JPS62136366A

JPS62136366A - ポリツシヤにおけるワ−ク搬入・搬出装置

Info

Publication number: JPS62136366A
Application number: JP60273111A
Authority: JP
Inventors: Hideo Kawakami; 川上　英雄; Masami Endo; 正美遠藤
Original assignee: Toshiba Machine Co Ltd
Current assignee: Shibaura Machine Co Ltd
Priority date: 1985-12-04
Filing date: 1985-12-04
Publication date: 1987-06-19

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、太陽歯車と内歯車にかみ合い上下定盤間を自
転および公転するキャリアの複数の穴にそれぞれワーク
を嵌入して上下定盤によりワークの表面を研磨するポリ
ッシャに係り、特に前記キャリアに対するワークの搬入
・搬出装置に関するものである。

〔技術的背景とその問題点〕

前記のようなポリッシャのキャリアは自転と公転企行な
い、かつ太陽歯車および内歯車とのかみ合いにバブクラ
ブシュがあるため、ワーク嵌入用の穴の位置金倉めて該
キャリアをポリッシャ内の所定位置に精度よく停止させ
ることはできない。

このため、特にキャリアの穴に対するワークの位置付は
精度を要求されるワークの搬入は、従来、一般に人手に
よって行なわれていた。なお、最近、ポリッシャにおい
ても自動化が要求され、ワークの搬入・搬出を自動的に
行なうことが検討され、種々の装置が提案されているが
、前記のようなキャリアの特殊性からキャリアにワーク
を予じめ嵌りヴシャ内に置かれているキャリアにワーク
をロボーｌトなどによｆ）１つずつ搬入する方法も考え
らｎるが、非能率的であると共に、この方法はキャリア
の各人の位置？それぞれ正確に検知する必要があり、搬
入に時間が掛ってしまう欠点がある。

〔発明の目的〕

本発明は、前述したような問題を解決し、比較的簡単な
装置により確実かつ能率的にキャリアに対するワークの
搬入を、さらには搬出をも行なうことのできるポリッシ
ャにおけるワーク搬入・搬出装置を提供するにある。

〔発明の概要〕

かかる目的を達成するための本発明（は、太陽歯車と内
歯車にかみ合い上下定盤間を自転および公転するキャリ
アの複数の穴にそれぞれワークを嵌入して上下定悠によ
りワークの表面を研突するポリンンヤのキャリアに対す
るワークの搬入・搬出装置であって、キャリアの複数の
穴の配置に対応した配置で複数のワークを保持するチャ
ック部と、このチャック部の回転駆動部および移動手段
と、ボリッシャ内にあってワークの搬入・搬出を受ける
キャリアの公転位置および自転角の検出手段と、この検
出手段からの出力信号に応じて回転駆動部および移動手
段を制御する手段とを具備させ、ポリシャ内にあるキャ
リアの各穴に対し複数のワークを同時に的確に嵌入させ
ることができ、さら（（はキャリアの穴に嵌入されてい
る複数のワークを同時に搬出することもできるようにし
たものである。

〔実施例〕

以下本発明の一実施例を示す第１図ないし第４図につい
て説明する。第１図において、１０はポリッシャ、２０
は搬入・搬出装置である。ポリッシャ１０ばいわゆる両
面ポリッシャと言われているもので、下定盤Ｉ＋、上定
盤１２．太陽歯車Ｉ３ならびに内歯車＋４’を有し、両
歯車１３．１４にかみ合うキャリア１５（第２図参照）
を下定盤１１上に置き、キャリア１５に設けた複数の穴
（６にワークｗｌ嵌入し、上定盤１２′を第１図に示す
状態から下降させて、ワークＷ２下定盤ＩＩと上定盤１
２で適宜な圧力によって挟圧しつつ、下定盤１１および
上定盤＋２’に回転させ、さらに太陽歯車１３および内
歯車１４によりキャリア１５を自転および公転させてワ
ークＷの表面を下定盤１１および上定盤１２の表面に設
けた図示省略の研磨布により研磨するものである。なお
、このポリッシャ１０は一般的なものであるため、構造
の詳細な説明は省略する。

搬入・搬出装置２０は、第１図および第２図に示す軸心
（ｈＯｔ’ｌｉ−中心に旋回し、かつ前記軸心０１０１
に沿って昇降される旋回昇降体２１を有し、この旋回昇
降体２１には第１図に矢印Ａで示す方向に伸縮するラム
２２が設けられ、このラム２２の先端にチャック装置２
３が取付けられている。

チャック装置２３は、第３図および第４図に示すように
、複数のチャック部２４．・・・を有している。これら
のチャック部２４．・・・は、キャリア１５の穴１６の
配置に対応して配置されている。

チャック装置２３はその中心に位置する軸２５（第４図
参照）を中心に回転可能に前記ラム２２に取付けられ、
図示しない駆動部にて所望の回転角位置に停止できるよ
うになっている。

チャック部２４は、ワークＷに応じて機械式、真空式、
電磁式など適宜に選択し得るものであるが、第３図およ
び第４図は機械式の一例と示している。このチャック部
２４は、ピン２６．２６　を中心に揺動するチャブク爪
２７．２７’Ｔｈ有し、これらのチャック爪２７．２７
’にピストン２とによって上下動されるビン２９．２ｑ
によって開閉するようになっており、軸２５に設けた流
路３０．パイプ３１を介して導入される空圧によってピ
ストン２８を上昇させたときチャック爪２７．２７の下
端を閉じ（縮小）、前記空ＥＥを解除したときスプリン
グ３２によってピストン２ｇを押し下げテヤブり爪２７
．２．７の下端を開き（拡大）、第４図に示すように、
ワークＷの中心に設けられている穴Ｗａの内周面を保持
するようになっている。

チャック装置２３には、ホトセンサなどの検知器３′３
が取付けられ、チャック装置２３全キヤリア１５に対向
させたとき、キャリア１５に設けられている穴３４．３
５などの被検知部を検知するようになっている。この検
知器３３は、チャック装置２３の中心から所定半径上に
設置されると共に、チャック部２４の配置と関係して所
定の角位置に設置され、ラム２２に対する相対的位置関
係をチャック装置２３の回転角との関係から知ることが
できるように構成されている。なお、キャリア１５の被
検知用の一方の穴３４は、キャリア１５の中心に位置し
、他方の穴３５はチャック装置２３上における検知器３
３の位置に対応、すなわちチャック装置２３の中心がキ
ャリア１５の中心に合致し、かつチャック部２４．・・
・がワーク保持用の穴１６．・・・に対応したとき穴３
５が検知器３３に対向するようになっている。

検知器３３の近くに（１、エアーノズル３６が取付けら
れ、検知に先立って被検知部に付着して°ハる研磨液な
どを除去するようになっている。なお、第１図および第
２図において３７は、前述した搬入・搬出装置２０の制
御部である。

搬入・搬出装置２０の両側には、第２図に示すように、
インデックステーブル４０．４１が設置されている。一
方のインデックステーブル４０は、未加工のワークＷを
収納しているカセット４２からワークＷの供給を受け、
インテ・ツクステーブル４０上にワークｗｌキャリア１
５内における配置と等しい位置関係に置くようになって
いる。他方のインテ・ツクステーブル４１は、後述する
ように搬入・搬出装置２０によってキャリア１５から搬
出された複数の加工済みワークＷを受取り、カセット４
３へ送るためのもので、４４，４５Ｈ搬送ベルトである
。

次いで本装置の作用について説明する。カセット４２か
ら搬送ベルト４４によって送ジ出され之未加工のワーク
Ｗは、割出し回転されるインデックステーブル４０上に
、キャリア１５内における配置と等しい配置で置かれ、
インデックステーブル４０は、搬入・搬出装置２０に対
し所定の回転角位置で停止する。

搬入・搬出装置２０は、その旋回昇降体２１の旋回とラ
ム２２の伸縮により、チャック装置２３をインデックス
テーブル４０の上方同心位置に移動させ、かつチャック
装置２３の回転角をインデックステーブル４０の回転角
に合致させる。次いで、旋回昇降体２１を下降させ、チ
ャック装置２３の各チャック部２４．・・・にそれぞれ
ワークＷをチャックする。

チャック後、旋回昇降体２１は所定量上昇し、さらに旋
回してチャック装置２３をボリッシャ１０の下定盤ＩＩ
の上方に位置させる。このとき、チャック装置２３の検
知器３３は、チャック装置２３の回転角の設定により、
例えば旋回昇降体２１の旋回中心Ｏｓ　　Ｏ］とチャッ
ク装置２３０回転中心０２−０２ｉ通る平面内で前記０
２−０２より太陽歯車１３側に位置されており、かつ旋
回昇降体２１の旋回角およびラム・２２の操出ｌの設定
により、検知器３３がポリッシャ１０内におけるキャリ
ア１５の中心０３の公転軌道Ｓ上に位置される。

そこで、太陽歯車１３および／または内歯車１４の回転
によりキャリア１５を下定盤ＩＩ上で移動させると、キ
ャリア１５の中心に設けた穴３４が検知器３３によって
検出される。このとき、エアーノズル３６からエアーを
吹き出して穴３４内に研磨液があればそれを除去し、検
知不良の発生を防止する。この穴３４の検知によりキャ
リア１５の移動金停屯させれば、穴３４と検知器３３と
が合致した位置になる。なお、キャリア１５の中心０３
は、太陽歯車１３．内歯車１４とキャリア１５の外周の
歯との間のバックラッシュがあるため、理論上の公転軌
道Ｓから一役的にはわずかながら外れ、かつ検知器３３
による穴３４の検知からキャリアＩ５の停止までの時間
差によろず几がある。そこで、キャリア１５の停止後、
旋回昇降体２１の旋回およびラム２２の伸縮によって穴
３４に対する検知器３３の位置をより正確に合致させる
か、もしく（り穴３４の位置を測定することが好捷しい
。

こうして穴３４の位置すなわちキャリア１５の中心０３
の位置が判明したならば、ラム２２の繰出し、さらには
旋回昇降体２１の旋回矧よってチャック装置２３の中心
０２　０ｚｋキヤリア１５の中心０３に合致させる。な
お、前記穴３４の検知時に検知器３３が穴３４に合致す
る方式の場合には、旋回昇降体２１はそのままにして、
チャック装！２３の中心０２−０２から検知器３３まで
の距離に等しい量だけラム２２を繰出せば、チャック装
置２３の中心０２−０２がキャリア１５の中心０３に合
致する。

次いで、チャック装置２３を回転させ、検出器３３によ
りキャリア１５の第４図に示す穴３５を検出する。チャ
ック部２４．・・・に対する検出器３３と、キャリア１
５のワーク保持用の穴１６．・・・に対する穴３５との
角位置は等しく定められているため、検知器３３と穴３
５を合致させれば、チャック部２４．・・とワーク保持
用の穴１６．・・・とがそれぞれ合致する。そこで、旋
回昇降体２１を下降させれば、各ワークＷが穴１６．・
・・にそれぞれ嵌入される。こうして未加工のワークＷ
をキャリア１５の穴＋６．・・・に嵌入したならば、チ
ャック部２４．・・・によるワークＷの保持を解除し、
再びインデックステーブル４０上の未加工のワークＷ７
に次のキャリア１５に嵌入する。

なお、すでにキャリア１５内に加工済みのワークＷがあ
る場合は、前記搬入時と同様に、チャック装置２３をキ
ャリア１５に位置付けし、加工済みワークＷ＝ｚインデ
ックステーブル４１上に搬出した後に、前記搬入を行な
う。

前述した実施例は、チャック装置２３に１つの検知器３
３を設け、これによってキャリアＩ５の中心０３と回転
角を検出するようにした例を示したが、チャック装置２
３の中心０２−０□上にキャリア１５の中心０３を検知
する別の検知器を設けてもよく、また、搬入・搬出時に
おけるキャリア１５の停止は検知器３３によらず、ポリ
ッシャ１０側に設けた別の検知器によって行ない、その
後検知器３３でキャリア１５の中心ｏ３を検出するよう
にしてもよい。また、キャリア１５の中心０３に検知す
る別の検知器（はポリッシャ１０側に設けて、該ポリッ
シャ１０上における位置座標でキャリア１５の中心０３
の位置を測定し、その測定値によって搬入・搬出装置２
０を作動させるこ種々変更可能である。

〔発明の効果〕

以上述べたように本発明によれば、比較的簡単な装置に
よりキャリアに対するワークの搬入・搬出を確実にでき
、また、１つのキャリアに対し複数のワークを同時に搬
入・搬出するため、能率的である等の効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す一部破断正面図、第２
図は第１図の■−■線断面図、第３図はチャック装置の
拡大下面図、第４図は第３図の■−ＩＶ線による展開断
面図である。１０・・・ボリッシャ、　　Ｉ＋・・・下定盤、１２・
・・上定盤、　　１３・・・太陽歯車、１４・・・内歯
車、　　１５・・・キャリア、１６・・・穴（ワーク保
持用）、　Ｗ・・・ワーク、２０・・・搬入・搬出装置
、

Claims

【特許請求の範囲】１、太陽歯車と内歯車にかみ合い上下定盤間を自転およ
び公転するキャリアの複数の穴にそれぞれワークを嵌入
して前記上下定盤によりワークの表面を研磨するポリッ
シャの前記キャリアに対するワークの搬入・搬出装置で
あって、前記キャリアの複数の穴の配置に対応した配置
で複数のワークを保持するチャック部と、同チャック部
の回転駆動部および移動手段と、前記ポリッシャ内にあ
ってワークの搬入・搬出を受けるキャリアの公転位置お
よび自転角の検出手段と、同検出手段からの出力信号に
応じて前記回転駆動部および移動手段を制御する手段と
を具備することを特徴とするポリッシャにおけるワーク
搬入・搬出装置。２、キャリアの公転位置および自転角の検知器がチャッ
ク部に取付けられていることを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載のポリッシャにおけるワーク搬入・搬出装
置。