JPS6212941A - 光磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は光磁気記録媒体に関するもので、スパッタリン
グ等によりガラスあるいはプラスティック等の基板上に
作製した薄膜であり、＠面に対して垂直な磁気異方性を
有し、レーザー等、加熱により反転磁区を作り情報を記
録することができ、記録した反転磁区をカー効果、ファ
ラデー効果によりレーザーの偏光面の回転で読み出すこ
とができる光磁気記録媒体に関する。

〔発明の概要〕

この発明は、光磁気記録媒体において、重希土類金属Ｔ
６　、　Ｇｄ　、　Ｄｙ　および遷移金属Ｆ＃　、　ｃ
ｍ　。

ｍ＜　　のほかに軽希土類金属Ｎｄ　、　Ｂｍ、　Ｐｒ
　　ｆ含む　　□ことにより、従来の組成では不可能で
あった合金　　：ターゲットの作製を容易にし、かつ高
性能な光磁気記録媒体を提供することを可能にしたもの
である。

〔従来の技術〕

従来の光磁気記録媒体は例えば、特開昭５７−９４９４
８のように重希土類金属Ｔｂ、　Ｇｄ　、　Ｄｙのうち
１種類以上および？、またはＣＱのうち１種類以上で構
成された非晶質薄膜からなる。

垂直磁化膜を得るための条件は公知のように　　　・Ｋ
ｚ　＞　２π顯 と書きあられされる。但しに％は磁気異方注エネルギー
（ｅｒｇ／ｃｍ”　）　、　ＭＢは飽和磁化（−ｇｍｉ
／ｃｃ　、　）　　である、スパッタリングにより作製
された重希土類金属−鉄系および重希土類金属−コバル
ト系合金は非晶質である。また、結晶質と同様にフェリ
磁性体となるため、最も残留磁化が小さくなり、保磁力
が最も大きくなる組成、補償組成に近い組成からなる薄
膜を光磁気記録媒体として用いてきた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし、光磁気記録媒体として用いられるＴｂ、　Ｇｄ
　、　Ｄｙは公知のように補償組成付近で遷移金属合金
と金属間化合物を作りやすく、それらを熔融し鋳造した
だけでは割れやすめとｉう欠点があり、合金ターゲット
’ｔ−ｈ製するには特殊な技術が必要である。従って、
スパッタリングにより薄膜を作製するには複合ターゲッ
トが用いられている。

複合ターゲツト法では ■　薄膜の組成制御が困難である。

■　均一な組成の薄膜を得るためには、ベレットの配置
をくふうするなど、煩雑な手続きが必要である。

という欠点を有する。特に上記０項は、薄膜組成の不均
一が再生時のノイズの原因となるため、光磁気記録媒体
のＣ／Ｎ向上のためには克服しなければならな一重大な
欠陥である。

そこで、本発明はこのような問題点を解決するもので、
その目的とするところは均一な組成の膜を作製するため
に必要な合金ターゲットの作製を可能にし、資源的に僅
少な重希土類金属を豊富な軽希土類金属で置換すること
により従来０ものと比べ安価で高ａ能な光磁気記録媒体
を提供することにある。

〔問題点を解決するため■手段〕

本発明の光磁気記録媒体は軽希土類金属ａｍ　。

Ｎｄ＃Ｐｒ、Ｃｅ（Ｉ：Ｊ、下、　ＴＪＲと呼ぶ。）お
よび、重希土類金属Ｔ６　、　Ｇｄ、　Ｄｙ　＃　（以
下、　ＨＲと呼ぶ。

）および遷移金属Ｘ’ｓ　、　Ｃｏ　、　Ｎｊ　（Ｉｄ
下、ＴＭと呼ぶ、）それぞれ一種類以上からなる。１ｍ
成式を（ＬＪ−ｚＨＲｚ）ｙ　ＴＭｔ−ｙ としたとき本発明では、ｚ、ｙは０．５　＜　ｚ　＜０
．８　。

０．１　＜：　ｊ／　＜：　０．４である　２は゛より
好ましくは０．６＜：　ｚ　り０．８最も好ましくは０
．６５　りｒ：　＜ｉ、　０．７５である。またＶは、
より好ましくはｏ、２　りｖ　＜、　０−４最も好まし
くは０−２　＜：　ｙ　り０．３５である。

〔実施例〕

実施例により、本発明の効果について述べる。

本実施例で示す薄膜はすべてスパッタリングによ１”製
した。スパッタリング条件は初期真空度工Ｘ　１０””
Ｔ４ｒｒ以下、アルゴン圧５　Ｘ　１０　Ｔｏｒｒ　、
基板バイアスＯＶである。

嘉１図に（Ｎｄｒ−ｚＤ−ｙｚ）ｙ　’Ｂ’ｅｓ−ｙの
カー回転角（以下θにと呼ぶ、）の組成依存１１に示す
、θには？−の組成でほぼ決まり、Ｄｖｏ歇を変化させ
ても変わらず、１８分程度となる。このＩ′ｉ！は従来
量いられているＴ６　、　ｙｇと同程度である。

第２図に（Ｎｄ１−ｊｅ　”７Ｚ）　０−３０　Ｆｅ　
ｏａｎ　＠　（Ｍｄｌ　−Ｅ　Ｃ）ｄｆ）　ｏ−３０Ｆ
ｅｏ−ｔｏ　（Ｎｄｔ−ｚ　Ｔ６Ｚ）ｏ−ｇｏ　ＩＦｅ
ｏ、ｔｏの保磁力（以下、■ｃとよぶ、）■Ｎｄに対す
る重希土類金属の置換置゛依存性を示す。最もＨ，の増
大効果の大きいのはＴｂである。第１図と第２図かられ
かるようにＨＣが最大となる組成においてθには減少し
ない、ＨＣは記録ビットの安定性に、θには記録ビット
の読み出し特注に密接に関係している。従って、ＨＲ置
換によりＨｅを増大でき、かつθｋｔ−下げないとｉう
ことは、安定な記録ビットを得るうえで有利なことであ
る。

第１図に示したように、θｋが従来から用＾られてきた
Ｔｂ　ｍ　Ｆｅと同程度である。さらにθにの向上をは
かるため７ｅをＣｄ　、　Ｈｌで置換した例−ＣＮｄｃ
ｂ、５Ｔ６ｏ−ｙ）ｏ、ｕ　（ＩＦｇｏ−ｅ−ｙｃｏｙ
Ｎ４ｏ、１）ｏ−ｙｓのθにの？、に対するＣＱ置換量
依存比を第３図に示す。θｋｔｒｉｙ＝０．３のとき最
大ｌ１ｉＬ２２分を示す。θｋが大きいとして知られて
いるＧｄ？、と同程度にまでできあげることができた。

なお、Ｆｅをｍｚ　、　ｃＯで置換したことＫよるＨ、
■大きな変化はみられていない、公知のように記録・再
生時の０７ＭはＲｆ反射率としたときＰ、θｋに比ｕ１
するため、θにの向上により再生時のＣハは向上してい
る。

巣４図ＫＮｄをＢｍ　、　Ｃｄ　、　Ｐｙなどの軽希土
類金属で置換した（（Ｎｄ　ｔ　−Ｚ　ｘＪＲＺ）　ｏ
、ｓＤｙ　ｏ、ｙ　）　ｏ、ａ　’ｅ　ａｐｔｓのθｋ
を示す。（但し、ＴＪＲ＝Ｂｍ、　Ｃｅ　、　Ｐｒでお
る。）ａｍ置換によりθには最も向上し、次匹でＣ，’
、Ｐｆの順となっている。いずれもθｋが最大となるの
はｚ　＝　０．０５　　のときである。

〔発明の効果〕

以上、述べたように本発明によれば、合金ターゲットを
容易に作製できる組成で従来用いられてきた光磁気記録
媒体と同等の特ａｔ−出すことができる。さらに資源的
に僅少なため高価なＴｂヲ豊富なため安価なＮｄで置換
することもできるため、Ｔｂを使い続ければ将来起こる
であろう材料の枯渇からも逃れることができるという効
果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図（”ｄｘ−ｚ　”ｙｚ　）ｏ−ｍ　’６６−７１
１５（Ｎｄｔ−ｃ）ｏ−ｔｉ　’６％ｇのカー回転角θ
にの２依存注図。 第２図（Ｎｄ１−ｚ　Ｄｙｃ　）ｏ−ｇｏ　Ｆｓｏ−ｙ
ｏ　、（Ｎｄｌ−ｃ　ＧｄＣ）ｏ、ｓ。 ”ａ、ｔｏ　ａ　（Ｎｄｔ−ｚＴｂＺ）ｏ−ｓｏ　ｙｒ
ｇ、、、の保磁力の２依存注図。 第３図（Ｎｄｏ−ｓ　Ｔｂｏ−ｙ）０．２ｇ　（’ｇｏ
−＊−Ｙ　Ｃ０１”１ｏ−１）ｈｎのカー回転角のＶ依
存性図。 第４図（（”ｄ　ｔ−ｚ　”’ｚ）　ｏ−５Ｄｙ　ｏ−
ｙ　）Ｏ，ｉｌＳＦｇ　＞７１のカー回転角の２依存注
を示す図＊　（ＪＪＲ＝ａｍ、Ｐｒ、Ｃｌ）ｏ　（Ｎｄ
ｔ−ｘ　Ｄχ：ｘ）ｏ、ｚｒ　ＴｇｏｙＢ；Δ（Ｎｄ、
−Ｘ５メ）ｏ、＋！；　ｒｅ　ｏ、’ｉｒ第１図 χ Ｘ　　＜Ｎｄ　＋−ｘ　　１ｘ）ｏ−ｓ　Ｔａｏ−７４
（Ｎｄｔ−ｙ　ｅｒｄｘ）ｏ、うＦｓｏ、７’　　（Ｎ
ｃｌ　＋−ｙ（Ｔｆ＋ｘ　）ｏ４　　Ｔａｏ−’１）（
ｋ：［）ｙ、　Ｃｖｃｌ−Ｔ）ｙ 第２図 ｏ　（Ｎａｏ、３ＴｈＯ・１Ｔ）ａ、、ｓ　（ＴＶ！４
．１−白Ｎ：６．＋）Ｑｒ）５力−回隼λｐ１偽　汗を
灸１シ＋Ｉν１第３図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　Ｓｍ、Ｎｄ、Ｐｒ、Ｃｌのうち１種類以上およびＦｅ
   、Ｎｉ、Ｃｏうち１種類以上およびＴｂ、Ｇｄ、Ｄｙの
   うち１種類以上からなり、組成式を｛（Ｎｄ、Ｐｒ、Ｃ
   ｅ）＿１＿−＿ｘ（Ｔｂ、Ｇｄ、Ｄｙ）＿ｘ｝＿ｙ（Ｆ
   ｅ、Ｃｏ、Ｎｉ）＿１＿−＿ｙと表わしたとき ０．５＜ｘ≦０．８ ０．１≦ｙ≦０．４ で限定されることを特徴とする光磁気記録媒体。