JPS6214002A - ツインチューブ静電容量式シリンダ変位計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、例えば自動車の荷重変化に伴う車高変化を
検出するのに用いるに好適な静電容量式シリンダ変位計
に関するものである。

（従来の技術） 従来、自動車の荷重変位に伴う車高変化を検出する装置
として、ショックアブソーバの伸縮変化を検出するよに
したものが、例えば実開昭５７−８８６０９号および同
５７−１７７１１３号公報に開示されてし）る。

これら従来の車高変化を検出するショックアブソーバに
おいては、ショックアブソーバ本体とは別個に、非導電
性および非磁性材料のカバーの内部に、ストローク検出
領域全体に亘ってコイルを埋設し、このコイルをＬＣ発
振器に接続してコイルのインダクタンスの変化を検出す
ることによりシリンダチューブに対するピストンロッド
の変位を検出するようにしている。しかし、このように
コイルを埋設することは、部品点数および組立工数が増
え、コスト高になると共に、ショックアブソーバに付属
して公知の減衰力を可変とする電磁弁が設けられている
と電磁弁からのノイズによる影響を受け、インダクタン
スの変化を正確かつ安定に検出することができず、変位
量の検出精度が低くなる欠点がある。

このような欠点を除去するため、本願出願人は特願昭５
９−１０７６８５号において、第６図に示すようなショ
ックアブソーバを提案した。このショックアブソーバは
、内筒ｌと外筒２との径の異なるチューブ内に油３を収
容した所謂ツインチューブ式のものにおいて、内筒１と
この内筒１内に挿通されるピストンロッド４とを電気的
に絶縁してコンデンサを構成し、このコンデンサの静電
容量を検出することによって内筒ｌとピストンロッド４
との相対位置を検出するようにしたものである。

第６図において、内筒１およびピストンロッド４は、ピ
ストン５と摺動リング６との間に介在した絶縁部材７お
よびロッドガイド８とピストンロッド４との間に介在し
た絶縁部材９によって絶縁されている。また、内筒１お
よび外筒２は、上部においはロッドガイド８およびその
上方において外筒２とビトンロッド４との間に設けたオ
イルシール１０によって形成される室１１と、ロッドガ
イド８に形成したバイパス１２とを介して連通し、下部
においはでオリフィス１３とプレート１４とを介して連
通している。検出回路ユニット１５は、ショックアブソ
ーバ上端部に装着され、ここには内筒１とピストンロッ
ド４との間の静電容量をパラメータとするＣＲ発振回路
、こＯＣＲ発振回路の発振周波数を分周して低周波パル
ス信号を出力する信号処理回路等が設けられ、荷重変化
に伴ってピストン５が内筒１内で上下動するに応じて変
化する静電容量に基づ＜ＣＲ発振回路の発振周波数を検
出して内筒１とピストンロッド４との相対位置、更には
その相対位置に基づいて車高変化を検出するようになっ
ている。

かかるショックアブソーバにおいては、ショックアブソ
ーバに本来設けられている内筒１とピストンロッド４と
の間を電気的に絶縁してコンデンサを構成し、このコン
デンサの静電容量を検出することによって内筒ｌとピス
トンロッド４との相対位置を検出するよう構成している
ので、部品点数および組立工数が少なくなり、大幅なコ
ストダウンを図ることができる。また、静電容量を検出
するものであるから、従来のようにコイルのインダクタ
ンスを検出するものに比べて外部ノイズに影響されるこ
とが少なく、変位量を一層正確に検出することができる
。更に従来のようにコイルを別個に設けるものとは異な
り、センシング部の装着上の制約がなく、少なく井筒形
のものであればどのような構造のショックアブソーバに
も適用することができ、応用範囲が大幅に拡大する利点
もある。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、本発明者らの種々の実験によれば、第６
図に示すショックアブソーバには以下に説明するような
改良すべき点があることが判明した。

すなわち、内筒１と外筒２とは、上部においては、室１
１およびバイパス１２を介して連通し、下部においては
オリフィス１３およびプレート１４を介して連通してい
るため、ピストンロッド４が上動スると、その際に内筒
１内のエアーおよび油３はピストンロッド４とロッドガ
イド８との間の間隙を抜け、室１１およびバイパス１２
を経て外筒２内に押出され、その後ピストンロッド４が
下動すると、内筒１の上部にバイパス１２および室１１
を経て上動工程において抜は出たエアーのみが侵入し、
内筒ｌから抜は出た油３はピストンロッド４の静止下に
おいてプレート１４およびオリフィス１３を経て内筒１
内に侵入して内筒１および外筒２内の油３の液面が同一
レベルとなる。

このように、内筒ｌ内の油３の量およびエアーの量は、
ピストンロッド４の移動によって変化するため、内筒１
とピストンロッド４とが対向するコンデンサを形成する
部分の誘電率がエアーの侵入により変動し、精度が悪く
なる問題がある。

この発明は、このような問題点に着目してなされたもの
で、シリンダおよびロッドの相対移動に拘らず、これら
間で少なくともコンデンサを構成する部分が液体より成
る誘電体で常時満たされるようにして、相対位置を常に
高精度で検出できるよう適切に構成配置した静電容量式
シリンダ変位計を提供することを目的とするものである
。

（問題点を解決するための手段） 本発明の静電容量式シリンダ変位計は、シリンダと、こ
のシリンダ内を相対的に移動するロッドと、少なくとも
前記シリンダおよびロッドが対向する部分が液体より成
る誘電体で常時満たされるように、前記シリンダに連通
して前記部分よりも上方に設けた誘電体の貯留槽とを具
え、前記シリンダおよびロッドをそれぞれ電極として、
これら電極間で形成される静電容量を計測することによ
り、前記シリンダと前記ロッドとの相対位置を検出する
よう構成したことを特徴とするものである。

第１図は本発明の静電容量式シリンダ変位計の原理図を
示すものである。本発明においては、シリンダ２１内に
ロッド２２を相対的に移動可能に設ける。シリンダ２１
の下端部にはロッド２２が液密に摺動し得るように絶縁
性のオイルシール２３を設けて密閉し、上端部にはシリ
ンダ２１の内部に連通して貯留槽２４を設ける。また、
シリンダ２１内に侵入するロッド２２の上端部にはシリ
ンダ２１の内周面を摺動し得るように絶縁性のガイド部
材２５を設け、このガイド部材２５には該ガイド部材２
５に対してシリンダ２１内の上部および下部を連通ずる
バイパス２日を設ける。本発明においては、シリンダ２
１および貯留槽２４内に液体より成る誘電体、例えば油
２７を収容し、シリンダ２１およびロッド２２を電極と
して、これら電極間で形成される静電容量を計測するこ
とにより、シリンダ２１とロッド２２との相対位置を検
出する。ここで、油２７の量はシリンダ２１およびロッ
ド２２の相対移動に拘らず、少なくともこれらが対向す
る部分−が常に油２７で満たされる量とする。

なお、貯留槽２４はシリンダ２１とロッド２２とが対向
してコンデンサを形成する部分よりも上方に設ければよ
く、したがってシリンダ２１およびロッド２２が水平方
向に相対的に移動する場合には、コンデンサを形成する
部分の上方において例えばシリンダ２１の周面に取付け
ればよい。

（作　用） 第１図において、シリンダ２１に対するロッド２２の侵
入量が増加する方向に、シリンダ２１およびロッド２２
が相対的に移動すると、その移動に伴ってガイド部材２
５の上部にある油２７はバイパス２６を経て下部に流入
し、ガイド部材２５の下部すなわちコンデンサを構成す
るロッド２２とシリンダ２１との間は常に油２７で満た
されながら、最終的には貯留槽２４内の油２７の液面が
、侵入により増加したロッド２２の体積に応じた分だけ
上昇する。また、シリンダ２１に対するロッド２２の侵
入量が減少する方向にこれらが相対的に移動すると、そ
の移動に伴ってガイド部材２５の下部にある油２７はバ
イパス２６を経て上部に押出され、該下部が常に油２７
で満たされながら、最終的には貯留槽２４内の油２７の
液面が移動により侵入量が減少したロッド２２の体積に
応じた分だけ下降する。したがって、コンデンサを構成
するシリンダ２１とロッド２２とが対向する部分は、そ
れらの相対移動に拘らず常に油２７で満たされることに
なる。

（実施例） 第２図は本発明の一実施例を示すもので、自動車のサス
ペンション用のショックアブソーハトハ別体でほぼ垂直
方向の変位を検出する変位計専用に構成したものである
。外筒３１は導電性材料で耐腐食形、機械的強度、耐熱
性に優れた、例えば６−ナイロンをベースに黄銅片を混
合して成る導電率が１０°〜１０’　　Ω−ａｍのプラ
スチックによりＶさ２ｍｍ以上に形成し、この外筒３１
内に導電性（主に金属製）の内筒３２を設けると共にこ
の内筒３２内に侵入して相対的に移動する導電製のロッ
ド３３を設ける。

内筒３２は下端部において絶縁性のガイド３４により外
筒３１内に固定し、上端部は外筒３１との間に絶縁部材
３５を介在させて外筒３１内で互いに絶縁して同軸上に
延在させる。また、ロッド３３は内筒３２内を同軸上に
移動し得るようにガイド３４に慴動可能に保持すると共
に、その内筒３２内に侵入する先端部には内筒３２の内
周面を摺動し得るように絶縁性のピストン３６を設け、
これらガイド３４およびピストン３６により内筒３２に
対して互いに絶縁した状態で相対的に移動し得るよう構
成する。

外筒３１の下端部には、ガイド３４よりも下方の外筒３
１とロッド３３との間にシール３７を設けると共に、そ
の下方にカバー３８を設け、上端部には絶縁部材３５よ
りも上方に貯留槽４１を設ける。

貯留槽４１は、外筒３１と一体に形成した底部４１ａと
、この底部４１ａに一体的に溶着され、車両のシャーシ
等に取付けられる外筒３１と同一材料より成る容器部４
１ｂとをもって構成する。底部４１ａには、第３図へに
部分平面図を、第３図Ｂに第３図ＡのＩ−１線断面図を
示すように、外筒３１の内径と同径の開口４２の中心部
に向かって底面４３上に放射状に突起４４を形成し、こ
れら突起４４の先端部に底面４３よりも上方で開口４２
と同心円状にリング状部材４５を形成して、円弧状の複
数の出口４６ａと、円状の出口４６ｂとを形成する。

また、本実施例ではリング状部材４５と絶縁部材３５と
の間にコイルばね４７を設け、これにより内筒３２をガ
イド３４側に押圧偏倚して、ロッド３３の相対移動方向
における内筒３２の加工寸法誤差および温度変化による
伸縮を吸収して内筒３３を外筒３１内の所定の位置に常
時位置決めするよう構成する。

本実施例では、外筒３１および内筒３２内にそれぞれ油
４８を収容し、内筒３２およびロッド３３をそれぞれ電
極としてこれら間で形成される静電容量を計測してその
相対位置を検出するが、内筒３２とロッド３３との間が
それらの相対移動に拘らず常時油４８で満たされるよう
にするため、貯留槽４１にも油４８を収容してこの貯留
槽４１と内筒３２とを連通させる。

このため絶縁部材３５には、第３図Ｂにも示すように、
内筒３２と貯留槽４１とを連通させるための開口３５ａ
を形成する。なお、外筒３Ｌ内筒３２および貯留槽４１
内に収容する油４８の量は、ロッド３３が内筒３２から
垂直方向に最も突出した場合でも貯留槽４１内に油４８
が残る量とする。また、内筒３２及びロッド３３の相対
移動におけるそれらの反力や油４８の減衰力等が発生す
るのを防止するため、更にこれらの力が発生することよ
る内筒３２内へのエアーの混入を防止するため、絶縁部
材３６には第４図に部分平面図をも示すように、外筒３
１内の上室および下室を連通させるためのバイパス３５
ｂを形成するとともにガイド３４にも同様にバイパス３
４ａを形成し、またピストン３６にも内筒３２内の上室
および下室を連通させるための貫通孔３６ａを形成して
、内筒３２およびロッド３３の相対移動に応じて油４８
がスムーズに流動するよう構成する。

一方、内筒３２から突出するロッド３３の端部には、こ
れを車両の車軸等に装着するための取付は用ねじ４９を
変位可能に設けると共に、このロッド端部と外筒３１の
下端部との間には、外筒３１およびロッド３３を確実に
同電位にして不所望な浮遊容量の形成を防止すると同時
に、車両床下に装着される使用環境を考慮して石跳ね等
によるロッド３３の損傷を防止するため、導電性のダス
ト・ブーツ５０を設ける。このダスト・ブーツ５０は、
例えばスチレンブタジェンラバーとエチレンとを重合さ
せたベースレジンにカーボンブラックを分散させた導電
率が１０°〜１０１　Ω−ａｍ程度の材料で蛇腹構造に
形成して、ロッド３３の相対移動に応じて伸縮し得るよ
う構成する。

更に、外筒３１には内筒３２とロッド３３とで構成され
るコンデンサの静電容量を検出して、それらの相対位置
に対応する所要の信号を出力する検出回路５１を設ける
。この検出回路５１は、不所望な浮遊容量が形成される
のを防止するため、所望の静電容量を形成する内筒３２
とロッド３３とが対向する部位に近い位置に取つけ、こ
こにはプリント基板５１ａに第６ｒＩＡにおいて説明し
たと同様に、内筒３２とロッド３３との間の静電容量を
パラメータとするＣＲ発振回路、このＣＲ発振回路の発
振周波数を分周して低周波パルス信号を出力する信号処
理回路等を設ける。

本実施例では、所要の静電容量を形成する一方の電極と
してのロッド３３をダスト・ブーツ５０および外筒３１
を介して検出回路５１に接続するが、この外筒３１と検
出回路５１とを電気的に接続するためにニブリント基板
５１ａの一方の電極配線が導電ピン５２に接触するよう
にして、この導電ピン５２を外筒３１に一体に成形した
受け３１ａに装着し、これにより外筒したがってロッド
３３と検出回路５１の一方の電極配線とを電気的に接続
すると同時に、プリント基板５１ａシたがって検出回路
５１を外筒３１に固定する。また、所要の静電容量を形
成する他方の電極としての内筒３２は、外筒３１および
プリント基板５１ａを貫通して延在させた電極棒５３を
介してプリント基板５１ａの他方の電極配線に接続する
。このため；外筒３１には電極棒５３が遊嵌する穴３１
ｂを形成すると共に、この孔３１ｂを囲むように突出す
るケース３１Ｃを外筒３１と一体に形成する。また、電
極棒５３には絶縁性のシールゴム５４を加流接着して一
体構造とし、このシールゴム５４を絶縁性のカラー５５
によりケース３１Ｃ内に押圧保持する。これにより、電
極棒５３を外筒３１に接触することなく、その先端を内
筒３２の外周面に押圧接触させると共に、穴３１ｂから
の油漏れを防止する。また、プリント基板５１ａの電極
棒５３を接続した他方の電極配線および信号出力端子に
はそれぞれコード５６を接続するとともに、このように
検出回路５１を外筒３１に装着した後は、検出回路５１
の各構成部品間を含む装着部分を絶縁材によりモールド
する。

本実施例においては、貯留槽４１の容器部４１ｂおよび
ロッド３３をロッド３３がほぼ垂直方向に延在するよう
に例えば自動車のシャーシおよび車軸にそれぞれ取付け
て、検出回路５１にシャーシおよび電極棒５３に接続さ
れたコード５６を介して自動車に搭載されたバッテリか
ら所要の電源を供給し、これにより検出回路５１の信号
出力端子に接続されたコード５６から得られる内筒３２
とロッド３３との相対位置情報に基づいて車高やその変
化を検出する。

上述した構成において、内筒３２に対する０、７ド３３
の侵入量が増加する方向にこれらが相対的に移動すると
、その移動に伴って外筒３１、内筒３２および貯留槽４
１内の油４８は流動し、ピストン３６の下部の内筒３２
内には、ピストン３６に形成した貫通孔３６ａやガイド
３４に形成したバイパス３４ａおよびガイド３４とロッ
ド３３との隙間を経て油４８が流入し、ピストン３６の
下部すなわちコンデンサを構成する内筒３２とロッド３
３との間は常に油４８で満たされながら、最終的には貯
留槽４１内の油４８の液面が、侵入により増加したロッ
ド３３の体積に応じた分だけ上昇する。また、内筒３２
に対するロッド３３の侵入ｌが減少する方向にこれらが
相対的に移動すると、その移動に伴ってピストン３６の
下部にある油４８は貫通孔３６ａやガイド３４とロッド
３３との隙間およびバイパス３４ａを経てピストン３６
の上部や外筒３１に押出され、内筒３３内のピストン下
部が常に油４８が満たされながら、最終的には貯留槽４
１内の油４８で、移動により侵入量が減少したロッド３
３の体積に応じた分だけ内筒３２内に補給されてその液
面が下降する。したがって、コンデンサを構成する内筒
３２とロッド３３とが対向する部分は、それらの相対移
動に拘らず常に油４８で満たされることになる。

ここで、内筒３２の内径をａ、ロッド３３の外径をｂ、
内筒３２に対するロッド３３の侵入長さβ、油４８の誘
電率をεとすると、内筒３２とロッド３３とで構成され
るコンデンサの静電界１ｃは、次式で表される。

Ｃ＝　２ｙｒ　ｔ：　ｌ　／　Ａｏｇ（ａ／ｂ）上式か
ら明らかなように、静電容量Ｃはロッド３３の内筒３２
への侵入長さｌによって変化するから、その静電界１ｃ
を検出することにより、ロッド３３の侵入長さβ、した
がって内筒３２とロッド３３との相対位置を検出するこ
とができる。なお、油の誘電率は一般に温度に対して負
の係数を持つ依存性があるが、この温度依存性はＣＲ発
振回路の発振抵抗の一部に誘電率の温度依存性とは逆の
温度特性を持たせることによって相殺することができ、
これにより温度変化に影響されることなく、常に高精度
の検出を行うことができる。

第５図Ａ−Ｄは本発明の他の実施例を示し、第５図Ａは
断面図、第５図Ｂは平面図、第５図Ｃは左側面図（図を
明瞭とするため貯留槽７４の外形は図示していない）、
第５図りは右側面図を表す。

本実施例ではほぼ水平方向の変位を検出する変位計専用
に構成したもので、上述した実施例と同様、導電性の外
筒６１と、この外筒６１内に装着した導電性の内筒６２
と、この内筒６２内に侵入可能に設けた導電性のロッド
６３とを具える。

内筒６２は一端部において外筒６１の一端部に絶縁部材
６４を介して保持し、他端部において外筒６１の他端部
に絶縁性のガイド６５を介して保持して外筒６１内に同
軸上に延在させる。また、ロッド６３は内筒６２内を同
軸上に移動し得るようにガイド６５に摺動可能に保持す
ると共に、その内筒６２内に侵入する先端部には内筒６
２の内周面を摺動し得るように絶縁性のピストン６６を
設けて、これらガイド６５およびピストン６６により内
筒６２に対して互いに絶縁した状態で相対的に移動し得
るよう構成する。

外筒６１の一端面はカバー６７で閉塞し、このカバー６
７には取付は金具６８を設ける。また、外筒６１の他端
部とロッド６３との間はシール６９によって／［［に構
成すると共に、その外筒６１の他面にはロッド６３を貫
通させてカバー７０を設ける。

ロッド６３の内筒６２から突出する端部には取付は金具
７１を設け、該端部と外筒６１の他端部との間に、上述
した実施例と同様に、導電性の伸縮可能なダスト・ブー
ツ７２を設ける。

本実施例では、外筒６１および内筒６２内にそれぞれ油
７３を収容し、内筒６２およびロッド６３をそれぞれ電
極としてこれら間で形成される静電容量を計測してその
水平方向の相対位置を検出するが、内筒６２とロッド６
３との間がそれらの相対移動に拘らず常時油７３で満た
されるようにするため、外筒６１および内筒６２を連通
させると共に、内筒６２よりも上方の外筒６１に、該外
筒６１に連通して油７３を収容する貯留槽７４を設ける
。このため、絶縁部材６４およびガイド６５には外筒６
１と内筒６２とを連通させるための連通孔６４ａ及び６
５ａをそれぞれ形成する。

また、内筒６２およびロッド６３の相対移動に応じて油
７３がスムーズに流動し得るようにガイド６５にバイパ
ス６５ｂを形成すると共に、ピストン６６に貫通孔６６
ａを形成する。ここで、外筒６１、内筒６２および貯留
槽７４に収容する油７３の量は、ロッド６３が内筒６２
から水平方向に最も突出した場合でも貯留槽７４内に油
７３が残る量とする。

また、外筒６１には、上述した実施例と同様に、内筒６
２とロッド６３とで構成されるコンデンサの静電容量を
検出して、それらの相対位置に対応する所要の信号を出
力する検出回路７５をモールドして設ける。なお、本実
施例では検出回路７５と内筒６２とを電極棒７６および
導電性のばね７７を介して接続する。このため、第５図
Ｅに詳細に示すように、外筒６１に連通して絶縁材料か
ら成る円筒状のケース７８を設ける。また、電極棒７６
には樹脂７９を接着して一体構造とし、その電極ｎ７６
の先端にばね７７を装着して樹脂７９をカラー８０によ
ってケース７８内に押圧保持し、これにより電極棒７６
を介してばね７７を内筒６２の外周面に押圧接触させる
。なお、ケース７８の段部７８ａと樹脂７９との間には
油漏れを防止するためのＯリング８１を設ケる。

本実施例においても、上述した実施例と同様、コンデン
サを構成する内筒６２とロッド６３との対向部分が、そ
れらの相対移動に拘らず常に油７３で満たされるので、
その相対位置を常に高精度で検出することができる。し
たがって、例えばフォークリフトのシャーシとドラック
ロッドあるいはタイロッドとの間にほぼ水平に取付けて
、その変位から操舵輪の方向および角度を検出して表示
するのに用いることができる。

なお、本発明は上述した実施例にのみ限定されるもので
はなく、幾多の変形または変更が可能である。例えば、
内筒とロッドとで構成されるコンデンサの静電容量はＣ
Ｒ発振回路に限らず、ＬＣ発振回路等の他の回路を用い
て検出することもできる。

また、上述した実施例では外筒を有するツインチューブ
式に構成したが、外筒を持たないモノチニーブ式として
構成することもできる。更に、上述した実施例では、検
出回路をユニット化して外筒に直接装着するようにした
が、このことは必ずしも必要ではなく検出回路を変位計
本体とは別個に装着することもできる。また、上述した
実施例では変位計専用に構成したが、自動車のショック
アブソーバにも有効に適用することができる。更に上述
した実施例では、外筒およびダスト・ブーツを導電性と
し、これら外筒およびダスト・ブーツを介してロッドを
例えばアース電位に維持するようにしたが、ダスト・ブ
ーツを介することなく、ロッドの内筒から突出する部分
において、該ロッドと外筒とを適当な導電部材、例えば
、導電ブラシやコイルワイヤによってロッドの相対移動
に支障をきたさないように電気的に接続することもでき
る。また、貯留槽は油を外気から分離して充満し、容積
がロッドの相対移動に応じて変化し得る例えばベローズ
をもって構成することもできる。

この場合には、車両等の任意の部位に装着して任意の方
向での変位を検出することができる。

（発明の効果） 以上述べたように、本発明によれば、コンデンサを構成
するシリンダとロッドとの対向部分よりも上方に、該対
向部分が常時液体より成る誘電体で満たされるように、
シリンダに連通して誘電体の貯留槽を設けたので、シリ
ンダとロッドとの相対移動に拘らずその静電容量を常に
安定して計測することができ、これによりその相対位置
を高精度で検出することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の詳細な説明するための図、第２図は本
発明の一実施例を示す図、 第３図Ａ、Ｂおよび第４図はその部分詳細図、第５図Ａ
−Ｅは本発明の他の実施例を示す図、第６図は本出願人
が先に提案したショックアブソーバを示す図である。 ２１・・・シリンダ２３・・・ロッド ２３・・・オイルシール　　２４・・・貯留槽２５・・
・ガイド部材　　　　２６　・・バイパス２７・・・油
　　　　　　　３１・・・外筒３２・・・内筒　　　　
　　３３・・・ロッド３４・・・ガイド　　　　　３５
・・・絶縁部材３６・・・ピストン　　　　　３７．・
・・シール３８・・・カバー４１・・・貯留槽 ４７・・・コイルばね　　　４８・・・油４９・・・取
付は用ねじ　　５０・・・ダスト・ブーツ５１・・・検
出回路　　　　５３・・・電極棒６１・・・外筒　　　
　　　６２・・・内筒６３・・・ロッド　　　　　６４
・・・絶縁部材６５・・・ガイド　　　　　　６６・・
・ピストン６７・・・カバー　　　　　６８・・・取付
は金具６９・・・シール　　　　　　７０・・・カバー
７１・・・取付は金具　　　７２・・・ダスト・ブーツ
７３・・・油　　　　　　　７４・・・貯留槽７５・・
・検出回路　　　　７６・・・電極棒７７・・・ばね

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、シリンダと、このシリンダ内を相対的に移動するロ
   ッドと、少なくとも前記シリンダおよびロッドが対向す
   る部分が液体より成る誘電体で常時満たされるように、
   前記シリンダに連通して前記部分よりも上方に設けた誘
   電体の貯留槽とを具え、前記シリンダおよびロッドをそ
   れぞれ電極として、これら電極間で形成される静電容量
   を計測することにより、前記シリンダと前記ロッドとの
   相対位置を検出するよう構成したことを特徴とする静電
   容量式シリンダ変位計。