JPS6212502A - 電子部品の搬送装置 - Google Patents
電子部品の搬送装置Info
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- JPS6212502A JPS6212502A JP15774186A JP15774186A JPS6212502A JP S6212502 A JPS6212502 A JP S6212502A JP 15774186 A JP15774186 A JP 15774186A JP 15774186 A JP15774186 A JP 15774186A JP S6212502 A JPS6212502 A JP S6212502A
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- 230000000007 visual effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 abstract 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、IC,LSI等の電子部品を搬送可能とする
電子部品の搬送装置に関する。
電子部品の搬送装置に関する。
[従来の技術]
IC,LSI等の電子部品を、例えば測定装置あるいは
所定の給送位置に搬送するためには、通常電子部品の搬
送装置が用いられる。電子部品の搬送装置としては、従
来例えば実公昭54−4941号や実公昭54−774
’I@;に示す装置が提案されている。これらの装置は
、電子部品を滑走可能とする長手状の搬送面を備えてな
る搬送レールと、搬送レールに支持され、搬送面の上方
を被覆する状態で該搬送レールに沿って配設される上ガ
イド体を備え、該搬送レールの搬送面と上ガイド体間に
形成される搬送路に沿って電子部品を滑走状態で搬送可
能としている。この結果、該搬送路を介して測定装置や
所定の給送位置等に電子部品を供給することが可能とな
る。
所定の給送位置に搬送するためには、通常電子部品の搬
送装置が用いられる。電子部品の搬送装置としては、従
来例えば実公昭54−4941号や実公昭54−774
’I@;に示す装置が提案されている。これらの装置は
、電子部品を滑走可能とする長手状の搬送面を備えてな
る搬送レールと、搬送レールに支持され、搬送面の上方
を被覆する状態で該搬送レールに沿って配設される上ガ
イド体を備え、該搬送レールの搬送面と上ガイド体間に
形成される搬送路に沿って電子部品を滑走状態で搬送可
能としている。この結果、該搬送路を介して測定装置や
所定の給送位置等に電子部品を供給することが可能とな
る。
[発明が解決しようとする問題点]
しかしながら上記従来の電子部品の搬送装置にあっては
、搬送レールの搬送面の上方を被覆する状態で上ガイド
体が設けられているために、上ガイド体を搬送レールか
ら取外さなければ搬送面を視認することができなかった
。このため、搬送路に沿って滑走する電子部品の詰まり
とか、搬送面の摩耗状態等を確認するためにはその都度
上ガイド体を搬送レールに対して取外さなければならず
、円滑な搬送状態を確保するために多くの手間がかかる
ものとされた。
、搬送レールの搬送面の上方を被覆する状態で上ガイド
体が設けられているために、上ガイド体を搬送レールか
ら取外さなければ搬送面を視認することができなかった
。このため、搬送路に沿って滑走する電子部品の詰まり
とか、搬送面の摩耗状態等を確認するためにはその都度
上ガイド体を搬送レールに対して取外さなければならず
、円滑な搬送状態を確保するために多くの手間がかかる
ものとされた。
本発明はこのような確認作業を容易に行なえるようにし
た電子部品の搬送装置を提供することを目的としている
。
た電子部品の搬送装置を提供することを目的としている
。
[問題点を解決するための手段コ
上記目的を達成するために、本発明は、電子部品を滑走
可能とする長尺状の搬送面を備えてなる搬送レールと、
この搬送レールに支持され、前記搬送面の上方を被覆す
る状態で前記搬送レールに沿って配設される上ガイド体
を備え、前記搬送レールの搬送面と上ガイド体間に形成
される搬送路に沿゛つて電子部品を滑走状態で搬送可能
とする電子部品の搬送装置において、前記−上ガイド体
に視認部を設Cプ、この視認部より前記搬送面またはこ
の搬送面を滑走する電子部品f!?視認可能としたこと
を特徴としている。
可能とする長尺状の搬送面を備えてなる搬送レールと、
この搬送レールに支持され、前記搬送面の上方を被覆す
る状態で前記搬送レールに沿って配設される上ガイド体
を備え、前記搬送レールの搬送面と上ガイド体間に形成
される搬送路に沿゛つて電子部品を滑走状態で搬送可能
とする電子部品の搬送装置において、前記−上ガイド体
に視認部を設Cプ、この視認部より前記搬送面またはこ
の搬送面を滑走する電子部品f!?視認可能としたこと
を特徴としている。
[作用]
本発明によれば、上ガイド体に視認部を設けたため、こ
の視認部より、搬送路に沿って滑走する電子部品の詰ま
りとか、搬送面の摩耗状態等を上ガイド体を搬送レール
の搬送面の上方に被覆した状態のままで確認することが
可能となる。
の視認部より、搬送路に沿って滑走する電子部品の詰ま
りとか、搬送面の摩耗状態等を上ガイド体を搬送レール
の搬送面の上方に被覆した状態のままで確認することが
可能となる。
[実施例]
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。
第1図は本発明の一実施例に係り、ICの搬送装置を示
す一部破断の側面図、第2図は第1図の■−■線に沿う
拡大断面図、第3図は上ガイド体の開放状態を示す断面
図である。
す一部破断の側面図、第2図は第1図の■−■線に沿う
拡大断面図、第3図は上ガイド体の開放状態を示す断面
図である。
ICの搬送装置10は、所定の傾斜角度状態で配設され
る長手状の基台11上に配置される。ICの搬送装置1
0は長手状の基台11の上部に配設される長手状の搬送
レール12を備えてなり、該搬送レール12は主フレー
ム13と搬送フレーム14とから構成される。主フレー
ム13の長手方向(六方向)の両側部には、フランジ部
15が形成され、該フランジ部15はボルト16を介し
て基台11に取着される。これにより、主フレーム13
は、基台11上に支持され、長手方向(六方向)を傾斜
状態にして配設されることになる。
る長手状の基台11上に配置される。ICの搬送装置1
0は長手状の基台11の上部に配設される長手状の搬送
レール12を備えてなり、該搬送レール12は主フレー
ム13と搬送フレーム14とから構成される。主フレー
ム13の長手方向(六方向)の両側部には、フランジ部
15が形成され、該フランジ部15はボルト16を介し
て基台11に取着される。これにより、主フレーム13
は、基台11上に支持され、長手方向(六方向)を傾斜
状態にして配設されることになる。
一方、搬送フレーム14は、主フレーム13の上面に配
設され、ボルト17を介して主フレーム13に取着され
る。搬送フレーム14の長手方向(六方向)上面には、
凹部18が形成され、ざらに凹部18の中心には、長手
方向(六方向)に沿って配設される長孔19が形成され
る。この凹部18の底部は、IC20または21の搬送
面22とされ、IC20または21は、上方から下方に
向は傾斜方向く六方向)に沿って搬送面22上を滑走可
能とされる。
設され、ボルト17を介して主フレーム13に取着され
る。搬送フレーム14の長手方向(六方向)上面には、
凹部18が形成され、ざらに凹部18の中心には、長手
方向(六方向)に沿って配設される長孔19が形成され
る。この凹部18の底部は、IC20または21の搬送
面22とされ、IC20または21は、上方から下方に
向は傾斜方向く六方向)に沿って搬送面22上を滑走可
能とされる。
IC20または21を滑走可能とする搬送面22の上方
には、該搬送面22を被覆する状態で上ガイド体23が
配設される。上ガイド体23は、支持片24と長手状の
ガイドフレーム25から構成され、このうち、支持片2
4は主フレーム13の一側部側にヒンジ部材26を介し
て支持されてなる。ガイドフレーム25は、支持片24
に対してボルト27を介して取着され、長手方向(六方
向)を傾斜状態にして配設される。ガイドフレーム25
の長手方向(A方向)には、上下方向(第2図B方向)
に穿設される長孔28が形成され、該長孔28は、搬送
面22を上方より視認可能としている。
には、該搬送面22を被覆する状態で上ガイド体23が
配設される。上ガイド体23は、支持片24と長手状の
ガイドフレーム25から構成され、このうち、支持片2
4は主フレーム13の一側部側にヒンジ部材26を介し
て支持されてなる。ガイドフレーム25は、支持片24
に対してボルト27を介して取着され、長手方向(六方
向)を傾斜状態にして配設される。ガイドフレーム25
の長手方向(A方向)には、上下方向(第2図B方向)
に穿設される長孔28が形成され、該長孔28は、搬送
面22を上方より視認可能としている。
このようにして、上ガイド休23のガイドフレーム25
と搬送フレーム14の搬送面22との間に滑走されるI
C20または21の搬送路29が形成されることとなり
、IC20または21は該搬送路29に沿って矢示C方
向に搬送されることとなる。
と搬送フレーム14の搬送面22との間に滑走されるI
C20または21の搬送路29が形成されることとなり
、IC20または21は該搬送路29に沿って矢示C方
向に搬送されることとなる。
搬送路29を搬送するIC20または21のうち、IC
20は小サイズ、IC21は大サイズのものとされる。
20は小サイズ、IC21は大サイズのものとされる。
IC20は、本体部30の両側部上方に端子31を突出
状態で備えてなる。またIC21も同様に本体部32の
両側部上方に端子33を突出状態で備えてなる。小サイ
ズのIC20の搬送は、各端子31をガイドフレーム2
5の各ガイド面34に沿わせる状態で行なわれ、このた
め、両ガイド面34間の幅は、本体部30の両側部間の
端子31の幅T1よりも幾分小ざなものとされる。この
結果、IC20は各端子31がガイド面34にガイドさ
れる状態で搬送面22上を滑走され、順次下方へと搬送
されることとなる。一方、大サイズのIC21の搬送は
、本体部32の両側部のそれぞれを凹部18の2つの対
応するガイド面36に沿わせる状態で行なわれる。この
ため、両ガイド面36間の幅は、両側部間の幅T2より
も幾分大きなものとされる。この結果、IC21は両側
部のそれぞれをガイド面36にガイドされる状態で滑走
され、順次下方へと搬送されることとなる。
状態で備えてなる。またIC21も同様に本体部32の
両側部上方に端子33を突出状態で備えてなる。小サイ
ズのIC20の搬送は、各端子31をガイドフレーム2
5の各ガイド面34に沿わせる状態で行なわれ、このた
め、両ガイド面34間の幅は、本体部30の両側部間の
端子31の幅T1よりも幾分小ざなものとされる。この
結果、IC20は各端子31がガイド面34にガイドさ
れる状態で搬送面22上を滑走され、順次下方へと搬送
されることとなる。一方、大サイズのIC21の搬送は
、本体部32の両側部のそれぞれを凹部18の2つの対
応するガイド面36に沿わせる状態で行なわれる。この
ため、両ガイド面36間の幅は、両側部間の幅T2より
も幾分大きなものとされる。この結果、IC21は両側
部のそれぞれをガイド面36にガイドされる状態で滑走
され、順次下方へと搬送されることとなる。
搬送路29の下方には、第1図に示すように搬送される
IC20または21の測定装置37が備えられ、該測定
装置37は、搬送されるIC20または21の停止手段
38と、測定部39とから構成される。停止手段38は
、主フレーム13に支持されるシリンダ装置4oがら構
成され、該シリンダ装置40はピストンロッド41を搬
送面22に突出自在としている。この結果、シリンダ装
置40は、ピストンロッド41の突出駆動により、搬送
されるIC20または21を順次測定位置42に停留さ
せることが可能となる。一方、測定部39は、測定位置
42における搬送面22の対向位置に配設され、複数の
接触子43を備えてなる。
IC20または21の測定装置37が備えられ、該測定
装置37は、搬送されるIC20または21の停止手段
38と、測定部39とから構成される。停止手段38は
、主フレーム13に支持されるシリンダ装置4oがら構
成され、該シリンダ装置40はピストンロッド41を搬
送面22に突出自在としている。この結果、シリンダ装
置40は、ピストンロッド41の突出駆動により、搬送
されるIC20または21を順次測定位置42に停留さ
せることが可能となる。一方、測定部39は、測定位置
42における搬送面22の対向位置に配設され、複数の
接触子43を備えてなる。
測定部39は、矢示り方向に上下動可能とされ、接触子
43を測定位置42に停留されるIC20または21の
各端子31または33に接離可能としている。測定部3
9は、接触子43の各端子31または33に対する接触
状態において、IC20または21に対し測定信号を送
受可能としている。この結果、該測定信号の送受により
測定位置42に停留されるIC20または21の各特性
が測定されることとなる。測定の完了したIC20また
は21は、順次下方へと搬送されることとなる。
43を測定位置42に停留されるIC20または21の
各端子31または33に接離可能としている。測定部3
9は、接触子43の各端子31または33に対する接触
状態において、IC20または21に対し測定信号を送
受可能としている。この結果、該測定信号の送受により
測定位置42に停留されるIC20または21の各特性
が測定されることとなる。測定の完了したIC20また
は21は、順次下方へと搬送されることとなる。
搬送路29を搬送するIC20または21は、順次下方
へと滑走され、上記のように各特性が測定される。この
際、凹部18には、長孔19が形成されるため、搬送面
22と滑走されるIC20または21との摩擦抵抗を軽
減することが可能となる。ざらに、搬送面22上のゴミ
、ホコリなども長孔19内に落下されるのでIC20ま
たは21の円滑な滑走状態を確保することが可能となる
。
へと滑走され、上記のように各特性が測定される。この
際、凹部18には、長孔19が形成されるため、搬送面
22と滑走されるIC20または21との摩擦抵抗を軽
減することが可能となる。ざらに、搬送面22上のゴミ
、ホコリなども長孔19内に落下されるのでIC20ま
たは21の円滑な滑走状態を確保することが可能となる
。
また、ガイドフレーム25に穿設される長孔28により
、搬送面22を視認することが可能となり、これにより
滑走されるIC20または21の詰まりゃ搬送面22の
摩耗状態等を確認することが可能となる。
、搬送面22を視認することが可能となり、これにより
滑走されるIC20または21の詰まりゃ搬送面22の
摩耗状態等を確認することが可能となる。
上ガイド体23は、ヒンジ部材26を介して主フレーム
13に支持され、矢示E方向に回動可能とされる。この
結果、上ガイド体23は搬送面22に対し開閉自在とな
る。上記のように滑走されるIC20または21の詰ま
りゃ搬送面22の摩耗状態が確認されると、第3図に示
すように上ガイド体23が搬送面22に対して開放され
る。これにより、該開放状態においてIC20または2
1の詰まりを解消する作業や搬送面22の修繕を行なう
ことが可能となる。また、搬送フレーム14の交換も上
ガイド体23の開放状態で行なうことが可能となり、該
交換は搬送面22により一定の滑走状態が得られなくな
った状態において行なわれる。このようにして、IC2
0または21の詰まりの解消、搬送面22の修繕等の作
業が完了すると上ガイド体23は第2図に示すように閉
状態とされ、再びIC20または21の搬送が行なわれ
ることとなる。′ 次に、上記実施例の作用を説明する。
13に支持され、矢示E方向に回動可能とされる。この
結果、上ガイド体23は搬送面22に対し開閉自在とな
る。上記のように滑走されるIC20または21の詰ま
りゃ搬送面22の摩耗状態が確認されると、第3図に示
すように上ガイド体23が搬送面22に対して開放され
る。これにより、該開放状態においてIC20または2
1の詰まりを解消する作業や搬送面22の修繕を行なう
ことが可能となる。また、搬送フレーム14の交換も上
ガイド体23の開放状態で行なうことが可能となり、該
交換は搬送面22により一定の滑走状態が得られなくな
った状態において行なわれる。このようにして、IC2
0または21の詰まりの解消、搬送面22の修繕等の作
業が完了すると上ガイド体23は第2図に示すように閉
状態とされ、再びIC20または21の搬送が行なわれ
ることとなる。′ 次に、上記実施例の作用を説明する。
上記実施例に係るICの搬送装置10によれば、上ガイ
ド体23のガイドフレーム25には視認部としての長孔
28が形成されているため、この長孔28より搬送面2
2を視認することが可能となる。従って上ガイド体23
を搬送レール12の搬送面22の上方に被覆した状態の
ままで、搬送路に沿って滑走するIC20または21の
詰まりとか、搬送面22の摩耗状態等を確認することが
可能となる。
ド体23のガイドフレーム25には視認部としての長孔
28が形成されているため、この長孔28より搬送面2
2を視認することが可能となる。従って上ガイド体23
を搬送レール12の搬送面22の上方に被覆した状態の
ままで、搬送路に沿って滑走するIC20または21の
詰まりとか、搬送面22の摩耗状態等を確認することが
可能となる。
第4図および第5図は上記実施例の変形例に係り、IC
の搬送装置を示す断面図である。このICの搬送装置5
0は、搬送面22の上方に一対の上ガイド体51を籠え
てなる。各上ガイド体51は、支持片52と断面り字状
のガイドフレーム53から構成され、このうち、各支持
片52は主フレーム13のそれぞれの側部にヒンジ部材
54を介して支持されてなる。各ガイドフレーム53は
、対応する支持片52に対してボルト55を介して取着
される。各ガイドフレーム53の先端部には、滑走され
るIC20または21のうち小サイズのIC20の端子
31をガイド可能とするガイド部56が備えられる。各
ガイド部56間の幅はIC20の端子31間の幅T1よ
りも幾分小さなものとされ、また、各ガイド部56の間
には、搬送面22を視認可能とする間隙57が形成され
る。これにより、IC20は、端子3]をガイド部56
にガイドされる状態で搬送面22上を滑走されることと
なり、さらに滑走される各IC20または21は、間隙
57より確認されることとなる。
の搬送装置を示す断面図である。このICの搬送装置5
0は、搬送面22の上方に一対の上ガイド体51を籠え
てなる。各上ガイド体51は、支持片52と断面り字状
のガイドフレーム53から構成され、このうち、各支持
片52は主フレーム13のそれぞれの側部にヒンジ部材
54を介して支持されてなる。各ガイドフレーム53は
、対応する支持片52に対してボルト55を介して取着
される。各ガイドフレーム53の先端部には、滑走され
るIC20または21のうち小サイズのIC20の端子
31をガイド可能とするガイド部56が備えられる。各
ガイド部56間の幅はIC20の端子31間の幅T1よ
りも幾分小さなものとされ、また、各ガイド部56の間
には、搬送面22を視認可能とする間隙57が形成され
る。これにより、IC20は、端子3]をガイド部56
にガイドされる状態で搬送面22上を滑走されることと
なり、さらに滑走される各IC20または21は、間隙
57より確認されることとなる。
各上ガイド体51は、ヒンジ部材54により主フレーム
13に対して矢示F方向に回動可能とされ、この結果、
各上ガイド体51は搬送面22に対し開閉自在となる。
13に対して矢示F方向に回動可能とされ、この結果、
各上ガイド体51は搬送面22に対し開閉自在となる。
搬送面22を滑走するIC20または21の詰まりゃ搬
送面22の摩耗状態が間隙57の部分より確認されると
、第5図に示すように各上ガイド体51が搬送面22に
対し開放される。これにより、該開放状態においてIC
20または21の詰まりの解消作業や搬送面22の修繕
、さらに搬送フレーム14の交換を行なうことが可能と
なる。その他の構成および作用は、前記実施例と同様で
ある。
送面22の摩耗状態が間隙57の部分より確認されると
、第5図に示すように各上ガイド体51が搬送面22に
対し開放される。これにより、該開放状態においてIC
20または21の詰まりの解消作業や搬送面22の修繕
、さらに搬送フレーム14の交換を行なうことが可能と
なる。その他の構成および作用は、前記実施例と同様で
ある。
[発明の効果]
以上のように、本発明は、電子部品を滑走可能とする長
尺状の搬送面を備えてなる搬送レールと、この搬送レー
ルに支持され、前記搬送面の上方を被覆する状態で前記
搬送レールに沿って配設される上ガイド体を備え、前記
搬送レールの搬送面と上ガイド体間に形成される搬送路
に沿って電子部品を滑走状態で搬送可能とする電子部品
の搬送装置において、前記上ガイド体に視認部を設け、
この視認部より前記搬送面またはこの搬送面を滑走する
電子部品を視認可能としたことを特徴とするため、上ガ
イド体を搬送レールの搬送面の上方に被覆した状態のま
まで、搬送路に沿って滑走する電子部品の詰まりとか、
搬送面の摩耗状態等を容易に確認することが可能となる
。
尺状の搬送面を備えてなる搬送レールと、この搬送レー
ルに支持され、前記搬送面の上方を被覆する状態で前記
搬送レールに沿って配設される上ガイド体を備え、前記
搬送レールの搬送面と上ガイド体間に形成される搬送路
に沿って電子部品を滑走状態で搬送可能とする電子部品
の搬送装置において、前記上ガイド体に視認部を設け、
この視認部より前記搬送面またはこの搬送面を滑走する
電子部品を視認可能としたことを特徴とするため、上ガ
イド体を搬送レールの搬送面の上方に被覆した状態のま
まで、搬送路に沿って滑走する電子部品の詰まりとか、
搬送面の摩耗状態等を容易に確認することが可能となる
。
第1図は本発明の一実施例に係り、ICの搬送装置を示
す一部破断の側面図、第2図は第1図の■−■線に沿う
拡大断面図、第3図は上ガイド体の開放状態を示す断面
図、第4図および第5図は第1図に示すICの搬送装置
の変形例に係り、第4図は第2図と同様の断面図、第5
図は第3図と同様の断面図である。 10.50・・・ICの搬送装置、12・・・搬送レー
ル、20.21・・・IC122・・・搬送面、23.
51・・・上ガイド体、29・・・搬送路、26.54
・・・ヒンジ部材。 特許出願人 東芝精機株式会社 第 1 図 茅 2 図
す一部破断の側面図、第2図は第1図の■−■線に沿う
拡大断面図、第3図は上ガイド体の開放状態を示す断面
図、第4図および第5図は第1図に示すICの搬送装置
の変形例に係り、第4図は第2図と同様の断面図、第5
図は第3図と同様の断面図である。 10.50・・・ICの搬送装置、12・・・搬送レー
ル、20.21・・・IC122・・・搬送面、23.
51・・・上ガイド体、29・・・搬送路、26.54
・・・ヒンジ部材。 特許出願人 東芝精機株式会社 第 1 図 茅 2 図
Claims (3)
- (1)電子部品を滑走可能とする長尺状の搬送面を備え
てなる搬送レールと、この搬送レールに支持され、前記
搬送面の上方を被覆する状態で前記搬送レールに沿つて
配設される上ガイド体を備え、前記搬送レールの搬送面
と上ガイド体間に形成される搬送路に沿つて電子部品を
滑走状態で搬送可能とする電子部品の搬送装置において
、前記上ガイド体に視認部を設け、この視認部より前記
搬送面またはこの搬送面を滑走する電子部品を視認可能
としたことを特徴とする電子部品の搬送装置。 - (2)視認部は搬送路に沿って上ガイド体に形成された
長孔であることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載
の電子部品の搬送装置。 - (3)上ガイド体を一対の部材より構成するとともに、
この一対の部材の対向間に間隙を形成し、この間隙を視
認部としたことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載
の電子部品の搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15774186A JPS6212502A (ja) | 1986-07-04 | 1986-07-04 | 電子部品の搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15774186A JPS6212502A (ja) | 1986-07-04 | 1986-07-04 | 電子部品の搬送装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60126201A Division JPS61287606A (ja) | 1985-06-12 | 1985-06-12 | 電子部品の搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6212502A true JPS6212502A (ja) | 1987-01-21 |
Family
ID=15656336
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15774186A Pending JPS6212502A (ja) | 1986-07-04 | 1986-07-04 | 電子部品の搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6212502A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06291089A (ja) * | 1991-10-28 | 1994-10-18 | American Teleph & Telegr Co <Att> | パターン付タングステン層の形成方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS544941U (ja) * | 1977-06-14 | 1979-01-13 | ||
| JPS547741U (ja) * | 1977-06-13 | 1979-01-19 | ||
| JPS61145004A (ja) * | 1984-12-18 | 1986-07-02 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 薄形icの搬送装置 |
-
1986
- 1986-07-04 JP JP15774186A patent/JPS6212502A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS547741U (ja) * | 1977-06-13 | 1979-01-19 | ||
| JPS544941U (ja) * | 1977-06-14 | 1979-01-13 | ||
| JPS61145004A (ja) * | 1984-12-18 | 1986-07-02 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 薄形icの搬送装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06291089A (ja) * | 1991-10-28 | 1994-10-18 | American Teleph & Telegr Co <Att> | パターン付タングステン層の形成方法 |
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