパ１の
ガイド穴１２とクランパ２のガイド穴１２に挿入される
。
リンク５は２個のアームを開閉できるようにして接続し
たものであり、リンク６もリンク５と同じ構成になって
いる。
たものであり、リンク６もリンク５と同じ構成になって
いる。
リンク５はクランパ１の端部ＩＡとクランパ２の端部２
Ａに連結され、リンク６はクランパ１の端部ＩＢとクラ
ンパ２の端部２Ｂに連結される。
Ａに連結され、リンク６はクランパ１の端部ＩＢとクラ
ンパ２の端部２Ｂに連結される。
アクチュエータ７はクランパ１に連結されており、アク
チュエータ７を駆動すればクランパ１が前後進するよう
になる。
チュエータ７を駆動すればクランパ１が前後進するよう
になる。
支持部８．９はガイド３．４の両端を保持し、クランパ
ｉ２がガイド３．４を介して移動できるようにする。
ｉ２がガイド３．４を介して移動できるようにする。
第１図はクランパｌがアクチェエータ７に近づく方向に
アクチュエータ７を駆動した場合の杖態図であり、クラ
ンパ１がアクチュエータ７側に移動するにつれてリンク
５．６が開くようになり、クランパ２はアクチュエータ
７から遠ざかる方向に移動する。
アクチュエータ７を駆動した場合の杖態図であり、クラ
ンパ１がアクチュエータ７側に移動するにつれてリンク
５．６が開くようになり、クランパ２はアクチュエータ
７から遠ざかる方向に移動する。
クランパ１とクランパ２の間が開いた状態になれば、第
１図のようにプローブカード１０の周囲をクランパ１と
クランパ２に接触させないようにして、プローブカード
１０をクランパ１とクランパ２の間に配置することがで
きる。
１図のようにプローブカード１０の周囲をクランパ１と
クランパ２に接触させないようにして、プローブカード
１０をクランパ１とクランパ２の間に配置することがで
きる。
次に、第１図の他の状１図を第３図に示す。
第３図はクランパｌがアクチュエータ７から遠ざかる方
向にアクチュエータ７を駆動した場合の状呼図であり、
クランパ１がアクチュエータ７側から離れるにつれてリ
ンク５．６が閉じるようになり、クランパ２はアクチェ
エータフに近づく方向に移動する。
向にアクチュエータ７を駆動した場合の状呼図であり、
クランパ１がアクチュエータ７側から離れるにつれてリ
ンク５．６が閉じるようになり、クランパ２はアクチェ
エータフに近づく方向に移動する。
クランパ１とクランパ２の間が閉じる状態になれば、第
３図のようにプローブカード１０の周囲をクランパ１の
満１１とクランパ２の満１１が挟むようになり、プロー
ブカードｌＯは固定される。
３図のようにプローブカード１０の周囲をクランパ１の
満１１とクランパ２の満１１が挟むようになり、プロー
ブカードｌＯは固定される。
第１図と第３図から明らかなように、アクチュＬ−夕７
でクランパｌを前後進させることにより、リンク５．６
が開閉してクランパ１とクランパ２の距離が変るように
なる。
でクランパｌを前後進させることにより、リンク５．６
が開閉してクランパ１とクランパ２の距離が変るように
なる。
したがって、クランパ１とクランパ２を近を妾させるこ
とにより、クランパ１とクランパ２間に配置したプロー
ブカード１０の周囲をクランパ１のａｌｌとクランパ２
の溝１１で固定することができる。
とにより、クランパ１とクランパ２間に配置したプロー
ブカード１０の周囲をクランパ１のａｌｌとクランパ２
の溝１１で固定することができる。
固定したプローブカード１０を取り外すには、アクチュ
エータ７でクランパ１をアクチュエータ７側に移動すれ
ばよい。これにより、クランパ１とクランパ２の間が開
き、プローブカード１０がクランパ１とクランパ２の溝
１１から解放される。
エータ７でクランパ１をアクチュエータ７側に移動すれ
ばよい。これにより、クランパ１とクランパ２の間が開
き、プローブカード１０がクランパ１とクランパ２の溝
１１から解放される。
（ｅ）発明の効果
この発明によれば、アクチュエータ７を前後進させるこ
とによりクランパ１とクランパ２の間の距離を変えるこ
とができるので、アクチュエータ７を駆動すればプロー
ブカードｌＯをブローμに着脱することができる。
とによりクランパ１とクランパ２の間の距離を変えるこ
とができるので、アクチュエータ７を駆動すればプロー
ブカードｌＯをブローμに着脱することができる。
シタ力って、テストする■ｃのピン数が変り、プローブ
カード１０を付は直す場合にも、プローブカードＩＯの
着脱を自動化することができる。
カード１０を付は直す場合にも、プローブカードＩＯの
着脱を自動化することができる。
第１図はこの発明による実施例の構成図、第２図はクラ
ンパＩの外観図、 第３図は第１図の他の状唇図。 ■・・・・・・クラ７バ、ＩＡ・・・・・・端部、ＩＢ
・・・・・・端部、２・・・・・・クランパ、２Ａ・・
・・−・端部、２Ｂ・・・・・・端部、３・・・・・・
ガイド、４・・・・・・ヴイド、５・・・・・・す／り
、６・・・・・・リンク、７・・・・・・アクチュエー
タ、８・・・・・・支持部、９・・・・・・支持部、１
０・・・・・・プローブカード。 代理人 弁理士 小 俣 欽 司 第 １ 図 第 ２ ［ｌづ 第３図 アクチュエータ 特許庁長官 黒 １）明 雄 殿 ２、発明の名称 プローブカードの固定機構 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都大田区蒲田４丁目１９番７号名称 安
ｉｉ電気株式会社 代表者 大 城 俊 − ４、代理人 〒１４４ 居 所 東京都大田区蒲田４丁目１９番７号安藤電気
株式会社内 ニー乙、−丁氏名（８４０
２）弁理士小俣欽司□、′；。 ・ 、−１ ５、補正命令の日付 自 発
ｕ、ｌ−−−６、補正により増加する発明の数
０７、補正の対象 明細書の「特許請求の範囲」の欄
。 ８、補正の内容 別紙のとおり。 特許請求の範囲 １ ガイド穴と、プローブカードを挿入できる溝とを設
けた第１のクランパと、 きる溝とを設けた第２のクランパと、 第１のクランパの溝と第２のクランパの溝を対向させて
前記ガイド穴に挿入するガイドと、第１のクランパの端
部と７Ｊ２のクランパの端部を連結するリンクと、 第１のクランパに連結したアクチュエータとを備え、 前記アクチュエータで第１のクランパを前後進させるこ
とにより、前記リンクが開閉して第１のクランパと第２
のクランパの距離が変わるようにし、 第１のクランパと第２のクランパを近接させることによ
り第１のクランパと第２のクランパ間に配置した前記プ
ローブカードを第１のクランパの溝と第２のクランパの
溝で固定することを特徴とするプローブカードの固定機
構。
ンパＩの外観図、 第３図は第１図の他の状唇図。 ■・・・・・・クラ７バ、ＩＡ・・・・・・端部、ＩＢ
・・・・・・端部、２・・・・・・クランパ、２Ａ・・
・・−・端部、２Ｂ・・・・・・端部、３・・・・・・
ガイド、４・・・・・・ヴイド、５・・・・・・す／り
、６・・・・・・リンク、７・・・・・・アクチュエー
タ、８・・・・・・支持部、９・・・・・・支持部、１
０・・・・・・プローブカード。 代理人 弁理士 小 俣 欽 司 第 １ 図 第 ２ ［ｌづ 第３図 アクチュエータ 特許庁長官 黒 １）明 雄 殿 ２、発明の名称 プローブカードの固定機構 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都大田区蒲田４丁目１９番７号名称 安
ｉｉ電気株式会社 代表者 大 城 俊 − ４、代理人 〒１４４ 居 所 東京都大田区蒲田４丁目１９番７号安藤電気
株式会社内 ニー乙、−丁氏名（８４０
２）弁理士小俣欽司□、′；。 ・ 、−１ ５、補正命令の日付 自 発
ｕ、ｌ−−−６、補正により増加する発明の数
０７、補正の対象 明細書の「特許請求の範囲」の欄
。 ８、補正の内容 別紙のとおり。 特許請求の範囲 １ ガイド穴と、プローブカードを挿入できる溝とを設
けた第１のクランパと、 きる溝とを設けた第２のクランパと、 第１のクランパの溝と第２のクランパの溝を対向させて
前記ガイド穴に挿入するガイドと、第１のクランパの端
部と７Ｊ２のクランパの端部を連結するリンクと、 第１のクランパに連結したアクチュエータとを備え、 前記アクチュエータで第１のクランパを前後進させるこ
とにより、前記リンクが開閉して第１のクランパと第２
のクランパの距離が変わるようにし、 第１のクランパと第２のクランパを近接させることによ
り第１のクランパと第２のクランパ間に配置した前記プ
ローブカードを第１のクランパの溝と第２のクランパの
溝で固定することを特徴とするプローブカードの固定機
構。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ プローブカードを挿入できる溝とガイド穴を設けた
第１のクランパと、 前記プローブカードを挿入できる溝とガイド穴を設けた
第２のクランパと、 第１のクランパの溝と第２のクランパの溝を対向させて
前記ガイド穴に挿入するガイドと、第１のクランパの端
部と第２のクランパの端部を連結するリンクと、 第１のクランパに連結したアクチュエータとを備え、 前記アクチュエータで第１のクランパを前後進させるこ
とにより、前記リンクが開閉して第１のクランパと第２
のクランパの距離が変わるようにし、 第１のクランパと第２のクランパを近接させることによ
り第１のクランパと第２のクランパ間に配置した前記プ
ローブカードを第１のクランパの溝と第２のクランパの
溝で固定することを特徴とするプローブカードの固定機
構。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60254297A JPS62113438A (ja) | 1985-11-13 | 1985-11-13 | プロ−ブカ−ドの固定機構 |
| US06/928,502 US4721198A (en) | 1985-11-13 | 1986-11-07 | Probe card clamping and changing mechanism |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60254297A JPS62113438A (ja) | 1985-11-13 | 1985-11-13 | プロ−ブカ−ドの固定機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62113438A true JPS62113438A (ja) | 1987-05-25 |
Family
ID=17263018
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60254297A Pending JPS62113438A (ja) | 1985-11-13 | 1985-11-13 | プロ−ブカ−ドの固定機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62113438A (ja) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4321078Y1 (ja) * | 1965-04-09 | 1968-09-05 | ||
| JPS4817864B1 (ja) * | 1972-03-31 | 1973-06-01 | ||
| JPS4977579A (ja) * | 1972-11-27 | 1974-07-26 | ||
| JPS5318165A (en) * | 1976-07-31 | 1978-02-20 | Toshiba Corp | Parallel claw structure |
| JPS5972146A (ja) * | 1982-10-18 | 1984-04-24 | Nec Corp | ウエハ−プロ−ビング装置 |
-
1985
- 1985-11-13 JP JP60254297A patent/JPS62113438A/ja active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4321078Y1 (ja) * | 1965-04-09 | 1968-09-05 | ||
| JPS4817864B1 (ja) * | 1972-03-31 | 1973-06-01 | ||
| JPS4977579A (ja) * | 1972-11-27 | 1974-07-26 | ||
| JPS5318165A (en) * | 1976-07-31 | 1978-02-20 | Toshiba Corp | Parallel claw structure |
| JPS5972146A (ja) * | 1982-10-18 | 1984-04-24 | Nec Corp | ウエハ−プロ−ビング装置 |
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