JPS62114871A - 全キヤリヤ内装填ワ−ク検知方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （１）産業上の利用分野 １）ウェハ及セラミック並非金属のラッピング２）金属
全般のラッピング （２）従来の技術 手作業に頼っている （３）発明が解決しようとしている問題点例えば下定盤
上で薄いキャリヤ（０，４％）内（η薄いワーク（０，
６％）を挿入してサンギヤとインターナルギヤと噛み合
って上定盤の加圧の無い状態で自転公転中のキャリヤ挿
入ワークが乗り上げたり、潜入したり或はワークのクラ
ック等トラブルをセンサ検知する方法の発見 （４）問題点を解決するための手段 下定盤とと定盤間約３００％にワークの位置づれによる
キャリヤ乗りとげと潜入及びワークの破損検知センサ装
備アームを自動製入出して異常警報を発信する方法の発
見及び滞水ワークとセンサ間の距離のアンバランスでワ
ークの傾斜を判断するのか又はイメージセンサ、或は磁
気センサ等有効適切なセレサを選定して行く。

（５）実施例 本来手作業は精厳で最も信頼出来る生産手段であるが、
限定連続動作と生産性コスト合理化に於いて釜産業界に
省力、省人化技術革新が波及しているがキャリヤ単位正
常装填を省人化してもキセリヤが下定盤上を自転、公転
で移動中若しワークの位置づれトラブルの値操業すれば
生産性被害は多大となる。本発明はロボット装填後自転
公転するキャリヤ内ワーク姿勢を再度吟味して正常装填
を保障するためラッピングマシンの下定盤（５）上に全
キャリヤ装填完了後上定盤が降下加圧以前に全キャリヤ
のワークとを前後２重旋回アーム方式の前段アーム（Ｒ
）の下面に滞水ワークの状態判断に適切なセンサ（１）
を装備し１旋回機能と異常停止点で警報発信し検知完了
後前段アーム（６）は旋回して後段の主アーム（８）に
重なって主アームと共に定点Ｆ、Ｐに退避旋回する。本
参考実施例の前後２重旋回アーム構造に於いて前段及び
後段アームの各旋回と後段主アーム（８）と装備フレー
ムの昇降部＠とシリンダ（６）をインターナルギヤ（４
）の周辺固定部に設け、ラッピング操業中は定点Ｆ、Ｐ
に停止していて、本装置はロボットから全キャリヤ装填
完了信号を受けて旋回干渉を避けるため昇降シリンダ（
６）により少し引き上げる。２重旋回主アーム（８）の
前段アーム（Ｒ）の旋回中心（ロ）はシリンダ（７）に
押し出されてサンギヤ（３）の中心で停止し前段アーム
（Ｒ）の下面にセンサ（１）を複数個配置した検知アー
ムは旋回モータαＱによりプーリα荀とａυの間にベル
ト（９）とテンシ璽ンプーリα・及びα力を介して３６
０度旋回してキャリヤ上のワーク傾斜とワークのクラッ
ク或は姿勢、ワーク装入孔境界をイメージ検知センサ等
により異常感知点で停止と警報発信し後段の主アーム（
８）は定点Ｆ、Ｒに退避停止する。

装備定点機構は装備環境に応じ直立旋回或はスライド方
式主アーム等の構造を採用することも出来る。

（６）発明の効果 −１）キャリヤとワークの一括装填により計画通り生産
性の向上と安全操業を確保出来た。

【図面の簡単な説明】

第１図・：・・・・平面図 第２図・・・・・・側面図 第３図・・・・・・ワークのキャリヤ乗り上げ図　′第
４図・・・・・・ワークのキャリヤ潜入図１・・・・・
・センサ、　　　　　２・・・・・・ワーク、３・・・
・・・サンギヤ、 ４・・・・・・インターナルギヤ１ ５・・・・・−下定盤、　　　　　６・・・・・・昇降
用シリンダ、７・・・・・・主フレーム旋回シリンダ、
８・・・・・・後段アーム、　　　９・・・・・・ヘル
ド、１０・・・・・・主フレーム旋回モータ、１１・・
・・・・センサアーム旋回軸、１２・・−・・・昇降部
フレーム、 １３・・・・・・ベルト、　　　　１４，１５・・・・
・・プーリ、１６．１７・・・・・・テンシランプーリ
、Ｐ・・・・・・キャリヤ、 Ｒ・・・・・・前段７−ム（検知アーム）Ｆ、Ｐ・・・
・・・待機定点。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ラッピングマシンのインターナルギヤ周辺固定部に駆動
   部と旋回点を設けた前後２重旋回アーム方式の前段アー
   ム直下にキャリヤ全域のワーク傾斜とクラック等の異常
   を検知出来るセンサと警報発信点を設け、前段アームは
   １旋回機能と検知センサを備え異常検知点停止と警報発
   信し検知旋回完了後、前段アームは後段の主フレームに
   重なって定点に自動復帰すること等を特長とするラッピ
   ング盤上全キャリヤ内装填ワーク検知方法。