JPS62124894A - クリ−ンロボツト - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明はクリーンルーム内で使用するのに好適なりリ
ーンロボットに関する。

〔発明の技術的背景および問題点〕

半導体工業の発達にともない高集積化が進みついに塵を
発生する作業者は、クリーンルーム内に１人か２人と高
集積化と逆比例して制限されている。従って、従前作業
者が行っていた作業もできるだけ機械に代替させること
が要望され５近年クリーンロボットの開発が急速１こ進
んでいる。

この開発は、ロボットのモータ、減速機構部などの回転
部や直線運動などの摺接部分で多く発生する塵をクリー
ンルームに飛散しない構成にしている。例えば、ロボッ
トアーム部にできるわずかなすき間から塵がクリーンル
ームに飛散する。このため清浄な環境で使用されるロボ
ットの発塵防止対策として、上記すき間をできるだけ小
さくするとか、シール構造にするとか、すき間部分の空
気を吸引掃気する構造などが主に使用されている。

これらの対策のうち吸引掃気法は効果が大きく。

はとんどのクリーンロボットで採用されている。

この掃気管はエアチューブを配管してクリーンルーム外
に排出することが行なわれている。

しかしながら、ロボットの支持体例えばアームは鋳物物
品で構成しており、このアームを密閉容器で包被すると
かなりの太さのアームとなり、小形化が要望されている
。

〔発明の目的〕

この発明は上記点に対処してなされたもので。

発塵防止対策の優れた吸引掃気法で小形、軽量。

加工容易性を目的としたクリーンロボットを提供するも
のである。

〔発明の概要〕

すなわち、端部に回転機構を設けた支持体を有するロボ
ットにおいて、上記支持体を筒状容器で構成し、この容
器の一端側に吸引手段を設け、上記容器を掃引ダクトと
して用いることを特徴とするクリーンロボットを得るも
のである。

〔発明の実施例〕

次に本発明ロボットの実施例を図面を参照して説明する
。

第１図はロボットのアームを示めす図で、アームを構成
する支持体を例えば角筒状のアルミニウムパイプ（１）
で形成する。このパイプ（１）の両端開口面はカバー＋
２）　（３１により封止られて容器例えば気密容器が構
成される。

この気密容器の一端には第１および第２のモータ（４）
　（５）が設けられ、このモータ（４）の回転軸には上
記気密容器内に張設されるベルト（６）により、上記気
密容器の他端部に設けられるアーム（力を回転駆動する
如く設ける。即ちアーム（７）の回転軸（８）に上記ベ
ルト（６）が結合する。この回転軸（８）の回転により
アーム（力が中心線（９）を中心に回転例えば２２０度
回転する構造になっている。この回転は手首回転ベアリ
ング（１■（１１）により回転を可能にしている。

他方、上記モータ（５）の回転軸には上記気密容器内に
張設されるベルトα２により、上記アーム（力の先端に
設けられるハンド（１３を矢印０４）の方向に旋回駆動
される如く設ける。即ち、ベルト（１りの他端は上記気
密容器の他端に設けられる回転軸ａ５）に結合し、この
回転軸（１９からギヤカップリング（図示せず）により
上記ハンド（１３を、中心線Ｃ１６）を中心に旋回駆動
する構成になっている。

このようなロボットアームｔこはすき間α７）０υが形
成され、このすき間α７）（２）からの塵の飛散を防止
するため気密容器の一部例えば一端に吸引機構例えば真
空ポンプ（図示せず）に結合されたエアチューブ翰を結
合させている。このエアチューブ（１９はカバー（３）
に外輪部押え■で強固ｌこ補強されて結合している。

従って、上記真空ポンプを作動させて上記エアチー−プ
αａにより吸引動作すると、上記パイプ（１）内がエア
ダクトとなり、エアチー−ブＩｌｌ　１ｉ１１１にエア
の流れが発生する。即ちパイプ（１）内は、駆動系であ
るベル）　（６）　ｔ１３を除いた空間に強烈な気流が
生じ。

回転機構であるｉ８）　ＵＣＩ　（１！１９　（Ｉυな
どで発生する塵は、発生する上記気流により吸引される
。上記気流の発生により、すき間ｔｔ７）ｕｓにおいて
は、アーム外からパイプ（１）内に流入する気流が発生
し、アーム外であるクリーンルームへの！填の飛散は改
善する。即ち支柱として作用するパイプ（１）内を掃気
ダクトとして用いることにより、アームの外側を気密に
包囲する必要がなくなり、アームをコンバクＨこ構成で
きる。上記実施グｊでは、吸引手段をアームの端部に設
けた例について説明したが、端部ばかりでなく側部に設
けてもよい。さらにハンド（１３）の部分もパイプ材で
形成し、ハンド（１３１とパイプ（１）とをエアチュー
ブで結合させた構成にしてもよい。さらにまた、上記実
施例では支苺体としてアームの例について説明したが、
支持体であればアームを支えるロボット本体に適用して
もよい。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば発塵防止対策の優れ
た掃引法で小形軽量に構成でき、加工も容易である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明ロボットの一実施例説明図である。 １・・・パイ　プ　　　　　７・・アーム１３・・・ハ
ン　ド　　　　１６．１２・・・ベル　ト１７．１８・
・・すき間　　　　　１９・・・エアチー−ブ代理人　
弁理士　　則　近　憲　相 同　　　　　竹　花　喜久男

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）端部に回転機構を設けた支持体を有するロボット
   において、上記支持体を筒状容器で構成し、この容器の
   一端側に吸引手段を設け、上記容器を掃引ダクトとして
   用いることを特徴とするクリーンロボット。
2. （２）容器は金属パイプであることを特徴とする特許請
   求の範囲第１項記載のクリーンロボット。