JPS62133143U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62133143U JPS62133143U JP1740686U JP1740686U JPS62133143U JP S62133143 U JPS62133143 U JP S62133143U JP 1740686 U JP1740686 U JP 1740686U JP 1740686 U JP1740686 U JP 1740686U JP S62133143 U JPS62133143 U JP S62133143U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- outputs
- pressure sensor
- gauge resistor
- semiconductor pressure
- resistor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 claims description 2
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 claims description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図はこの考案による多特性半導体圧力セン
サの回路図、第２図および第３図は夫々従来の半
導体圧力センサの回路図および出力特性図、第４
図はこの考案による多特性半導体圧力センサの出
力特性図である。 １…ゲージ抵抗、４…オフセツト電圧補正用抵
抗、１１，２１…差動増幅回路、１３，２３…ゲ
イン微調整用オペアンプ、１４，２４…ゲイン微
調整用抵抗、１５，２５…増幅用オペアンプ、２
０…差動増幅部。尚、図中同一符号は同一又は相
当部分を示す。
サの回路図、第２図および第３図は夫々従来の半
導体圧力センサの回路図および出力特性図、第４
図はこの考案による多特性半導体圧力センサの出
力特性図である。 １…ゲージ抵抗、４…オフセツト電圧補正用抵
抗、１１，２１…差動増幅回路、１３，２３…ゲ
イン微調整用オペアンプ、１４，２４…ゲイン微
調整用抵抗、１５，２５…増幅用オペアンプ、２
０…差動増幅部。尚、図中同一符号は同一又は相
当部分を示す。
補正 昭６１．６．６
実用新案登録請求の範囲を次のように補正する
。
。
【実用新案登録請求の範囲】
シリコンチツプのダイヤフラム部に形成され、
印加圧力に応じた出力変化を電圧値で出力するゲ
ージ抵抗と、複数の増幅回路を有し、ゲージ抵抗
からの入力に応じて複数の電圧値で出力する増幅
部を備えたことを特徴とする多特性半導体圧力セ
ンサ。
印加圧力に応じた出力変化を電圧値で出力するゲ
ージ抵抗と、複数の増幅回路を有し、ゲージ抵抗
からの入力に応じて複数の電圧値で出力する増幅
部を備えたことを特徴とする多特性半導体圧力セ
ンサ。
Claims (1)
- シリコンチツプのダイヤフラム部に埋め込まれ
、印加圧力に応じた出力変化を電圧値で出力する
ゲージ抵抗と、複数の増幅回路を有し、ゲージ抵
抗からの入力に応じて複数の電圧値で出力する増
幅部を備えたことを特徴とする多特性半導体圧力
センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1740686U JPS62133143U (ja) | 1986-02-07 | 1986-02-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1740686U JPS62133143U (ja) | 1986-02-07 | 1986-02-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62133143U true JPS62133143U (ja) | 1987-08-22 |
Family
ID=30810136
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1740686U Pending JPS62133143U (ja) | 1986-02-07 | 1986-02-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62133143U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009002875A (ja) * | 2007-06-25 | 2009-01-08 | Honda Motor Co Ltd | 圧力センサの較正装置および燃料電池システム |
| JP2018132521A (ja) * | 2017-02-16 | 2018-08-23 | センサータ テクノロジーズ インコーポレーテッド | 単一の圧力トランスデューサ素子を備えるデュアル出力の圧力センサ |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53114690A (en) * | 1977-03-17 | 1978-10-06 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Thin film strain gauge convertor |
| JPS6072530A (ja) * | 1983-09-28 | 1985-04-24 | 住友ベークライト株式会社 | 圧力センサ−用増幅器 |
-
1986
- 1986-02-07 JP JP1740686U patent/JPS62133143U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53114690A (en) * | 1977-03-17 | 1978-10-06 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Thin film strain gauge convertor |
| JPS6072530A (ja) * | 1983-09-28 | 1985-04-24 | 住友ベークライト株式会社 | 圧力センサ−用増幅器 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009002875A (ja) * | 2007-06-25 | 2009-01-08 | Honda Motor Co Ltd | 圧力センサの較正装置および燃料電池システム |
| JP2018132521A (ja) * | 2017-02-16 | 2018-08-23 | センサータ テクノロジーズ インコーポレーテッド | 単一の圧力トランスデューサ素子を備えるデュアル出力の圧力センサ |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS62102137U (ja) | ||
| JPS62133143U (ja) | ||
| JPS63215929A (ja) | 半導体式圧力検知装置 | |
| JPH09181191A (ja) | 差動対トランジスタを有する回路装置 | |
| JPH0682844B2 (ja) | 半導体歪変換装置 | |
| JP2508406B2 (ja) | 半導体圧力センサ | |
| JPS62160342U (ja) | ||
| JPH05853Y2 (ja) | ||
| JPH02108149U (ja) | ||
| JPS62158919U (ja) | ||
| JPS6336059U (ja) | ||
| JPS63150320U (ja) | ||
| JPS62160343U (ja) | ||
| JPH01131136U (ja) | ||
| JPH036536U (ja) | ||
| JPS6219760U (ja) | ||
| JPS61163423U (ja) | ||
| JPH0529634A (ja) | 半導体センサ | |
| JPS61114853U (ja) | ||
| JPH0361725U (ja) | ||
| JPS62155341U (ja) | ||
| JPH02107052U (ja) | ||
| JPS6013414U (ja) | アナログ量測定回路 | |
| JPH02118238U (ja) | ||
| JPH0352646U (ja) |