JPS62136744A - 電子顕微鏡等の試料傾斜装置 - Google Patents
電子顕微鏡等の試料傾斜装置Info
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- JPS62136744A JPS62136744A JP60277686A JP27768685A JPS62136744A JP S62136744 A JPS62136744 A JP S62136744A JP 60277686 A JP60277686 A JP 60277686A JP 27768685 A JP27768685 A JP 27768685A JP S62136744 A JPS62136744 A JP S62136744A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、電子顕微鏡、Ｘ線マイクロアナライザ、オー
ジェマイクロプローブ等において、試料を光軸と直角な
方向から挿入するいわゆるサイドエントリータイプの試
料傾斜装置に関する。
ジェマイクロプローブ等において、試料を光軸と直角な
方向から挿入するいわゆるサイドエントリータイプの試
料傾斜装置に関する。
一般に、電子顕微鏡等の試料平面移動機構に試料傾斜機
構を設けた装置では、試料を傾斜させた際に、高さのず
れや試料面上の横への変化即ち光軸に対しての位置の変
化が生じる。前者は焦点、倍率、電子解析長の変化とし
て、後者は視野のずれとして現れ操作上の大きな障害と
なる。このため、従来においては試料を傾けても視野が
ずれず、また試料移動をしても焦点がずれないような試
料傾斜装置としていわゆるユーセントリックゴニオメー
タが使用されている。
構を設けた装置では、試料を傾斜させた際に、高さのず
れや試料面上の横への変化即ち光軸に対しての位置の変
化が生じる。前者は焦点、倍率、電子解析長の変化とし
て、後者は視野のずれとして現れ操作上の大きな障害と
なる。このため、従来においては試料を傾けても視野が
ずれず、また試料移動をしても焦点がずれないような試
料傾斜装置としていわゆるユーセントリックゴニオメー
タが使用されている。
このユーセントリックゴニオメータを採用した電子顕微
鏡は、第１０図及び第１１図に示すように、電子顕微鏡
の鏡体内にヨーク１、励磁コイル２及び上磁極片５、下
磁極片６から構成される対物レンズが配設され、上磁極
片５、下磁極片６との間のギャップはスペーサ７によっ
て高精度に保たれている。一方、前記対物レンズのヨー
ク１内の上方にはステージ３が設置してあり、このステ
ージにベアリング９を介して筒状の傾斜体１０が回転可
能に取付けられており、該傾斜体１０の回転軸は電子線
光軸Ｚと直交するＸ軸となっている。
鏡は、第１０図及び第１１図に示すように、電子顕微鏡
の鏡体内にヨーク１、励磁コイル２及び上磁極片５、下
磁極片６から構成される対物レンズが配設され、上磁極
片５、下磁極片６との間のギャップはスペーサ７によっ
て高精度に保たれている。一方、前記対物レンズのヨー
ク１内の上方にはステージ３が設置してあり、このステ
ージにベアリング９を介して筒状の傾斜体１０が回転可
能に取付けられており、該傾斜体１０の回転軸は電子線
光軸Ｚと直交するＸ軸となっている。
また、傾斜体１０の内側には球体軸受１１を介して試料
ホルダ１２が摺動可能に挿入されると共に、Ｚ紬調節ネ
ジ１３及びＹＭ調節ネジ１５によりＺ方向及びＹ方向に
回動可能に嵌合されている。そして、試料ホルダ１２の
試料保持部には試料Ｓが載置され、該試料Ｓが上磁極片
５、下磁極片６との間隙内でかつ光軸Ｚに望むように配
設される。
ホルダ１２が摺動可能に挿入されると共に、Ｚ紬調節ネ
ジ１３及びＹＭ調節ネジ１５によりＺ方向及びＹ方向に
回動可能に嵌合されている。そして、試料ホルダ１２の
試料保持部には試料Ｓが載置され、該試料Ｓが上磁極片
５、下磁極片６との間隙内でかつ光軸Ｚに望むように配
設される。
さらに、前記傾斜体１０と対向してヨーク１の側壁に保
持体１６が取付けられると共に、該保持体１６の内側に
は移動杆１７が摺動自在に嵌合され、該移動杆１７の一
端にはＸ紬調節ネジ１９が当接し、他端には遊動体２０
が当接している。この遊動体２０は、その一端が移動杆
１７に設けられている窪みを中心にして三次元的に回転
可能になるようにスプリング（図示せず）にて支持され
ると共に、遊動体２０の他端には窪みが設けられ該窪み
に試料ホルダ１２の一端が当接されている。２１はヨー
ク１の側壁から試料ホルダ１２と交差するように、試料
の直下に配設される絞り装置である。
持体１６が取付けられると共に、該保持体１６の内側に
は移動杆１７が摺動自在に嵌合され、該移動杆１７の一
端にはＸ紬調節ネジ１９が当接し、他端には遊動体２０
が当接している。この遊動体２０は、その一端が移動杆
１７に設けられている窪みを中心にして三次元的に回転
可能になるようにスプリング（図示せず）にて支持され
ると共に、遊動体２０の他端には窪みが設けられ該窪み
に試料ホルダ１２の一端が当接されている。２１はヨー
ク１の側壁から試料ホルダ１２と交差するように、試料
の直下に配設される絞り装置である。
上記構成による試料移動について説明すると、先ずＸ軸
方向の試料移動は、ｘａ＋ｂ調節ネジ１９を回転させる
ことにより移動杆１７が移動し、試料ホルダ１２は遊動
体２０により押圧されてＸ軸方向に移動する。このとき
ヨークｌ内は真空のため試料ホルダ１２に大気圧が作用
し、試料ホルダ１２の先端部は常に遊動体２０に押付け
られながら移動する。
方向の試料移動は、ｘａ＋ｂ調節ネジ１９を回転させる
ことにより移動杆１７が移動し、試料ホルダ１２は遊動
体２０により押圧されてＸ軸方向に移動する。このとき
ヨークｌ内は真空のため試料ホルダ１２に大気圧が作用
し、試料ホルダ１２の先端部は常に遊動体２０に押付け
られながら移動する。
次にＹ軸又はＺ軸方向の試料移動について説明すると、
ｚ！＋１１調節ネジ１３又はＹ軸調節ネジ１５を回転さ
せると、試料ホルダ１２は球体軸受１１の回動に伴って
回動するが、試料ホルダ１２の先端部は大気圧により常
に遊動体２０に押付けられており、かつ、遊動体２０は
移動杆１７に設けられている窪みを中心にして三次元的
に回転可能に支持されているので、試料ホルダ１２は球
体軸受１１内を滑りながら回動し、試料ホルダ１２の先
端部の描く軌跡は移動杆１７に設けられている窪みを中
心にした円弧状となって、試料ＳがＹ軸又はＺ軸方向へ
移動する。
ｚ！＋１１調節ネジ１３又はＹ軸調節ネジ１５を回転さ
せると、試料ホルダ１２は球体軸受１１の回動に伴って
回動するが、試料ホルダ１２の先端部は大気圧により常
に遊動体２０に押付けられており、かつ、遊動体２０は
移動杆１７に設けられている窪みを中心にして三次元的
に回転可能に支持されているので、試料ホルダ１２は球
体軸受１１内を滑りながら回動し、試料ホルダ１２の先
端部の描く軌跡は移動杆１７に設けられている窪みを中
心にした円弧状となって、試料ＳがＹ軸又はＺ軸方向へ
移動する。
次に試料の傾斜動作について説明すると、傾斜体１０を
回転させると球体軸受１１の回転に伴って試料ホルダ１
２が回転し試料Ｓを傾斜させることができ、かつ、傾斜
させたときに螢光板上で見ている試料の位置は動かない
というニーセントリンクの条件を満足させる運動を行う
。すなわち、第１２図に示すように、Ｙ軸、Ｚ軸方向に
試料移動したのち傾斜体１０を回転させるとき、傾斜体
ｌＯの回転軸と試料ホルダ１２の軸とが相違しているが
、大気圧により試料ホルダ１２の先端部は常に遊動体２
０に押付けられ、かつ遊動体２０は三次元的に回転可能
であるため、試料ホルダ１２は傾斜体１０の回転軸（Ｘ
軸）を中心にして回転する。このとき遊動体２０が回転
してつくる平面はゴニオメータの軸（Ｘ軸）と直角とな
り、従って、試料移動したときのビームのある点が常に
傾斜のための回転の中心にあり、螢光板上で見ている試
料の位置は動かないことになる。
回転させると球体軸受１１の回転に伴って試料ホルダ１
２が回転し試料Ｓを傾斜させることができ、かつ、傾斜
させたときに螢光板上で見ている試料の位置は動かない
というニーセントリンクの条件を満足させる運動を行う
。すなわち、第１２図に示すように、Ｙ軸、Ｚ軸方向に
試料移動したのち傾斜体１０を回転させるとき、傾斜体
ｌＯの回転軸と試料ホルダ１２の軸とが相違しているが
、大気圧により試料ホルダ１２の先端部は常に遊動体２
０に押付けられ、かつ遊動体２０は三次元的に回転可能
であるため、試料ホルダ１２は傾斜体１０の回転軸（Ｘ
軸）を中心にして回転する。このとき遊動体２０が回転
してつくる平面はゴニオメータの軸（Ｘ軸）と直角とな
り、従って、試料移動したときのビームのある点が常に
傾斜のための回転の中心にあり、螢光板上で見ている試
料の位置は動かないことになる。
上記従来のサイドエントリータイプの電子顕微鏡におい
ては、分解能を向上させることと試料を大きく傾斜でき
ることが大きな課題とされている。
ては、分解能を向上させることと試料を大きく傾斜でき
ることが大きな課題とされている。
この分解能を向上させるためには対物レンズを構成する
上磁極片５、下磁極片６間のギャップを狭くする必要が
ある。しかし、上磁極片５、下磁極片６間には試料ホル
ダ１２と絞り装置２１が挿入されており、ギャップを狭
くする大きな障害となっている。すなわち、ギャップを
狭くするためには試料ホルダ１２の試料保持部の厚みを
薄くする必要があるが、試料ホルダ１２の先端は遊動体
２０に当接されて大気圧の力が作用し、またＸ軸方向へ
移動するときに移動杆１７により押圧力を受け、さらに
遊動体２０の自重によるモーメントが作用している。従
って、試料保持部の厚みを薄くすると、試料保持部の剛
性、強度が弱くなり、試料を保持する部分及び遊動体２
０が不安定となってしまい、像がぼけて分解能を保障す
ることができなくなるという問題が生じる。
上磁極片５、下磁極片６間のギャップを狭くする必要が
ある。しかし、上磁極片５、下磁極片６間には試料ホル
ダ１２と絞り装置２１が挿入されており、ギャップを狭
くする大きな障害となっている。すなわち、ギャップを
狭くするためには試料ホルダ１２の試料保持部の厚みを
薄くする必要があるが、試料ホルダ１２の先端は遊動体
２０に当接されて大気圧の力が作用し、またＸ軸方向へ
移動するときに移動杆１７により押圧力を受け、さらに
遊動体２０の自重によるモーメントが作用している。従
って、試料保持部の厚みを薄くすると、試料保持部の剛
性、強度が弱くなり、試料を保持する部分及び遊動体２
０が不安定となってしまい、像がぼけて分解能を保障す
ることができなくなるという問題が生じる。
また、上記従来の装置では、ニーセントリンクの条件を
満たすために、試料ホルダ１２、遊動体２０及移動杆１
７が同一軸上に配設されており、その結果、絞り装置２
１は該同一軸と交差する方向から挿入しなければならず
、第１４図に示すように試料ホルダ１２を傾斜させたと
きに、絞り装置２１に当たってしまい傾斜角を大きくと
れないという問題を生じていた。この場合、傾斜角を大
きくするには、上磁極片５、下磁極片６間のギャップを
広くすればよいが、前記した分解能の向上の障害となっ
てしまうという互いに相反する問題も生じていた。
満たすために、試料ホルダ１２、遊動体２０及移動杆１
７が同一軸上に配設されており、その結果、絞り装置２
１は該同一軸と交差する方向から挿入しなければならず
、第１４図に示すように試料ホルダ１２を傾斜させたと
きに、絞り装置２１に当たってしまい傾斜角を大きくと
れないという問題を生じていた。この場合、傾斜角を大
きくするには、上磁極片５、下磁極片６間のギャップを
広くすればよいが、前記した分解能の向上の障害となっ
てしまうという互いに相反する問題も生じていた。
本発明は上記問題点を解決するもので、試料保持部に大
気圧やユーセントリック機構による力が作用しなくなる
ようにすることにより、分解能を向上させると共に、試
料の傾斜角を大きくとれるようにすることを目的とする
。
気圧やユーセントリック機構による力が作用しなくなる
ようにすることにより、分解能を向上させると共に、試
料の傾斜角を大きくとれるようにすることを目的とする
。
そのために本発明の電子顕微鏡等の試料傾斜装置は、鏡
体の側壁に取付けられた光軸と直交するＸ軸を回転軸と
する傾斜体と、該傾斜体内にＸ軸と直交するＹ軸方向及
びＺ軸方向に回動可能な球体軸受と、該球体軸受を貫通
して摺動自在に挿入される試料ホルダと、前記球体軸受
と光軸との間でかつ光軸と直角にＹ軸方向から挿入され
前記試料ホルダが貫通される駆動アームと、該駆動アー
ムと前記試料ホルダとを当接した状態で相対的に移動可
能にする当接手段とを備えたことを特徴とするもので、
さらには、試料ホルダと対向し、かつＸ軸と平行に絞り
装置を挿入配設することを特徴とするものである。
体の側壁に取付けられた光軸と直交するＸ軸を回転軸と
する傾斜体と、該傾斜体内にＸ軸と直交するＹ軸方向及
びＺ軸方向に回動可能な球体軸受と、該球体軸受を貫通
して摺動自在に挿入される試料ホルダと、前記球体軸受
と光軸との間でかつ光軸と直角にＹ軸方向から挿入され
前記試料ホルダが貫通される駆動アームと、該駆動アー
ムと前記試料ホルダとを当接した状態で相対的に移動可
能にする当接手段とを備えたことを特徴とするもので、
さらには、試料ホルダと対向し、かつＸ軸と平行に絞り
装置を挿入配設することを特徴とするものである。
本発明の試料傾斜装置においては、試料ホルダの試料保
持部に大気圧やニーセントリンク機構による力が作用し
ない。
持部に大気圧やニーセントリンク機構による力が作用し
ない。
以下、図面を参照しつつ実施例を説明する。
第１図は本発明による試料傾斜装置の１実施例を示す縦
断面図、第２図は第１図のＸ軸断面図、第３図は要部斜
視図、第４図及び第５図は試料移動装置の作動状態を示
す図、第１３図は試料傾斜時の傾斜角を説明するための
図である。
断面図、第２図は第１図のＸ軸断面図、第３図は要部斜
視図、第４図及び第５図は試料移動装置の作動状態を示
す図、第１３図は試料傾斜時の傾斜角を説明するための
図である。
図中１はヨーク、２は励磁コイル、３はステージ、５は
上磁極片、６は下磁極片、７はスペーサ、９はベアリン
グ、１０は傾斜体、１１は球体軸受、１２は試料ホルダ
、１３はＺ紬調節ネジ、１５はＹ紬調節ネジ、２１は絞
り装置、２２は絶縁体、２３は球面体、２４はアーム支
持体、２５は駆動アーム、２６はピン、２７はＸ！ＩＩ
！調節ネジ、２９はブツシュを示す。
上磁極片、６は下磁極片、７はスペーサ、９はベアリン
グ、１０は傾斜体、１１は球体軸受、１２は試料ホルダ
、１３はＺ紬調節ネジ、１５はＹ紬調節ネジ、２１は絞
り装置、２２は絶縁体、２３は球面体、２４はアーム支
持体、２５は駆動アーム、２６はピン、２７はＸ！ＩＩ
！調節ネジ、２９はブツシュを示す。
第１図ないし第３図において、電子顕微鏡の鏡体内にヨ
ーク１、励磁コイル２及び上磁極片５、下磁極片６から
構成される対物レンズが配設され、上磁極片５、下磁極
片６との間のギャップはスペーサ７によって高精度に保
たれている。一方、前記対物レンズのヨーク１内の上方
にはステージ３が設置してあり、このステージにベアリ
ング９を介して筒状の傾斜体１０が回転可能に取付けら
れており、該傾斜体１０の回転中心は電子線光軸Ｚと直
交するようにおかれている。また、傾斜体ＩＯの内側に
は球体軸受１１を介して試料ホルダ１２が摺動可能に挿
入されると共に、Ｚ紬調節ネジ１３及びＹ紬調節ネジ１
５によりＺ方向及びＹ方向に回動可能に嵌合されている
。そして、試料ホルダ１２の真空側端部には試料Ｓが載
置され、該試料Ｓが上磁極片５、下磁極片６との間隙内
でかつ光軸Ｚに望むように配設されると共に、試料ホル
ダ１２の下部には、試料ホルダ１２と対向しかつＹ軸と
平行に絞り装置２１が挿入されている。
ーク１、励磁コイル２及び上磁極片５、下磁極片６から
構成される対物レンズが配設され、上磁極片５、下磁極
片６との間のギャップはスペーサ７によって高精度に保
たれている。一方、前記対物レンズのヨーク１内の上方
にはステージ３が設置してあり、このステージにベアリ
ング９を介して筒状の傾斜体１０が回転可能に取付けら
れており、該傾斜体１０の回転中心は電子線光軸Ｚと直
交するようにおかれている。また、傾斜体ＩＯの内側に
は球体軸受１１を介して試料ホルダ１２が摺動可能に挿
入されると共に、Ｚ紬調節ネジ１３及びＹ紬調節ネジ１
５によりＺ方向及びＹ方向に回動可能に嵌合されている
。そして、試料ホルダ１２の真空側端部には試料Ｓが載
置され、該試料Ｓが上磁極片５、下磁極片６との間隙内
でかつ光軸Ｚに望むように配設されると共に、試料ホル
ダ１２の下部には、試料ホルダ１２と対向しかつＹ軸と
平行に絞り装置２１が挿入されている。
このため、第１３図に示すように試料ホルダ１２を傾斜
させたとき、試料ホルダ１２が絞り装置２１に当たるま
での角度が大きくなり、傾斜角を大きくとることが可能
となっている。
させたとき、試料ホルダ１２が絞り装置２１に当たるま
での角度が大きくなり、傾斜角を大きくとることが可能
となっている。
さらに、球体軸受１１の先端で試料ホルダ１２の外周に
テーパー状の絶縁体２２を固定し、傾斜体１０より突出
させると共に、その外周に球面体２３を固定し一体化さ
せている。一方、ヨーク１の側壁からＹ軸と直角にアー
ム支持体２４が取付けられ、該アーム支持体２４内に駆
動アニム２５がピン２６を中心にしてｘ ５ＩＩＩ調節
ネジ２７により回動可能に配設されている。駆動アーム
２５の先端には円孔が設けられ、試料ホルダ１２を円孔
に貫通させると同時に、該円孔の周囲で上下に２個のブ
ツシュ２９．２９が、Ｙ軸と光軸とで形成される平面上
にあるようにかつその軸が球面体２３の中心に向かうよ
うに固定され、そしてブツシュ２９と球面体２３とが当
接した状態で相対的に移動可能になるように配設されて
いる。
テーパー状の絶縁体２２を固定し、傾斜体１０より突出
させると共に、その外周に球面体２３を固定し一体化さ
せている。一方、ヨーク１の側壁からＹ軸と直角にアー
ム支持体２４が取付けられ、該アーム支持体２４内に駆
動アニム２５がピン２６を中心にしてｘ ５ＩＩＩ調節
ネジ２７により回動可能に配設されている。駆動アーム
２５の先端には円孔が設けられ、試料ホルダ１２を円孔
に貫通させると同時に、該円孔の周囲で上下に２個のブ
ツシュ２９．２９が、Ｙ軸と光軸とで形成される平面上
にあるようにかつその軸が球面体２３の中心に向かうよ
うに固定され、そしてブツシュ２９と球面体２３とが当
接した状態で相対的に移動可能になるように配設されて
いる。
上記構成による試料移動について説明すると、先ず、Ｘ
軸方向の試料移動は、Ｘ紬調節ネジ２７を１回転させる
ことにより駆動アーム２５が回動すると、ブツシュ２９
はピン２６を中心にした円運動を行うが、このときブツ
シュ２９と球面体２３は相対的に滑りながら摺動するた
め、試料ホルダ１２は球面体２３を介してＸ軸方向に移
動する。
軸方向の試料移動は、Ｘ紬調節ネジ２７を１回転させる
ことにより駆動アーム２５が回動すると、ブツシュ２９
はピン２６を中心にした円運動を行うが、このときブツ
シュ２９と球面体２３は相対的に滑りながら摺動するた
め、試料ホルダ１２は球面体２３を介してＸ軸方向に移
動する。
このときヨーク１内は真空のため試料ホルダ１２に大気
圧が作用しているが、この力は球面体２３を介してブツ
シュ２９で受けている。
圧が作用しているが、この力は球面体２３を介してブツ
シュ２９で受けている。
次に、Ｙ軸又はＸ軸方向の試料移動について説明すると
、第４図はＸ軸移動はせずＹ軸移動のみをした場合、第
５図はＸ軸移動とＹ軸移動を共にした場合を示している
。Ｚ紬調節ネジ１３又はＹ紬調節ネジ１５を回転させる
と、試料ホルダ１２は球体軸受１１の回動に伴って回動
するが、試料ホルダ１２は大気圧により常に球面体２３
を介してブツシュ２９に押付けられているので、試料ホ
ルダ１２は球体軸受ｌｌ内を滑りながら回動し、ブツシ
ュ２９面上を球面体２３がすべりながら回動し、試料Ｓ
がＹ軸又はＸ軸方向へ移動する。
、第４図はＸ軸移動はせずＹ軸移動のみをした場合、第
５図はＸ軸移動とＹ軸移動を共にした場合を示している
。Ｚ紬調節ネジ１３又はＹ紬調節ネジ１５を回転させる
と、試料ホルダ１２は球体軸受１１の回動に伴って回動
するが、試料ホルダ１２は大気圧により常に球面体２３
を介してブツシュ２９に押付けられているので、試料ホ
ルダ１２は球体軸受ｌｌ内を滑りながら回動し、ブツシ
ュ２９面上を球面体２３がすべりながら回動し、試料Ｓ
がＹ軸又はＸ軸方向へ移動する。
次に、試料の傾斜動作について説明すると、傾斜体１０
を回転させると球体軸受１１の回転に伴って試料ホルダ
１２が回転し試料Ｓを傾斜させることができ、かつ、傾
斜させたときに螢光板上で見ている試料の位置は動かな
いというニーセントリンクの条件を満足させる運動を行
う。すなわち、Ｙ軸、Ｘ軸方向に試料移動したのち傾斜
体１０を回転させるとき、傾斜体１０の回転軸と試料ホ
ルダ１２の軸とが相違しているが、ブツシュ２９はＸ軸
方向に固定されているため、球面体２３がブツシュ２９
面上をすべりながら試料ホルダ１２が回転する。このと
き、球面体２３がすべりながら作る平面は、第１２図に
示した場合と同様にゴニオメータの軸（Ｙ軸）に直角と
なり、試料ホルダ１２は傾斜体１０の回転軸（Ｙ軸）を
中心にして回転する。従って、試料移動したときのビー
ムのある点が常に傾斜のための回転の中心にあり、螢光
板上で見ている試料の位置は動かないことになる。
を回転させると球体軸受１１の回転に伴って試料ホルダ
１２が回転し試料Ｓを傾斜させることができ、かつ、傾
斜させたときに螢光板上で見ている試料の位置は動かな
いというニーセントリンクの条件を満足させる運動を行
う。すなわち、Ｙ軸、Ｘ軸方向に試料移動したのち傾斜
体１０を回転させるとき、傾斜体１０の回転軸と試料ホ
ルダ１２の軸とが相違しているが、ブツシュ２９はＸ軸
方向に固定されているため、球面体２３がブツシュ２９
面上をすべりながら試料ホルダ１２が回転する。このと
き、球面体２３がすべりながら作る平面は、第１２図に
示した場合と同様にゴニオメータの軸（Ｙ軸）に直角と
なり、試料ホルダ１２は傾斜体１０の回転軸（Ｙ軸）を
中心にして回転する。従って、試料移動したときのビー
ムのある点が常に傾斜のための回転の中心にあり、螢光
板上で見ている試料の位置は動かないことになる。
なお、上記実施例では駆動アーム２５の上下に２個のブ
ツシュ２９を固定したが１個だけでも前述したニーセン
トリンクの条件を満たすことは可能である。ただ、２個
のブツシュ２９があれば、駆動アーム２５が回動した時
に軸との誤差を少なくすることができるものである。ま
たブツシュに代えてボールを駆動アーム２５に回転可能
に取付けても良い。この場合、ボールと球面体２３との
相対的な移動は滑りではなくころがりとなる。
ツシュ２９を固定したが１個だけでも前述したニーセン
トリンクの条件を満たすことは可能である。ただ、２個
のブツシュ２９があれば、駆動アーム２５が回動した時
に軸との誤差を少なくすることができるものである。ま
たブツシュに代えてボールを駆動アーム２５に回転可能
に取付けても良い。この場合、ボールと球面体２３との
相対的な移動は滑りではなくころがりとなる。
以上の説明ではニーセントリンクを前提として説明した
が、ユーセントリックの条件を満たさない下記の実施例
もとり得る。
が、ユーセントリックの条件を満たさない下記の実施例
もとり得る。
第６図は本発明の他の実施例を示す縦断面図で、駆動ア
ーム２５上にベアリング３０を介して回転可能な滑り体
３１を配設し、該滑り体３１に設けたテーパ一部３２を
試料ホルダ１２の外周に取付けた球面体２３に当接させ
ている。このようになせば、試料ホルダ１２が首振りを
したときに球面体２３が滑り体３１上をすべり、かつ、
滑り体３１はベアリング３０により回転しながら逃げる
ので、Ｘ、Ｙ方向の移動及び傾斜をスムーズに行わせる
ことができる。
ーム２５上にベアリング３０を介して回転可能な滑り体
３１を配設し、該滑り体３１に設けたテーパ一部３２を
試料ホルダ１２の外周に取付けた球面体２３に当接させ
ている。このようになせば、試料ホルダ１２が首振りを
したときに球面体２３が滑り体３１上をすべり、かつ、
滑り体３１はベアリング３０により回転しながら逃げる
ので、Ｘ、Ｙ方向の移動及び傾斜をスムーズに行わせる
ことができる。
第７図は本発明の更に他の実施例を示す斜視図で、駆動
アーム２５の試料ホルダ１２の貫通部分に２つの傾斜軸
３３．３４を介して揺動体３５を回動可能に取付け、こ
の揺動体に試料ホルダ１２を貫通させる円孔を形成する
と共に、この円孔の周囲の上下に２個のブツシュ２９を
固定するか、あるいはボールを回転可能に取付けたもの
である。
アーム２５の試料ホルダ１２の貫通部分に２つの傾斜軸
３３．３４を介して揺動体３５を回動可能に取付け、こ
の揺動体に試料ホルダ１２を貫通させる円孔を形成する
と共に、この円孔の周囲の上下に２個のブツシュ２９を
固定するか、あるいはボールを回転可能に取付けたもの
である。
前記傾斜軸３３．３４はその軸心がＹ軸と平行になるよ
うに置かれている。このようになせば揺動体３５が傾斜
軸３３．３４を中心にして回動するので、常に２個のブ
ツシュ２９が球面体２３と当接するため、安定した試料
の動きを得ることができる。
うに置かれている。このようになせば揺動体３５が傾斜
軸３３．３４を中心にして回動するので、常に２個のブ
ツシュ２９が球面体２３と当接するため、安定した試料
の動きを得ることができる。
第８図及び第９図は本発明の更に他の実施例を示す側面
図及び縦断面図で、第６図で示す駆動アーム２５にベア
リング３０を介して回転可能に配設した滑り体３１の中
心部に、ジンバル機構３６を介して支持台３７をＹ軸と
光軸Ｚとで形成される平面内で傾動可能に支持し、この
支持台３７にテーパー状の試料ホルダ１２の受け部３８
を形成する。また、試料ホルダ１２にはこの受け部３８
のテーパーに対応するテーパーを有する段部３９が形成
しである。
図及び縦断面図で、第６図で示す駆動アーム２５にベア
リング３０を介して回転可能に配設した滑り体３１の中
心部に、ジンバル機構３６を介して支持台３７をＹ軸と
光軸Ｚとで形成される平面内で傾動可能に支持し、この
支持台３７にテーパー状の試料ホルダ１２の受け部３８
を形成する。また、試料ホルダ１２にはこの受け部３８
のテーパーに対応するテーパーを有する段部３９が形成
しである。
このようになせば、ジンバル機構３６を介して支持台３
６が試料ホルダ１２のＸ、 Ｙ、 Ｚ方向の移動に応
じて傾動し、また、滑り体３１がベアリング３０により
回転しながら逃げるため、第１図で示す球面体２３及び
ブツシュ２９を用いることなく試料をｘ、ｙ、ｚ方向に
移動させることができると共に、傾斜を行わせることが
できる。
６が試料ホルダ１２のＸ、 Ｙ、 Ｚ方向の移動に応
じて傾動し、また、滑り体３１がベアリング３０により
回転しながら逃げるため、第１図で示す球面体２３及び
ブツシュ２９を用いることなく試料をｘ、ｙ、ｚ方向に
移動させることができると共に、傾斜を行わせることが
できる。
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、従来
のように試料ホルダ１２の試料保持部にないので、試料
ホルダ１２の形状、厚さを自由にすることが可能となり
、上下の磁極片間のギャップを狭くすることができ、分
解能を向上させることができる。
のように試料ホルダ１２の試料保持部にないので、試料
ホルダ１２の形状、厚さを自由にすることが可能となり
、上下の磁極片間のギャップを狭くすることができ、分
解能を向上させることができる。
また、試料ホルダ１２の先端は従来のようにニーセント
リンク機構が無く、自由な空間となっているので、ヨー
ク１の側壁から試料ホルダ１２に対向するように、絞り
装置を挿入配設することが可能となり、試料の傾斜角を
大きくすることができる。
リンク機構が無く、自由な空間となっているので、ヨー
ク１の側壁から試料ホルダ１２に対向するように、絞り
装置を挿入配設することが可能となり、試料の傾斜角を
大きくすることができる。
第１図は本発明による試料傾斜装置の１実施例を示す縦
断面図、第２図は第１図のＸ軸断面図、第３図は第１図
及び第２図の要部斜視図、第４図及び第５図は試料移動
装置の作動状態を示す図、第６図は本発明の他の実施例
を示す断面図、第７図は本発明の他の実施例を示す斜視
図、第８１２Ｉは本発明の更に他の実施例を示す斜視図
、第９図は第８図のＡＡ断面図、第１Ｏ図は従来の試料
傾斜’４７１ ；Ｃ−５÷ｔ Ｖｉｔｌｔｌｉ而ｒｆｆ
ｌ 面 ７４ １ ＋ Ｆ Ｉｆ Ｍ Ｉ
ｎ Ｐの’Ｉ ａ市断面図、第１２図はニーセントリ
ンクの条件を説明するための図、第１３図及び第１４図
は試料傾斜時の傾斜角を説明するための図である。。 ｌ・・・ヨーク、２・・・励磁コイル、３・・・ステー
ジ、５・・・上磁極片、６・・・下磁極片、７・・・ス
ペーサ、９・・・ベアリング、１０・・・傾斜体、１１
・・・球体軸受、１２・・・試料ホルダ、１３・・・Ｚ
紬調節ネジ、１５・・・Ｙ紬調節ネジ、１６・・・保持
体、１７・・・移動杆、１９・・・Ｘ＠調節ネジ、２０
・・・遊動体、２１・・・絞り装置、２２・・・絶縁体
、２３・・・球面体、２４・・・アーム支持体、２５・
・・駆動アーム、２６・・・ピン、２７・・・Ｘ紬調節
ネジ、２９・・・ブツシュ、３０・・・ベアリング、３
１・・・滑り体、３２・・・テーパ一部、３３．３４・
・・傾斜軸、３５・・・揺動体、３６・・・ジンバル機
構、３７・・・支持台、３８・・・受け部、３９・・・
段部。 出 願 人 日本電子株式会社 代理人弁理士 白 井 博 樹（外２名）第５図 第Ｇ図 第８図 ―Ａ 第７図 第１１図 第１３図 第１１ｆ−図
断面図、第２図は第１図のＸ軸断面図、第３図は第１図
及び第２図の要部斜視図、第４図及び第５図は試料移動
装置の作動状態を示す図、第６図は本発明の他の実施例
を示す断面図、第７図は本発明の他の実施例を示す斜視
図、第８１２Ｉは本発明の更に他の実施例を示す斜視図
、第９図は第８図のＡＡ断面図、第１Ｏ図は従来の試料
傾斜’４７１ ；Ｃ−５÷ｔ Ｖｉｔｌｔｌｉ而ｒｆｆ
ｌ 面 ７４ １ ＋ Ｆ Ｉｆ Ｍ Ｉ
ｎ Ｐの’Ｉ ａ市断面図、第１２図はニーセントリ
ンクの条件を説明するための図、第１３図及び第１４図
は試料傾斜時の傾斜角を説明するための図である。。 ｌ・・・ヨーク、２・・・励磁コイル、３・・・ステー
ジ、５・・・上磁極片、６・・・下磁極片、７・・・ス
ペーサ、９・・・ベアリング、１０・・・傾斜体、１１
・・・球体軸受、１２・・・試料ホルダ、１３・・・Ｚ
紬調節ネジ、１５・・・Ｙ紬調節ネジ、１６・・・保持
体、１７・・・移動杆、１９・・・Ｘ＠調節ネジ、２０
・・・遊動体、２１・・・絞り装置、２２・・・絶縁体
、２３・・・球面体、２４・・・アーム支持体、２５・
・・駆動アーム、２６・・・ピン、２７・・・Ｘ紬調節
ネジ、２９・・・ブツシュ、３０・・・ベアリング、３
１・・・滑り体、３２・・・テーパ一部、３３．３４・
・・傾斜軸、３５・・・揺動体、３６・・・ジンバル機
構、３７・・・支持台、３８・・・受け部、３９・・・
段部。 出 願 人 日本電子株式会社 代理人弁理士 白 井 博 樹（外２名）第５図 第Ｇ図 第８図 ―Ａ 第７図 第１１図 第１３図 第１１ｆ−図
Claims (5)
- （１）鏡体の側壁に取付けられた光軸と直交するＸ軸を
回転軸とする傾斜体と、該傾斜体内にＸ軸と直交するＹ
軸方向及びＺ軸方向に回動可能な球体軸受と、該球体軸
受を貫通して摺動自在に挿入される試料ホルダと、前記
球体軸受と光軸との間でかつ光軸と直角にＹ軸方向から
挿入され前記試料ホルダが貫通される駆動アームと、該
駆動アームと前記試料ホルダとを当接した状態で相対的
に移動可能にする当接手段とを備えたことを特徴とする
電子顕微鏡等の試料傾斜装置。 - （２）前記駆動アームと前記試料ホルダとを当接した状
態で相対的に移動可能にする当接手段は、前記試料ホル
ダの外周に一体に取付けられ前記球体軸受の先端に嵌合
される球面体と、該球面体に当接し駆動アームに設けら
れた少なくとも１個のブッシュあるいはボールとからな
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の電子顕
微鏡等の試料傾斜装置。 - （３）前記駆動アームと前記試料ホルダとを当接した状
態で相対的に移動可能にする当接手段は、前記試料ホル
ダの外周に取付けられた球面体と、該球面体と回動可能
に当接し、かつ駆動アームにベアリングを介して回転可
能に取付けられた滑り体とからなることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の電子顕微鏡等の試料傾斜装置
。 - （４）前記駆動アームと前記試料ホルダとを当接した状
態で相対的に移動可能にする当接手段は、駆動アームに
ベアリングを介して回転可能に取付けられた滑り体と、
該滑り体にジンバル機構を介して傾動可能に支持され、
かつ前記試料ホルダの受け部を有した支持台とからなる
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の電子顕微
鏡等の試料傾斜装置。 - （５）鏡体の側壁に取付けられた光軸と直交するＸ軸を
回転軸とする傾斜体と、該傾斜体内にＸ軸と直交するＹ
軸方向及びＺ軸方向に回動可能な球体軸受と、該球体軸
受を貫通して摺動自在に挿入される試料ホルダと、前記
球体軸受と光軸との間でかつ光軸と直角にＹ軸方向から
挿入され前記試料ホルダが貫通される駆動アームと、該
駆動アームと前記試料ホルダとを当接した状態で相対的
に移動可能にする当接手段とを備えた試料傾斜装置にお
いて、前記試料ホルダと対向し、かつＸ軸と平行に絞り
装置を挿入配設することを特徴とする電子顕微鏡等の試
料傾斜装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60277686A JPS62136744A (ja) | 1985-12-10 | 1985-12-10 | 電子顕微鏡等の試料傾斜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60277686A JPS62136744A (ja) | 1985-12-10 | 1985-12-10 | 電子顕微鏡等の試料傾斜装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62136744A true JPS62136744A (ja) | 1987-06-19 |
| JPH0317345B2 JPH0317345B2 (ja) | 1991-03-07 |
Family
ID=17586889
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60277686A Granted JPS62136744A (ja) | 1985-12-10 | 1985-12-10 | 電子顕微鏡等の試料傾斜装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62136744A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS515952A (ja) * | 1974-07-03 | 1976-01-19 | Hitachi Ltd | |
| JPS5158062A (en) * | 1974-11-15 | 1976-05-21 | Hitachi Ltd | Denshikenbikyo niokeru shiryokeishasochi |
-
1985
- 1985-12-10 JP JP60277686A patent/JPS62136744A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS515952A (ja) * | 1974-07-03 | 1976-01-19 | Hitachi Ltd | |
| JPS5158062A (en) * | 1974-11-15 | 1976-05-21 | Hitachi Ltd | Denshikenbikyo niokeru shiryokeishasochi |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0317345B2 (ja) | 1991-03-07 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |