JPS6244451Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は電子顕微鏡において、試料を光軸と直
交する方向から挿入するタイプ（サイドエントリ
ータイプ）の試料移動装置に関する。

斯かるサイドエントリータイプにおける試料移
動装置としては第１図に示す様な構造のものが広
く利用されている。

図中、１は電子顕微鏡の鏡筒、２は該鏡筒１の
壁に回転可能に挿入された傾斜体で、その軸心が
電子線光軸Ｚと交叉する様に置かれており、又該
傾斜体２の内側には球体軸受３を介して保持筒４
が同芯状に、しかも回動且つ移動可能に挿入され
ている。該保持筒４の内側には試料ホルダー５が
同芯状に移動可能に挿入されている。該試料ホル
ダー５の一端（真空側）は対物レンズの上磁極
（図示せず）と下磁極６との間に挿入され、又光
軸Ｚと交叉する部分に試料７が装着されている。
８は前記保持筒４を球体軸受３を中心にして回動
させることにより試料７を試料ホルダー５の軸心
と直交する方向（Ｙ方向）に水平移動させるため
の押しネジで、傾斜体２に螺合されている。又該
押しネジ８の反対側にはこの押しネジと保持筒と
の係合を常に維持するためのスプリング９が設け
てある。

１０は前記鏡筒１の壁に移動可能に貫通，保持
された駆動棒で、該駆動棒は前記傾斜体２の軸心
の延長線上におかれ、且つ光軸Ｚを中心にして試
料ホルダー５の鏡筒１への挿入位置と反対側に置
かれる。又該駆動棒の真空側は連結棒１１を介し
て前記試料ホルダー５の先端に連結されている。
この連結棒１１の試料ホルダー５と駆動棒１０と
の夫々の連結点１２及び１３部分において例えば
ピポツト，ピポツト軸受が用いられ、連結棒１１
が試料ホルダー５及び駆動棒１０に対して夫々自
由に傾動できる様に係合されている。１４は該連
結棒１１を常に駆動棒１０側に押し付けるための
スプリングで、試料交換のために試料ホルダー５
を図中右方向に移動して保持筒４からぬき出した
際、連結棒１１が駆動棒１０から外れるのを防止
する役目を果し、該スプリング１４は駆動棒１０
に固定された案内筒１５に保持されている。

一方前記駆動棒１０の大気側には鏡筒１に回動
自在に保持されたテコ体１６の一端が係合されて
いる。前記テコ体１６の他端には鏡筒１に螺合さ
れた押しネジ１７が係合されている。従つて該押
しネジ１７を回して前後させると、テコ体１６を
介してその前後移動が駆動棒１０に伝達されるた
め、連結棒１１及び試料ホルダー５が軸心方向
（Ｘ方向）に移動し、試料７がＸ方向に移動す
る。その結果、押しネジ８と１７とを任意に操作
することにより試料７を任意方向に水平移動させ
ることができる。一方傾斜体２を回せば、球体軸
受３，保持筒４及び試料ホルダー５が回転するた
め、試料７を傾斜させることができる。尚図示し
ないが試料ホルダー５を球体軸受３を中心にして
紙面に対して垂直方向に首振運動させ、試料７を
光軸Ｚ方向に移動させるための押しネジが傾斜体
２に螺合されている。又前記保持筒４と試料ホル
ダー５及び鏡筒１と駆動棒１０との夫々の間には
キー及びキー溝が設けてあつて、試料ホルダー及
び駆動棒の回転は阻止してある。

斯かる従来装置においては、試料７をＹ方向に
移動せしめる際の試料ホルダー５の首振運動をス
ムーズに行うために、試料ホルダー５と駆動棒１
０との間に連結棒１１を介在せしめているので、
耐振性に弱く、外部振動の影響を受けやすい。

本考案は斯様な点に鑑み、耐振性の向上をはか
ることを目的とするもので、以下第２図及び第３
図に基づき詳説する。

第２図は本考案の要部を示す拡大断面図、第３
図は第２図のＡ−Ａ拡大断面図であり、第１図と
同一番号は同一構成要素を示す。

即ち本実施例においては連結棒１１の外周に受
体１８を形成し、該受体の駆動棒１０側（試料ホ
ルダー側でもよい）の側面に駆動棒１０と連結棒
１１との連結点１３を中心にした球面状の受面１
９を形成し、更に該受面１９に接触する数個の板
バネ２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ及び２０ｅ
を案内筒１５（駆動棒１０）に固定したことに特
徴がある。前記各板バネ２０ａ乃至２０ｅには突
起２１ａ乃至２１ｅが夫々固定してあり、これら
の突起が前記受体１８の受面１９に接触する。

斯くして連結棒１１は試料ホルダー５のＹ方向
或は光軸Ｚ方向の移動に応じて連結点１３を中心
にして回動（傾動）するわけであるが、このとき
連結棒の受面１９が突起２１ａ乃至２１ｅ上をす
べりながら移動する。従つて各接触部に摩擦が生
ずる。この様に接触部に摩擦があると摩擦がない
ものに比べて見掛上の剛性が著じるしく増し、そ
の結果耐振性が向上するため、外部振動に対して
強い試料移動装置を提供することができる。

尚前述の説明では連結棒に受体を、又駆動棒に
板バネを設けた場合について述べたが、逆に駆動
棒に連結棒に向つて突出する受体を設けると共
に、連結棒に板バネを設けても前述と同様な効果
を得ることができる。

又、試料ホルダーを光軸方向に首振運動させる
関係上、連結棒の鍔部の板バネとの接触面は球面
となしたが、試料ホルダーを光軸方向に首振運動
させる必要がないときには、駆動棒と連結棒との
連結点を中心とする円筒面或は連結棒の軸心と直
交する平面に形成してもよい。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来例を示す平面断面図、第２図は本
考案の要部を示す拡大断面図、第３図は第２図の
Ａ−Ａ拡大断面図である。 １……鏡筒、５……試料ホルダー、７……試
料、１０……駆動棒、１１……連結棒、１２及び
１３……連結点、１４……スプリング、１５……
案内筒、１６……テコ体、１８……受体、１９…
…受面、２０ａ乃至２０ｅ……板バネ、２１ａ乃
至２１ｅ……突起。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 軸心が電子線光軸と直交するようにおかれ且つ
   光軸と直交した平面内で鏡筒１に対して回動可能
   に取り付けられた保持筒４と、該保持筒内に移動
   可能に挿入され且つ試料７を保持した試料ホルダ
   ー５と、前記保持筒を回動させて試料を試料ホル
   ダーの軸心と直交する方向に移動させるための手
   段と、光軸を中心にして前記試料ホルダーの挿入
   位置と反対側におかれた駆動体１０と、該駆動体
   と前記試料ホルダーの先端とを連結し且つ夫々の
   連結点において互いに回動できるように係合され
   た連結棒１１と、前記試料を移動させるため前記
   駆動体を試料ホルダーの軸心方向に移動させる手
   段と、前記連結棒を囲むように前記駆動体に一体
   的に取り付けられた案内部材１５と、前記連結棒
   が前記駆動体から外れるのを防止するために該連
   結棒と前記案内部材との間に介在させた弾性体１
   ４とを備え、前記案内部材及び連結棒のいずれか
   一方に他方に向つて突出する受面１９を設け、該
   受面は連結棒の軸心と直交する平面であるか又は
   いずれも駆動体と連結棒との連結点を中心とする
   円筒面若しくは球面であり、前記案内部材及び連
   結棒の他方に前記受面に接触する弾性体２０を設
   けてなる電子顕微鏡等における試料移動装置。